Erfolge bei Energieeinsparung
Erfolge bei Energieeinsparung
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart hat im vergangenen Jahr bedeutende Fortschritte bei der Energieeinsparung erzielt
Der Betrieb eines Reinraumes benötigt sehr viel Energie. Allein die Reinigung der Luft, die nahezu frei von Partikeln sein muss und die Aufbereitung von Leitungswasser zu Reinstwasser ist sehr aufwändig und macht einen großen Teil des gesamten Energiebedarfs aus. Hinzu kommen die eigentlichen Maschinen und Anlagen zur Strukturierung und zur Herstellung von komplexen Komponenten für die Mikroelektronik. Diese Geräte benötigen neben Strom zum Betrieb auch Energie für die Kühlung bzw. Klimatisierung. So muss beispielsweise die Temperatur des Raumes, in dem sich der 11 Tonnen schwere Elektronenstrahlschreiber SB4050 befindet, mit einer Genauigkeit von 1/10 Grad Celsius gehalten werden – rund um die Uhr an 365 Tagen im Jahr.
Viele der Geräte produzieren Abwärme, die abgeführt werden muss bzw. müssen diese Geräte mit Kühlsystemen gekühlt werden. Hierzu wurde bisher in großem Umfang Fernkälte genutzt, die von zwei Kältezentralen der Universität Stuttgart über ein Leitungsnetz auf dem Campus Vaihingen verteilt wird.
Durch eine Vielzahl von Maßnahmen konnten wir unseren jährlichen Stromverbrauch um 554.600 kWh senken, während der Fernwärmeverbrauch um 467.000 kWh reduziert wurde. Seit 2018 haben wir zudem den Fernkälteverbrauch um beeindruckende 2.000.000 kWh gesenkt.
Unser Erfolg beruht auf Anpassungen an verschiedenen Stellen, die es uns ermöglicht haben, unseren Energieverbrauch zu reduzieren. Insbesondere die Erneuerung unserer zentralen Reinraumsteuerung sowie die Optimierung unserer Kühlwasserkreisläufe haben dabei eine wichtige Rolle gespielt. Zusätzlich wurde eine Photovoltaikanlage auf unserem Dach installiert, um saubere Energie zu erzeugen und unseren ökologischen Fußabdruck weiter zu verringern.
Neben diesen größeren Maßnahmen wurden auch viele kleinere Optimierungen umgesetzt. Durch die Erneuerung von Leuchtmitteln und Pumpen konnten wir beispielsweise weitere Einsparungen erzielen. Diese kontinuierlichen Bemühungen haben zu einem signifikanten Rückgang unseres Energieverbrauchs geführt.
Als weitere Maßnahme wurde vor einigen Wochen eine neue Wärmepumpe installiert, die vom Kühlwasser aufgenommene Wärme nutzt und als Wärmequelle für die Gebäudeheizung verwendet. Momentan werden Abluftventilatoren durch neue Modelle ersetzt, die über einen regelbaren, effizienteren Antrieb verfügen und weitere Einsparungen versprechen.
Für die Zukunft sind weitere Maßnahmen geplant, um unseren Energieverbrauch weiter zu reduzieren. Ein Schwerpunkt liegt dabei auf dem Ausbau der Photovoltaikanlage auf dem Dach, um noch mehr erneuerbare Energie zu produzieren.
Die in unserem Reinraum eingesetzten fluorhaltigen Prozessgase werden durch sogenannte Verbrenner-Wäscher mit einem thermischen Plasma unschädlich gemacht und die Verbrennungsprodukte ausgewaschen und gefiltert.
Wir sind stolz auf die Fortschritte bei der Energieeinsparung am IMS. Mit Engagement und einem Fokus auf nachhaltige Lösungen werden wir unseren Beitrag zum Umweltschutz weiter ausbauen.
Infos: Thomas Deuble • Telefon +49 711 21855-244 • deuble@ims-chips.de