European Mask and Lithography Conference (EMLC) 2024

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European Mask and Lithography Conference (EMLC) 2024

17. – 19. Juni 2024, Grenoble, Frankreich.

Das IMS ist mit einem „Invited Talk“ auf der European Mask and Lithography Conference (EMLC) 2024 vertreten.

Session 10: Optical and E-Beam Direct Write, with Applications for Photonics, AR/VR and Quantum Computing
Mittwoch 19. Juni 2024, 13:50 – 14:10Uhr

Kevin Edelmann
„Optimal shape approximation and writing strategy for integrated photonic waveguides using variable-shaped e-beam direct lithography“
S. Fasold, M. Greul, J. Hartbaum, E. Linn, I. Stolberg, U. Weidenmueller,
Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Stuttgart und Vistec Electron Beam GmbH, Jena

Weitere Informationen zur European Mask and Lithography Conference (EMLC) 2024 finden Sie auf folgender Website: https://www.emlc-conference.com/en

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