Arbeitsgebiete
 

Membranen

IMS Chips fertigt Membran unterschiedlicher Form und Gr├Â├če aus verschiedenen Materialien. Eine Strukturierung kann entweder direkt in die Membran (ÔÇ×Stencil MaskÔÇť) oder f├╝r Si3N4-Membranen in eine d├╝nne Cr-Absorberschicht (ÔÇ×Absorber MaskÔÇť) erfolgen.

Membran mit einem Durchmesser von 127 mm, 2 ┬Ám Dicke und minimalen Struktur in der Gr├Â├če von 200 nm

Membran mit einem Strukturbereich von 15 mm Durchmesser und einer ├ľffnung in der Mitte

Si3N4-Membrane mit strukturiertem Cr-Absorber

Kontakt
F├╝r weitere Informationen steht ihnen Florian Letzkus zur Verf├╝gung.