Deutscher Zukunftspreis 2020

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Deutscher Zukunftspreis 2020 für EUV-Technologie

Wirtschaftsministerin gratuliert Unternehmen zur Auszeichnung

Wirtschaftsministerin Dr. Nicole Hoffmeister-Kraut hat den Unternehmen Zeiss in Oberkochen und Trumpf in Ditzingen anlässlich der Auszeichnung mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 des Bundespräsidenten gratuliert. 

„Zeiss und Trumpf ist mit ihrer hervorragenden Entwicklungsarbeit gemeinsam mit dem niederländischen Unternehmen ASML und vielen weiteren Partnern ein entscheidender Fortschritt in der Herstellung moderner Mikrochips gelungen. Sie haben damit eine wichtige Hürde auf dem Weg zur schnelleren Verarbeitung großer Datenmengen bei der Anwendung Künstlicher Intelligenz genommen. Die Auszeichnung mit dem Zukunftspreis ist ein Beleg für die herausragende Innovationskraft der baden-württembergischen Industrie und der wirtschaftsnahen Forschungseinrichtungen“, sagte die Ministerin heute (26. November). Das Unternehmen Zeiss arbeitet eng mit dem Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) zusammen.

Im Gegensatz zu der klassischen optischen Lithographie basiert das EUV-Abbildungssystem von ZEISS nicht auf Linsen, sondern auf Spiegeln. Diese hochpräzisen Spiegel aus Oberkochen können einen Durchmesser von bis zu einem Meter haben und erfordern Krümmungsgenauigkeiten im Nanometer-Bereich. Um diese Spiegel vermessen zu können, werden individuell gefertigte hochgenaue Computer Generierte Hologramme (CGHs) benötigt, die am Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) in einer einzigartigen Technologie hergestellt werden. Mit modernstem Equipment wie Elektronenstrahlschreibern sowie engagierten Experten ist es dort möglich, auch sehr große Quarzsubstrate mit Strukturgrößen im Bereich unter 100 Nanometer zu versehen. Dies wiederum ermöglicht es ZEISS, Spiegel verschiedenster Geometrien mit der erforderlichen Präzision zu vermessen. IMS CHIPS, Mitglied der Innovationsallianz Baden-Württemberg (innBW), ist somit einer der Schlüsselpartner von ZEISS.

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