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IMS Newsletter 1/2013

14. Mai 2013

Unsere aktuelle Newsletter steht jetzt als als PDF-Dokument zur VerfĂŒgung.

Mit dem Newsletter 1/2013 möchten wir Sie ĂŒber aktuelle AktivitĂ€ten am Institut fĂŒr Mikroelektronik Stuttgart informieren. Die Themen in der aktuellen Ausgabe sind:

Einweihung des Reinraumanbaus am IMS
Nach zwei Jahren Bauzeit wurde am 22. April der neue Reinraum des Instituts fĂŒr Mikroelektronik Stuttgart von Finanz- und Wirtschaftsminister Dr. Nils Schmid und OberbĂŒrgermeister Fritz Kuhn eingeweiht. Zeitgleich wurde auch die Anlieferung eines neuen Elektronenstrahlschreibers gefeiert.

”-Probe, beheizbare FĂŒhr­ungs­platte fĂŒr PrĂŒfkarten
Siliziumkomponenten mit hochprĂ€zisen Mikrostrukturen eröffnen neue Möglichkeiten in der Feinwerktechnik: Am IMS entwickelte SiliziumfĂŒhrungsplatten mit Heizelementen wurden in PrĂŒfkarten integriert und erfolgreich im Wafertester erprobt. Der Test von Siliziumchips der nĂ€chsten Generation ist mit dieser Technik prĂ€zise bei verschiedenen Temperaturen möglich.

Neuartige optische Elemente zur PrÀzisions­messung von EUV-Spiegeln
Am IMS wurden Technologien zur Herstellung von neuartigen optischen Elementen in höchster QualitĂ€t fĂŒr den Einsatz in der PrĂ€zisionsmessung von EUV-Spiegeloptiken entwickelt. Die Arbeiten waren Teil des vom BMBF geförderten Verbundprojektes „EUV-Lithografie fĂŒr den 22-Nanometer-Knoten“ und damit eingebettet in das europĂ€ische Projekt EXEPT. Nach dem erfolgreichen Abschluss des EXEPT-Projektes in 2012 gewann dieses den CATRENE Innovation Award.

Handbuch: Guide to State-of-the-Art Electron Devices
Der „Guide to State-of-the-Art Electron Devices“ erscheint anlĂ€sslich des 60. JubilĂ€ums der IRE Electron Devices Group und des 35. JubilĂ€ums der IEEE Electron Devices Society. Er enthĂ€lt einen Überblick ĂŒber die neuesten elektronischen Bauelemente und informiert ĂŒber kĂŒnftige Trends in der gesamten Branche.

Den IMS Newsletter finden sie unter Publikationen - Aktuelle Publikationen.

Viel Spaß beim Lesen!