Die durch Mittel der REACT-EU-Förderung angeschafften Geräte wurden in Betrieb genommen
Die durch Mittel der REACT-EU-Förderung angeschafften Geräte wurden in Betrieb genommen
Stuttgart, 24. August 2023.
Das Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Tourismus hat die Anschaffung eines Elektronenstrahldirektschreibers (E-Beam-Schreiber) und weiterer Geräte in den Reinräumen des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) mit insgesamt 8,38 Millionen Euro gefördert.
Mit den Investitionen wurde die am Institut vorhandene Infrastruktur zur großflächigen und flexiblen Herstellung und Charakterisierung verschiedener Nanostrukturen ausgebaut. Die Mittel stammen aus dem Programm „REACT-EU“ der Europäischen Union, das bei der Krisenbewältigung der COVID-19-Pandemie unterstützt.
Mit der Anschaffung eines neuen Elektronenstrahldirekt-Schreibers (E-Beam), eines vollautomatisierten Rasterelektronenmikroskops (CD-SEM) und eines Rasterkraftmikroskops (AFM) wurde bei IMS CHIPS die Infrastruktur zur großflächigen Erzeugung komplexer Nanostrukturen in und auf unterschiedlichen Substraten und Materialien erweitert. Das Vorhaben ermöglicht die variable Herstellung unterschiedlicher Nanostrukturen, die von Unikaten für die Forschung bis hin zu Mastern für replizierende Prozesse auf Flächen von wenigen Quadratmillimetern bis hin zur vollen Fläche von 200 mm Wafern reichen. Anwendungen für diese Nanostrukturen finden sich in unterschiedlichen Bereichen, wie in der Photonik, Optik und Diagnostik. Ziel ist es unter anderem, neuartige Quantensensoren für den Einsatz in der Medizin- und Umwelttechnik zu entwickeln.