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IMS CHIPS bekommt neuen Elektronenstrahl-Schreiber

14. Februar 2011

Gro├čger├Ąteinvestition am Institut f├╝r Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) ÔÇô Herzst├╝ck einer weltweit einmaligen Infrastruktur zur Serienfertigung komplexer Nanostrukturen.

Die Mikroelektronik und die Nanotechnologie ben├Âtigen k├╝nftig Strukturen, die weit ├╝ber zehntausendmal d├╝nner sind, als ein menschliches Haar. IMS CHIPS r├╝stet sich f├╝r diese Anforderungen und wird einen Elektronenstrahl- Schreiber der neuesten Generation der Firma Vistec Electron Beam GmbH aus Jena beschaffen. Dieser erm├Âglicht die Belichtung vielf├Ąltiger Substrate mit minimalen Strukturbreiten von 30 Nanometern bei sehr hohem Durchsatz.

Weitere Informationen finden Sie in der Pressemitteilung
Neuer Elektronenstrahlschreiber.pdf

Ort: Institut f├╝r Mikroelektronik Stuttgart, Allmandring 30a, Stuttgart