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Konferenzen

45th International Conference on Micro & Nano Engineering 2019

23. - 26. September 2019

Das IMS ist mit einem Poster auf der MNE 2019 in Rhodos, Griechenland vertreten.

POSTER PRESENTATIONS:
Thematic area C: 25. September, 14:15 Uhr

Large area Silicon-energy filters for ion implantation

Steinbach T.1, Csato C.2, Krippendorf F.2, Letzkus F.1, Rüb M.2,3, Burghartz J.1

1 Institut Für Mikroelektronik Stuttgart (IMS-CHIPS), Stuttgart, Germany, 2 mi2-factory GmbH, Jena, Germany, 3 Ernst-Abbe-Hochschule Jena, Jena, German

Nähere Informationen zur "MNE 2019" finden Sie unter https://www.mne2019.org/

Ort: Rodos Palace Hotel, Iraklidon Avenue, 85100 Rhodos, Griechenland