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Neuer Laserdirektschreiber in Betrieb genommen

23. Januar 2015

Ende 2014 wurde ein aus Mitteln des Europäischen Fonds für Regionale Entwicklung (EFRE) und des Ministeriums für Finanzen und Wirtschaft Baden-Württemberg finanzierter Laserdirektschreiber (VPG400 der Firma Heidelberg Instruments Mikrotechnik) am IMS installiert und in Betrieb genommen. Mit dem Gerät, können maskenlos Mikrostrukturen auf einer Vielzahl von Materialien wie z.B. Wafern, Quarzplatten oder Keramik- und Kunststoffsubstraten erzeugt werden. Für die Forschungsarbeiten und die Entwicklung von Prototypen eröffnen sich damit viele neue Möglichkeiten: so können die belichteten Strukturen eine deutlich größere Ausdehnung als Mikrochips haben, die einzelnen Strukturen aber trotzdem weniger als ein Mikrometer betragen. Arbeiten an neuen Lösungen für Chips in Folien, komplexe MEMS Bausteine und hybride Systeme werden schneller und effizienter vorangetrieben.

Weitere Informationen finden Sie in der Pressemitteilung: PM_Laserdirektschreiber_2015.pdf

Förderung:

Programm "Regionale Wettbewerbsfähigkeit und Beschäftigung"

Europäische Union – Europäischer Fonds für regionale Entwicklung

Land Baden-WĂĽrttemberg