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Projekt ┬Á-Probe erfolgreich abgeschlossen: Beheizbare F├╝hrungsplatte erf├╝llt die Erwartungen

30. November 2012

Am 29. November 2012 fand am IMS die Abschlusspr├Ąsentation des Verbundprojekts PRONTO ┬Á-Probe statt. Ziel des Projekts war es, mit einer temperierbaren Pr├╝fkarte die Genauigkeit des Pr├╝fvorganges beim Test von Halbleiterwafern zu erh├Âhen. Dazu wurden am IMS Silizium-F├╝hrungsplatten mit hochpr├Ązisen ├ľffnungen f├╝r die Pr├╝fnadeln und Heizelemente hergestellt, die der Partner Feinmetall in eine ebenfalls beheizbare Pr├╝fkarte integriert hat. Die Ansteuerung und Integration in die Prober-Umgebung ├╝bernahm Advantest (ehemals Verigy). Der Einsatz des neuen Systems verringert unerw├╝nschte Positionsverschiebungen der Pr├╝fnadeln bei Temperaturwechseln deutlich. Nach einer Bedarfsanalyse bei den Kunden werden weitere Schritte f├╝r die Umsetzung geplant. Dank der mit der Produktionsplattform PRONTO erstellten Prozessdokumentation l├Ąsst sich dies nun leichter realisieren.

Weitere Informationen zu PRONTO finden Sie unter: http://micro-probe.ims-chips.de