Nanopatterning Cluster+ Phase 2
Nanopatterning Cluster+ Phase 2
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart erhält eine Zuwendung im Rahmen des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) – Innovation und Energiewende – REACT-EU als Teil der Reaktion der Union auf die COVID-19-Pandemie finanziert Förderperiode 2014-2020 im Rahmen der Verwaltungsvorschrift EFRE – Erweiterung von Innovationskapazitäten – EVI 2014-2020 des Ministeriums für Wirtschaft, Arbeit und Tourismus.
Die Bewilligung erfolgt im Wege der Anteilsfinanzierung zur Projektförderung für das Vorhaben Nanopatterning Cluster+ Phase 2.
Der Zuschuss aus Mitteln der Europäischen Union zur Unterstützung der Krisenbewältigung im Zusammenhang mit der COVID-19- Pandemie und ihrer sozialen Folgen und der Vorbereitung einer grünen, digitalen und stabilen Erholung der Wirtschaft (REACT-EU), ausgereicht über das EFRE-Programm Baden-Württemberg 2014-2020 beträgt 1.980.000,00 EUR.
Im Rahmen dieses Vorhabens soll in den Reinräumen des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS) eine Infrastruktur zur großflächigen und flexiblen Herstellung und Charakterisierung verschiedenster Nanostrukturen in und auf unterschiedlichen Substraten und Materialien geschaffen werden.
Ziel ist die bereits am IMS vorhandenen Möglichkeiten zu erweitern und zu ergänzen und so die Entwicklung neuartiger mikro- und nanostrukturierter Oberflächen und Strukturen in 2D und 2.5D sowie die Erforschung ihrer Eigenschaften zu ermöglichen. Das Vorhaben ermöglicht die variable Herstellung unterschiedlichster Nanostrukturen, diese reichen von Unikaten für die Forschung bis hin zu Mastern für replizierende Prozesse auf Flächen von wenigen Quadratmillimetern bis hin zur vollen Fläche von 200 mm Wafern. Anwendungen für diese Nanostrukturen finden sich in den unterschiedlichsten Bereichen wie z.B. der Photonik, Optik, Augmented Reality und Diagnostik (Medizintechnik, Umwelttechnik, etc.).