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IMS Newsletter 1/2013

14. Mai 2013

Unsere aktuelle Newsletter steht jetzt als als PDF-Dokument zur Verfügung.

Mit dem Newsletter 1/2013 möchten wir Sie über aktuelle Aktivitäten am Institut für Mikroelektronik Stuttgart informieren. Die Themen in der aktuellen Ausgabe sind:

Einweihung des Reinraumanbaus am IMS
Nach zwei Jahren Bauzeit wurde am 22. April der neue Reinraum des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart von Finanz- und Wirtschaftsminister Dr. Nils Schmid und Oberbürgermeister Fritz Kuhn eingeweiht. Zeitgleich wurde auch die Anlieferung eines neuen Elektronenstrahlschreibers gefeiert.

µ-Probe, beheizbare Führ­ungs­platte für Prüfkarten
Siliziumkomponenten mit hochpräzisen Mikrostrukturen eröffnen neue Möglichkeiten in der Feinwerktechnik: Am IMS entwickelte Siliziumführungsplatten mit Heizelementen wurden in Prüfkarten integriert und erfolgreich im Wafertester erprobt. Der Test von Siliziumchips der nächsten Generation ist mit dieser Technik präzise bei verschiedenen Temperaturen möglich.

Neuartige optische Elemente zur Präzisions­messung von EUV-Spiegeln
Am IMS wurden Technologien zur Herstellung von neuartigen optischen Elementen in höchster Qualität für den Einsatz in der Präzisionsmessung von EUV-Spiegeloptiken entwickelt. Die Arbeiten waren Teil des vom BMBF geförderten Verbundprojektes „EUV-Lithografie für den 22-Nanometer-Knoten“ und damit eingebettet in das europäische Projekt EXEPT. Nach dem erfolgreichen Abschluss des EXEPT-Projektes in 2012 gewann dieses den CATRENE Innovation Award.

Handbuch: Guide to State-of-the-Art Electron Devices
Der „Guide to State-of-the-Art Electron Devices“ erscheint anlässlich des 60. Jubiläums der IRE Electron Devices Group und des 35. Jubiläums der IEEE Electron Devices Society. Er enthält einen Überblick über die neuesten elektronischen Bauelemente und informiert über künftige Trends in der gesamten Branche.

Den IMS Newsletter finden sie unter Publikationen - Aktuelle Publikationen.

Viel Spaß beim Lesen!