REACT-EU-Förderung für Institut für Mikroelektronik Stuttgart

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REACT-EU-Förderung für Institut für Mikroelektronik Stuttgart

Das Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Tourismus fördert mit insgesamt 8,38 Millionen Euro die Anschaffung eines Elektronenstrahldirektschreibers (E-Beam-Schreiber) und weiterer Instrumente in den Reinräumen des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS).

Mit den Investitionen soll die am Institut vorhandene Infrastruktur zur großflächigen und flexiblen Herstellung und Charakterisierung verschiedener Nanostrukturen ausgebaut werden. Die Mittel stammen aus dem Programm „REACT-EU“ der Europäischen Union, das bei der Krisenbewältigung der COVID-19-Pandemie unterstützt.

„Die Mittel aus REACT-EU ermöglichen uns gezielte Investitionen, vor allem in der wirtschaftsnahen Forschung der Innovationsallianz Baden-Württemberg (innBW). Damit unterstützen wir die hohe Innovationskraft und Wettbewerbsfähigkeit der baden-württembergischen Wirtschaft in den Bereichen Digitalisierung und Klimaschutz und bauen sie weiter aus“, sagte Wirtschaftsministerin Dr. Nicole Hoffmeister-Kraut anlässlich der Bewilligung.

Mit der Anschaffung des E-Beam-Schreibers und weiterer Instrumente soll beim IMS Chips die Infrastruktur zur großflächigen Erzeugung mehrdimensionaler Nanostrukturen in und auf unterschiedlichen Substraten und Materialien erweitert werden. Das Vorhaben ermöglicht die variable Herstellung unterschiedlicher Nanostrukturen, die von Unikaten für die Forschung bis hin zu Mastern für replizierende Prozesse auf Flächen von wenigen Quadratmillimetern bis hin zur vollen Fläche von 314 Quadratzentimeter großen Wafern reichen. Anwendungen für diese Nanostrukturen finden sich in unterschiedlichen Bereichen, zum Beispiel in der Photonik, Optik und Diagnostik. Ziel ist es, neuartige Quantensensoren für den Einsatz in der Medizin- und Umwelttechnik zu entwickeln.

Hoffmeister-Kraut: „Das Projekt leistet einen wesentlichen Beitrag zur Umsetzung der Innovationsstrategie des Landes im Bereich der Quantentechnologie und versetzt das IMS Chips in die Lage, zu einem Treiber für Innovationen und Entwicklung neuer Produkte in diesem Zukunftsfeld zu werden.“ Die Geräteinvestitionen, die dem wissenschaftlichen Fortschritt auf dem Gebiet der Halbleitertechnologien wie der neuartigen Quantensensorik entsprechen, ermöglichen dem IMS Chips, einen Beitrag zur Stärkung der Digitalisierung und der Nachhaltigkeit zu leisten.

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