Aktuelles
 

News - Archiv

MEDEA+ Projekt FANTASTIC erfolgreich abgeschlossen

11. April 2010

UV-Nanoimprint Lithografie Stempelfertigung am IMS.
Das im August 2006 gestartete und vom BMBF geförderte Projekt FANTASTIC ist mit Erfolg abgeschlossen worden.
Im Rahmen von FANTASTIC wurde das Potenzial der UV-Nanoimprint Lithografie (UV-NIL) zur Fertigung fortgeschrittener CMOS-Bauelemente untersucht. Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart war für die Fertigung von Templates verantwortlich und hat Fertigungstechnologien für einfache 2D bis hin zu komplexen 3D Multi-Lagen-Strukturen unterschiedlicher Ätztiefen entwickelt.
IMS CHIPS bietet nun die Fertigung von Stempeln mit verschiedenen Formfaktoren an, für unterschiedliche Anwendungen aus den Bereichen Mikroelektronik, Mikro- und Nanosystemtechnik, Nanooptik und Nanophotonik.

Weitere Informationen finden Sie unter: www.fantastic-project.org