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Das ZIM-Projekt „Faserkopplung“ startete zum 01.11.2018

01. November 2018

Die signaltechnische Anbindung photonischer Bauelemente erfolgt mit Glasfasern, die über mikroskopische Strukturen (Gitterkoppler) Licht in den Chips einkoppeln. Die Effizienz dieser Faserankopplung entscheidet maßgeblich über die Gesamteigenschaften des Schaltkreises. Aktuell besteht ein Zielkonflikt aus notwendiger Koppeleffizienz und Durchsatztauglichkeit der entsprechenden Prozeduren (Glasfasern müssen in sechs Achsen genau ausgerichtet und angebracht werden). Ziel des Projektes soll es sein, neuartige Gitterkoppler mit besonders hoher Koppeleffizienz zu entwickeln, welche durch massentaugliche Prozesse und Verfahren gleichzeitig zukünftige Kostenforderungen erfüllen. Die Kernidee besteht darin, durch spezielle laserunterstützte Ätzverfahren Führungsstrukturen in Form vergrabener Strukturen im Wafer zu erzeugen, in welche die Fasern eingeführt werden.

IMS CHIPS soll ein Ätzverfahren erarbeiten, das die mit dem Laser behandelten Strukturen in Silizium mit höherer Selektivität als die unbehandelten Strukturen abträgt. Die Entwicklungsarbeiten im Rahmen des Projektes betreffen einzelne Prozessschritte in einem bekannten Fertigungsablauf.

Projektzeitraum: 01.11.2018-31.10.2020
Fördergeldgeber: ZIM/AIF
Förderkennzeichen: ZF4429203DF8