Neuer i-Line Stepper Canon FPA3030i5a in Betrieb
Mit der Inbetriebnahme des neuen i-Line
Steppers Canon FPA3030i5a für optische
Lithografie konnte im Juni ein weiterer
Meilenstein bei der Erweiterung
der IMS – Linie für 200 mm Wafer
erreicht werden. Damit steht nun eine
Produktionsanlage auf dem neuesten
Stand der Technik zur Verfügung, die
dem IMS zahlreiche neue Möglichkeiten
zur Entwicklung neuer Prozesse für die Zukunft eröffnet.