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IMS CHIPS bekommt neuen Elektronenstrahl-Schreiber

14. Februar 2011

Großgeräteinvestition am Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) – Herzstück einer weltweit einmaligen Infrastruktur zur Serienfertigung komplexer Nanostrukturen.

Die Mikroelektronik und die Nanotechnologie benötigen künftig Strukturen, die weit über zehntausendmal dünner sind, als ein menschliches Haar. IMS CHIPS rüstet sich für diese Anforderungen und wird einen Elektronenstrahl- Schreiber der neuesten Generation der Firma Vistec Electron Beam GmbH aus Jena beschaffen. Dieser ermöglicht die Belichtung vielfältiger Substrate mit minimalen Strukturbreiten von 30 Nanometern bei sehr hohem Durchsatz.

Weitere Informationen finden Sie in der Pressemitteilung
Neuer Elektronenstrahlschreiber.pdf

Ort: Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Allmandring 30a, Stuttgart