TAPES3 erhielt den KDT Technology Pioneer Award 2022

TAPES3 wurde auf der EFECS 2022-Konferenz in Amsterdam mit dem “KDT Technology Pioneer Award” ausgezeichnet.

Der KDT JU Technology Pioneer Award 2022 ging an TAPES3 – das KDTJU-Projekt, welches die Fortsetzung des Moore’schen Gesetzes ermöglicht, indem es sich auf Lithographie, Metrologie und Maskeninfrastruktur konzentriert, um die nächste Technologiegeneration zu entwickeln – den 3 nm-Knoten.
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) hat in den Arbeitspaketen Lithografie und EUV Maskeninfrastruktur mitgewirkt. Im Arbeitspaket Lithographie wurden ultragenaue Diffraktive Optische Elemente (DOE) für die Oberflächenprüfung von EUV-Spiegeln entwickelt. Im Paket EUV Maskeninfrastruktur erforschte IMS CHIPS neue Konzepte zu Masken mit alternativen Absorbern.