FASERKOPPLUNG

Veröffentlicht am

Projekte

Faserkopplung - Photonische Verbindungstechnologie mit optimierter Koppeleffizienz

Projektzeitraum: 01.11.2018-31.10.2020
Fördergeldgeber: ZIM/AIF
Förderkennzeichen: ZF4429203DF8

Die signaltechnische Anbindung photonischer Bauelemente erfolgt mit Glasfasern, die über mikroskopische Strukturen (Gitterkoppler) Licht in den Chip einkoppeln. Die Effizienz dieser Faserankopplung entscheidet maßgeblich über die Gesamteigenschaften des Schaltkreises. Aktuell besteht ein Zielkonflikt aus notwendiger Koppeleffizienz und Durchsatztauglichkeit der entsprechenden Prozeduren (Glasfasern müssen in sechs Achsen genau ausgerichtet und angebracht werden). Ziel des Projektes soll es sein, neuartige Gitterkoppler mit besonders hoher Koppeleffizienz zu entwickeln, welche durch massentaugliche Prozesse und Verfahren gleichzeitig zukünftige Kostenforderungen erfüllen. Die Kernidee besteht darin, durch spezielle laserunterstützte Ätzverfahren Führungsstrukturen in Form vergrabener Strukturen im Wafer zu erzeugen, in welche die Fasern eingeführt werden.

IMS CHIPS soll ein Ätzverfahren erarbeiten, das die mit dem Laser behandelten Strukturen in Silizium mit höherer Selektivität als die unbehandelten Strukturen abträgt. Die Entwicklungsarbeiten im Rahmen des Projektes betreffen einzelne Prozessschritte in einem bekannten Fertigungsablauf.

Kontakt:

Mathias Kaschel

Tel: +49 711 21855 467

Kategorien: Projekte

0 Kommentare

Schreibe einen Kommentar

Deine E-Mail-Adresse wird nicht veröffentlicht.