Projekt LichtBriQ

lntegrierte photonische Schaltungen (PlCs) sind aufgrund der steigenden Anforderungen an Miniaturisierung, Stabilisierung und Skalierung von optischen Baugruppen nicht nur für klassische Anwendungen, sondern auch für verschiedene Bereiche der Quantentechnologien wegweisend. Konventionelle CMOS-basierte Plattformen wie Si, SiN oder lnP können jedoch nicht allen Anforderungen entsprechen. Darum stellt die Entwicklung neuer Materialplattformen sowie die Qualifizierung entsprechender Fertigungsprozesse für die industrielle und skalierbare Nutzung die größten Herausforderungen dar.

Die lnnovation besteht in der Entwicklung einer disruptiven und nicht-CMOS basierten Materialplattform, welche bei der erfolgreichen Entwicklung geeigneter skalierbarer Fertigungsprozesse die Möglichkeit bietet, sich von den aktuellen und teilweise starken internationalen Abhängigkeiten in der Halbleiterindustrie zu lösen und frühzeitig eine resiliente und wirtschaftliche Fertigung von Quanten-PlCs in Deutschland und der EU aufzubauen.

IMS CHIPS soll ausgehend von der Erfahrung in der Herstellung von PIC auf der Basis von Silizium und Siliziumnitrid und ersten Voruntersuchungen von LNOI-Prozessen eine neue Fertigungslinie für die LNOI-Technologie entwickelt und etabliert werden. Die Bearbeitung von LNOI benötigt aufgrund der physikalischen Eigenschaften besondere Prozesse, die entwickelt und in stabile Prozessfenster gebracht werden müssen. Parallel zu der technologischen Entwicklung soll ein PDK (process design kit) erstellt werden. In dem PDK wird der komplette Fertigungsprozess beschrieben, Regeln definiert und Bauteilbibliotheken aufgebaut und zielt auf eine spätere Industrialisierung der Produktionslinie ab. Das PDK ermöglicht es Partner und Kunden eigene Designs für Bauteile und PIC erstellen und in der Linie fertigen lassen.