TAPES3 erhielt den KDT Technology Pioneer Award 2022

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TAPES3 erhielt den KDT Technology Pioneer Award 2022

Frans List von ASML, hat auf dieser Konferenz den Preis im Namen des TAPES3-Konsortiums entgegengenommen.

TAPES3 wurde auf der EFECS 2022-Konferenz in Amsterdam mit dem “KDT Technology Pioneer Award” ausgezeichnet.

Der KDT JU Technology Pioneer Award 2022 ging an TAPES3 – das KDTJU-Projekt, welches die Fortsetzung des Moore’schen Gesetzes ermöglicht, indem es sich auf Lithographie, Metrologie und Maskeninfrastruktur konzentriert, um die nächste Technologiegeneration zu entwickeln – den 3 nm-Knoten.
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) hat in den Arbeitspaketen Lithografie und EUV Maskeninfrastruktur mitgewirkt. Im Arbeitspaket Lithographie wurden ultragenaue Diffraktive Optische Elemente (DOE) für die Oberflächenprüfung von EUV-Spiegeln entwickelt. Im Paket EUV Maskeninfrastruktur erforschte IMS CHIPS neue Konzepte zu Masken mit alternativen Absorbern.

Höhepunkte der EFECS 2022 in Amsterdam: www.kdt-ju.europa.eu/news/highlights-efecs-2022-amsterdam

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