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Kooperation für noch feinere Strukturen von Mikrochips

24. März 2014

Der Unternehmensbereich Semiconductor Manufacturing Technology von ZEISS und IMS CHIPS arbeiten gemeinsam an der Entwicklung nanostrukturierter optischer Komponenten. Diese erlauben es, feinere Strukturen von Mikrochips zu belichten, um diese noch kleiner, leistungsfähiger, energieeffizienter und preiswerter zu machen. Wesentliche Elemente dieser Nanometer-Optiken werden von IMS CHIPS entwickelt. Immer kleinere Strukturen erfordern jedoch immer aufwendigere und größere Geräte. Deshalb hat IMS CHIPS in einen sogenannten Elektronenstrahl-Schreiber der neuesten Generation investiert. Die Finanzierung des Hightech-Equipments war nur möglich über einen Forschungsverbund zwischen ZEISS und IMS CHIPS. Finanzielle Unterstützung leisteten sowohl das Land Baden-Württemberg als auch ZEISS.
IMS CHIPS und ZEISS kooperieren bereits seit 2002.

Weitere Informationen finden Sie in der Pressemitteilung: Pressemitteilung