Aktuelles
 

News - Archiv

Projekt µ-Probe erfolgreich abgeschlossen: Beheizbare Führungsplatte erfüllt die Erwartungen

30. November 2012

Am 29. November 2012 fand am IMS die Abschlusspräsentation des Verbundprojekts PRONTO µ-Probe statt. Ziel des Projekts war es, mit einer temperierbaren Prüfkarte die Genauigkeit des Prüfvorganges beim Test von Halbleiterwafern zu erhöhen. Dazu wurden am IMS Silizium-Führungsplatten mit hochpräzisen Öffnungen für die Prüfnadeln und Heizelemente hergestellt, die der Partner Feinmetall in eine ebenfalls beheizbare Prüfkarte integriert hat. Die Ansteuerung und Integration in die Prober-Umgebung übernahm Advantest (ehemals Verigy). Der Einsatz des neuen Systems verringert unerwünschte Positionsverschiebungen der Prüfnadeln bei Temperaturwechseln deutlich. Nach einer Bedarfsanalyse bei den Kunden werden weitere Schritte für die Umsetzung geplant. Dank der mit der Produktionsplattform PRONTO erstellten Prozessdokumentation lässt sich dies nun leichter realisieren.

Weitere Informationen zu PRONTO finden Sie unter: https://micro-probe.ims-chips.de