Das IMS ist mit einem Poster auf der MNE 2019 in Rhodos, Griechenland vertreten.
POSTER PRESENTATIONS:
Thematic area C: 25. September, 14:15 Uhr
Large area Silicon-energy filters for ion implantation
Steinbach T.1, Csato C.2, Krippendorf F.2, Letzkus F.1, Rüb M.2,3, Burghartz J.1
1 Institut Für Mikroelektronik Stuttgart (IMS-CHIPS), Stuttgart, Germany, 2 mi2-factory GmbH, Jena, Germany, 3 Ernst-Abbe-Hochschule Jena, Jena, German
Nähere Informationen zur "MNE 2019" finden Sie unter
https://www.mne2019.org/
