Neuer i-Line Stepper Canon FPA3030i5a in Betrieb

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IMS CHIPS Newsletter 2/2022

Neuer i-Line Stepper Canon FPA3030i5a in Betrieb

Weiterer Meilenstein bei der Erweiterung der Linie auf 200 mm Wafer erreicht

Im Reinraum des IMS wurde im Juni mit
Mitteln des Landes Baden-Württemberg
eine neue Anlage für optische Lithografie in
Betrieb genommen. Der neue i-Line Stepper
Canon FPA3030i5a ersetzt die bisherige
Anlage Canon FPA3000i5+, die über
20 Jahre lang ein wichtiger Bestandteil der
CMOS – Chipfertigung am IMS war. Mit
der Neubeschaffung steht nun wieder eine
Anlage auf dem neuesten Stand der Technik
zur Verfügung. Zusätzlich wurden dabei
auch erweiterte Möglichkeiten im Hinblick
auf aktuelle und zukünftige Aktivitäten des
IMS geschaffen.

So kann der neue Stepper sowohl Wafergrößen von 150 mm Durchmesser als auch mit 200 mm Durchmesser vollautomatisch und mit hohem Durchsatz prozessieren; die Umrüstung dafür erfolgt mit nur wenigen Handgriffen. Insbesondere für die aktuellen Projekte des IMS im Bereich MEMS und GaN wurde bei dieser Produktionsanlage auf eine möglichst große Flexibilität bezüglich der prozessierbaren Substrate geachtet, so dass zum Beispiel die Dicke der zu belichtenden Wafer in einem Bereich von 200 μm bis 1200 μm möglich ist.

Der Canon FPA3030i5a Stepper ist zusätzlich mit einem Infrarot-Kamerasystem ausgestattet, für das Silizium transparent ist. Mit diesem sogenannten ‚Through Silicon Alignment‘ – System können mit hoher Genauigkeit Belichtungen auf Strukturen justiert und ausgerichtet werden, die sich auf
der Rückseite des Wafers befinden. Dies ist insbesondere für Anwendungen im Bereich MEMS von hoher Bedeutung.

Abgestimmt auf diese neuen Möglichkeiten konnte ebenfalls mit Landesmitteln ein neues Resist Track der Firma Osiris beschafft werden, das Wafer mit Durchmessern von 150 mm, 200 mm und 300 mm vollautomatisch mit Fotoresist beschichten und entwickeln kann. Auch diese Anlage wird noch in diesem Jahr installiert. Auch hier wurde auf größtmögliche Flexibilität bei der Beschaffenheit
der zu prozessierenden Wafer geachtet.

Kontakt:

Holger Sailer

Tel: +49 711 21855  457