DRY PROCESSING WORKSHOP: Plasma & Atomic Scale Process Techniques 2024, Stuttgart
DRY PROCESSING WORKSHOP 2024
24.– 25. September 2024, Stuttgart.
Der Dry Processing Workshop ist ein interaktiver Workshop für Nutzer von Oxford Instruments Plasma Technology-Geräten. Der von Oxford Instruments organisierte Workshop wird vom ZAQuant und dem IMS CHIPS mitveranstaltet.
Die 2-tägige Veranstaltung wird an der Universität Stuttgart durchgeführt.
Plasma Processing Day, Dienstag 24. September 2024
10:15 – 10:30 Uhr
IMS CHIPS: Introductory presentation
Mathias Kaschel
11:45 – 12:15 Uhr
Dry etching of GaN-devices for power electronics and patterning using MEMS processes
Matthias Moser & Martin Siebert
Atomic Scale Processing Day, Mittwoch 25. September 2024
15:00 – 15:30 Uhr
Dry etching of Silicon and Silicon Nitride waveguides using electron beam lithography
Markus Greul
Weitere Informationen zum DRY PROCESSING WORKSHOP 2024 finden Sie auf folgender Website: https://www.oxinst.com/events/dry-processing-workshop-2024