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Deutscher Zukunftspreis 2020 für EUV-Technologie
24. November 2020

Wirtschaftsministerin gratuliert Unternehmen zur Auszeichnung
Wirtschaftsministerin Dr. Nicole Hoffmeister-Kraut hat den Unternehmen Zeiss in Oberkochen und Trumpf in Ditzingen anlässlich der Auszeichnung mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 des Bundespräsidenten gratuliert.
„Zeiss und Trumpf ist mit ihrer hervorragenden Entwicklungsarbeit gemeinsam mit dem niederländischen Unternehmen ASML und vielen weiteren Partnern ein entscheidender Fortschritt in der Herstellung moderner Mikrochips gelungen. Sie haben damit eine wichtige Hürde auf dem Weg zur schnelleren Verarbeitung großer Datenmengen bei der Anwendung Künstlicher Intelligenz genommen. Die Auszeichnung mit dem Zukunftspreis ist ein Beleg für die herausragende Innovationskraft der baden-württembergischen Industrie und der wirtschaftsnahen Forschungseinrichtungen“, sagte die Ministerin heute (26. November). Das Unternehmen Zeiss arbeitet eng mit dem Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) zusammen.
Im Gegensatz zu der klassischen optischen Lithographie basiert das EUV-Abbildungssystem von ZEISS nicht auf Linsen, sondern auf Spiegeln. Diese hochpräzisen Spiegel aus Oberkochen können einen Durchmesser von bis zu einem Meter haben und erfordern Krümmungsgenauigkeiten im Nanometer-Bereich. Um diese Spiegel vermessen zu können, werden individuell gefertigte hochgenaue Computer Generierte Hologramme (CGHs) benötigt, die am Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) in einer einzigartigen Technologie hergestellt werden. Mit modernstem Equipment wie Elektronenstrahlschreibern sowie engagierten Experten ist es dort möglich, auch sehr große Quarzsubstrate mit Strukturgrößen im Bereich unter 100 Nanometer zu versehen. Dies wiederum ermöglicht es ZEISS, Spiegel verschiedenster Geometrien mit der erforderlichen Präzision zu vermessen. IMS CHIPS, Mitglied der Innovationsallianz Baden-Württemberg (innBW), ist somit einer der Schlüsselpartner von ZEISS.
Pressemitteilung der Wirtschaftsministerin Dr. Nicole Hoffmeister-Kraut zum Deutschen Zukunftspreis 2020
Weiter Links:
Deutscher Zukunftspreis
Statement des Bundesforschungsministeriums
Pressemitteilung Trumpf
Pressemitteilung ZEISS
Webinar IMS CHIPS 2020
19. November 2020
Am 19. November 2020 veranstaltete IMS CHIPS ein kostenfreies Webinar mit IMS-Experten.
Aufgrund der weltweiten Covid-19-Situation konnte der 18. Workshop Beams & More, der für den 19. November geplant war, nicht stattfinden.
Die Präsentationen umfassten Highlights wie die Ergebnisse unseres neuen Laserschreibers, die Erweiterung unserer photonischen Aktivitäten oder aktuelle Prozessentwicklungen bei IMS CHIPS.
Vorträge:
- HIMT ULTRA - a new state-of-the-art Laser Writer at IMS CHIPS – Holger Sailer
- Datafiles and -formats for Lithography at IMS CHIPS – Stephan Martens
- Silicon Photonics: Integrated photonics for sensing applications – Mathias Kaschel
- HySiF – Hybrid Systems in Foil – Björn Albrecht
- Silicon energy filters for single step implantations of SiC substrates – Tamas Steinbach
- Si (111) deep etching for GaN applications – Matthias Moser
- Closing remarks/Outlook 2021 – Julian Hartbaum
IMS Newsletter 2/2020
06. November 2020
Unsere aktuelle Newsletter steht jetzt als als PDF-Dokument zur Verfügung.
Mit dem Newsletter 2/2020 möchten wir Sie über aktuelle Aktivitäten am Institut für Mikroelektronik Stuttgart informieren. Die Themen in der aktuellen Ausgabe sind:
POSITION II – Pilotlinie für die nächste Generation von intelligenten Kathetern und Implantaten
Neue Innovationen und die Einführung von offenen Technologieplattformen bieten
die Grundlage für die nächste Generation von Kathetern und Implantaten. Dabei spielen Miniaturisierungen, eine möglichst objektnahe Signalerfassung, drahtlose Kommunikation und angepasste Verkapselungen eine zentrale Rolle.
ZIM-Projekt Faser-Chip-Kopplung
Im Rahmen des ZIM-Kooperationsprojektes soll eine schnelle und genaue Aufbautechnik für die Verbindung von Glasfasern zu optischen Chips entwickelt werden. Dazu werden mit Hilfe eines Laser- und Ätzprozesses Führungsstrukturen für die Glasfaseraufnahme auf dem Silizium gefertigt.
Modernisierung der Nasschemie und Upgrade auf 200 mm Linie
Bei IMS CHIPS findet seit 2019 ein Austausch der nasschemischen Anlagen statt. Die neue Linie umfasst modernste Maschinen auf dem neusten Stand der Technik mit erhöhter Reinigungseffizienz und verbesserter Qualitätskontrolle. Die neubeschafften Anlagen ermöglichen die vollautomatische Prozessierung von Wafern mit Durchmessern von bis zu 200 mm mit höherem Durchsatz, optimierter Reproduzierbarkeit und sicherer Durchführung der Nassätz- und Reinigungsprozesse.
HDRC®-AeroPantoCam – Sensorsystem zur visuellen und thermischen Überwachung der Pantografen von Schienenfahrzeugen
Eine gerissene Oberleitung sorgt für Zugausfälle und Verspätungen. IMS CHIPS entwickelt mit den Projektpartnern KST und Gevitec im Rahmen des ZIM-Kooperationsprojektes HDRC®-AeroPantoCam ein neuartiges und äußerst robustes Sensorsystem zur visuellen und thermischen Überwachung der Pantografen von Schienenfahrzeugen im Außenbereich.
Den IMS Newsletter finden sie unter Publikationen - Aktuelle Publikationen.
Viel Spaß beim Lesen!
Nature-Artikel: CMOS-Chip von IMS CHIPS als Hologrammprojektor
10. September 2020

Wissenschaftler am Max Planck Institut für Intelligente Systeme und der Universität Stuttgart entwickelten einen Ultraschallprojektor für hochauflösende bewegte holografische Bilder. Darüber berichten die Forscher nun in einem Beitrag im renommierten Nature-Magazin.
Der Ultraschallprojektor basiert auf einem speziellen Mikrochip, der am Institut für Mikroelektronik Stuttgart entwickelt und gefertigt wurde. Der Chip verfügt über tausende winzige vergoldete Elektroden, die als Matrix auf der Chip-Oberfläche angeordnet über in den Chip integrierte Elektronik digital angesteuert werden können. Auf diese Weise können in einer Flüssigkeit über den Elektroden gezielt Mikrobläschen erzeugt werden, mit denen sich wiederum Ultraschallwellen räumlich modulieren lassen, was zu einem holografischen Bildeindruck führt. Da sich die sog. "microbubbles" über den Chip digital in schneller Abfolge ein- und ausschalten lassen, können holografische Videos mit einem räumlichen Bildeindruck wiedergegeben werden
Die Original-Veröffentlichung finden Sie hier www.nature.com
Weitere Informationen finden Sie auf folgenden Webseiten:
Universität Stuttgart
Max-Planck-Institut für Intelligente Systeme
Mikrosysteme für KI – KI für Mikrosysteme: von neuromorpher Hardware und intelligenter Sensorik
03. Dezember 2020 mehr ...
8th Electronics System-Integration Technology Conference ESTC 2020, Vestfold, Norway
15. - 18. September 2020 mehr ...
IEEE International Conference on Flexible and Printable Sensors and Systems 2020, Manchester, UK
16. - 19. August 2020 mehr ...
Sensorik der Zukunft – Hardware-/Softwareinnovationen und Künstliche Intelligenz
29. Juni 2020 mehr ...
PanaMEA – Blutzuckerspiegel intelligent überwachen
29. Juni 2020 mehr ...
Innovationsallianz Baden-Württemberg erhält Geschäftsstelle in Stuttgart und gründet Verein
24. Juni 2020 mehr ...
IMS Newsletter 1/2020
15. Mai 2020 mehr ...
„100 Orte für Industrie 4.0 live erleben“ bei IMS CHIPS wird verschoben
01. April 2020 mehr ...
microTEC Südwest Clusterkonferenz verschoben auf den 21.–22. September 2020
18. - 19. März 2020 mehr ...
Joint Spring MOS-AK Workshop and IEEE EDS Mini-Colloquium on „Non-conventional Devices and Technologies“ abgesagt
17. - 18. März 2020 mehr ...
Zukunftscluster „QSens“ - Quantensensoren für die Zukunft
16. März 2020 mehr ...
Hardware-KI: Use-Cases und Anforderungen aus Sicht des Mittelstands
18. Februar 2020 mehr ...
INOSENS - Untersuchungen zu einem innovativen optischen Drehwinkelsensor
23. Januar 2020 mehr ...
Wir wünschen frohe Festtage und ein erfolgreiches Jahr 2020
14. Dezember 2019 mehr ...
17. Fachgruppensitzung Mikromedizintechnik: Minimalinvasive Diagnostik
03. Dezember 2019 mehr ...
Kretschmann auf Delegationsreise in Paris
20. November 2019 mehr ...
Wirtschaftsministerium fördert Institut für Mikroelektronik Stuttgart
20. November 2019 mehr ...
Feier „5 Jahre Allianz Industrie 4.0 Baden-Württemberg“
18. November 2019 mehr ...
17th Workshop "Beams and More" 2019
14. November 2019 mehr ...
MikroSystemTechnik Kongress 2019 in Berlin
28. Oktober 2019 - 30. Oktober 2017 mehr ...
The 18th IEEE Conference on Sensors 2019
27. - 30. Oktober 2019 mehr ...
45. Treffen der Nutzergruppe Heißprozesse und RTP und 61. Treffen der Nutzergruppe Ionenimplantation
23. - 24. Oktober 2019 mehr ...
IMS Newsletter 2/2019
16. Oktober 2019 mehr ...
Mikroelektronik Technologie Seminar
09. - 11. Oktober 2019 mehr ...
45th International Conference on Micro & Nano Engineering 2019
23. - 26. September 2019 mehr ...
Workshop Chip Design Management für Anwender und Kunden
08. Juli 2019 mehr ...
13th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-13)
07. - 12. Juli 2019 mehr ...
Landesfest der Technik 2019 im VDI-Haus Stuttgart
29. Juni 2019 mehr ...
Wirtschaftsministerium fördert Verbundprojekt „Mikroelektronik für Künstliche Intelligenz“ mit rund zwei Millionen Euro
28. Juni 2019 mehr ...
Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII
23. - 27. Juni 2019 mehr ...
VDC TZ Meetup zum Digtalen Wandel
23. Mai 2019 mehr ...
IMS CHIPS erhielt den Dürr Supplier Award 2019
16. Mai 2019 mehr ...
Partikelsensor - Entwicklung eines hochintegrierten, tragbaren Systems zur Echtzeit-Analyse der Umgebungsluft
24. April 2019 mehr ...
IMS Newsletter 1/2019
22. April 2019 mehr ...
IDTechEx Show! 2019
10. - 11. April 2019 mehr ...
NILindustrialday 2019
28. - 29. März 2019 mehr ...
Wirtschaft trifft Wissenschaft - Schritt für Schritt zur digitalisierten Produktion
27. März 2019 mehr ...
CS International Conference 2019
26. - 27. März 2019 mehr ...
Tagung „Mikroelektronik für Industrie 4.0“
21. - 22. März 2019 mehr ...
microTEC Südwest Clusterkonferenz 2019
20. - 21. März 2019 mehr ...
11. Innovation Forum Smarte Technologien & Systeme
14. März 2019 mehr ...
Forschungsseminar/EDS Webinar
13. März 2019 mehr ...
Projekt MOCVD 4.2 gestartet
01. Januar 2019 mehr ...
Wir wünschen frohe Festtage und ein erfolgreiches Jahr 2019
14. Dezember 2018 mehr ...
HDRC-AeroPantoCam – Sensorsystem zur visuellen und thermischen Überwachung der Pantografen von Schienenfahrzeugen
13. Dezember 2018 mehr ...
EVG Bio & Photonics Device Manufacturing Workshop 2018
10. Dezember 2018 mehr ...
Wirtschaftsministerium fördert mit 1,3 Millionen Euro die Sanierungsmaßnahmen beim Institut für Mikroelektronik
30. November 2018 mehr ...
16th Workshop "Beams and More" 2018
15. November 2018 mehr ...
International Workshop on Nitride Semiconductors 2018 (IWN)
11. November 2018 mehr ...
Das ZIM-Projekt „Faserkopplung“ startete zum 01.11.2018
01. November 2018 mehr ...
Mikroelektronik Technologie Seminar
10. - 12. Oktober 2018 mehr ...
Projekt FLEXMAX – Flexible aktive Sensormatrix für medizinische Anwendungen
05. Oktober 2018 mehr ...
Das vom BMBF-geförderte Projekt „OPALID“ startete zum 01.10.2018
01. Oktober 2018 mehr ...
U.R.S.I. Kleinheubacher Tagung 2018
24. - 26. September 2018 mehr ...
EDS Newsletter Technisch Artikelserie "Wunder der Mikroelektronik"
21. September 2018 mehr ...
32nd EUROSENSORS Conference 2018
09. September 2018 - 12. September 2019 mehr ...
ESSDERC 2018 - 48th European Solid-State Device Research Conference in Dresden
03. - 06. September 2018 mehr ...
Projektstart TAPES3 - Technology Advances for Pilotline of Enhanced Semiconductors for 3 nm
17. August 2018 mehr ...
Projektstart POSITION-II - Eine Pilotlinie für die nächste Generation von intelligenten Kathetern und Implantaten
17. August 2018 mehr ...
2018 IEEE International Flexible Electronics Technology Conference
07. - 09. August 2018 mehr ...
Chip-Film Patch Titelthema bei IEEE-Journal „Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology“
23. Juli 2018 mehr ...
SMT Hybrid Packaging 2018
05. - 07. Juni 2018 mehr ...
Compound Semiconductor Week (CSW)
29. Mai - 01. Juni 2018 mehr ...
Micro Assembly Day 2018
17. Mai 2018 mehr ...
BMBF Projekt FLEXMAX gestartet
17. Mai 2018 mehr ...
Emerging Technologies 2018
09. - 11. Mai 2018 mehr ...
IEEE-EDS Distinguished Lecture in Ontario, Canada
08. Mai 2018 mehr ...
Staatssekretärin Schütz besucht das IMS und überreicht den Förderbescheid
24. April 2018 mehr ...
Hannover Messe HMI
23. - 27. April 2018 mehr ...
Tag der Informationslogistik 2018
19. April - 20. März 2018 mehr ...
GaN Marathon 2.0
18. - 19. April 2018 mehr ...
microTEC Südwest Clusterkonferenz 2018
16. - 17. April 2018 mehr ...
CS International Conference 2018
10. - 11. April 2018 mehr ...
IMS Newsletter 1/2018
06. April 2018 mehr ...
ICT.OPEN 2018
19. - 20. März 2018 mehr ...
Gutachter: innBW-Institute leisten exzellente Arbeit
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KMU-innovativ Projekt GaNScan gestartet
14. Dezember 2017 mehr ...
2017 FLEX Europe Conference – be flexible
15. - 16. November 2017 mehr ...
Projekt zur Herstellung grossflächiger Si-Energiefiltermembranen gestartet
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IEEE SENSORS 2017
29. Oktober - 01. November 2017 mehr ...
15th Workshop "Beams and More" 2017
24. Oktober 2017 mehr ...
MikroSystemTechnik Kongress 2017 in München
23. - 25. Oktober 2017 mehr ...
Mikroelektronik Technologie Seminar
11. - 13. Oktober 2017 mehr ...
2017 IEEE International Symposium on Systems Engineering
11. - 13. Oktober 2017 mehr ...
IEEE Electron Devices Society - Mini Colloquium
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IMS Newsletter 1/2017
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The 61st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication
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SPIE Microtechnologies 2017
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Hannover Messe HMI
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InnoTruck – Technik und Ideen für morgen
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Clusterkonferenz des Spitzenclusters MicroTEC Südwest
22. - 23. April 2013 mehr ...
Einweihung des Reinraumanbaus am Institut für Mikroelektronik Stuttgart
22. April 2013 mehr ...
BMBF-Förderprojekt KoSiF gestartet – Unternehmen und Forscher arbeiten gemeinsam an biegbaren und autonomen Sensorsystemen
27. März 2013 mehr ...
Wissenschaft zum Ansprechen – Innovationsbörse Energie bei der IHK Schwarzwald-Baar-Heuberg
20. März 2013 mehr ...
Artikel über die IMS Chipfilm™ Technologie in IEEE Spectrum
01. März 2013 mehr ...
5. Innovationsforum für Mikrotechnik & SmartSystems 2013 in Villingen-Schwenningen
27. Februar 2013 mehr ...
Vortrag "Ultra Thin Chips: A new paradigm in silicon technology?"
12. - 14. Februar 2013 mehr ...
49. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in Mannheim
08. Februar 2013 mehr ...
CEB Clean Energy Building 2013 in Stuttgart
07. - 09. Februar 2013 mehr ...
53. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in Esslingen
06. Februar 2013 mehr ...
Seminar „ASIC Lifecycle“ am 22. Januar 2013 am IMS
22. Januar 2013 mehr ...
Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2013
17. Dezember 2012 mehr ...
Das EXEPT Projekt erhält den CATRENE Innovation Award 2012
04. Dezember 2012 mehr ...
Projekt µ-Probe erfolgreich abgeschlossen: Beheizbare Führungsplatte erfüllt die Erwartungen
30. November 2012 mehr ...
Das HiDRaLoN Projekt wurde mit dem Demonstration Award auf dem diesjährigen European Nanoelectronics Forum 2012 ausgezeichnet
26. November 2012 mehr ...
BMBF-Verbundprojekt EXEPT zu neuartiger Chipherstelltechnologie erfolgreich beendet
29. Oktober 2012 mehr ...
Erfolgreicher Projektabschluss im BMBF-Verbundprojekt HiDRaLoN
22. Oktober 2012 mehr ...
10th Workshop "Beams and More" 2012
18. Oktober 2012 mehr ...
Mikroelektronik Technologie Seminar
10. - 12. Oktober 2012 mehr ...
Ministerialdirektor Helmfried Meinel informiert sich bei IMS CHIPS über aktuelle Entwicklungen
10. Oktober 2012 mehr ...
Vienna-Tec 2012
09. - 12. Oktober 2012 mehr ...
Mikroelektronik Technologie Seminar
09. - 11. Oktober 2012 mehr ...
3. Workshop - Packaging von Mikrosystemen PackMEMS 2012
02. Oktober 2012 mehr ...
Der 2. PRONTO-Workshop findet am HSG-IMIT in Villingen-Schwenningen statt
26. September 2012 mehr ...
42nd European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC) in Bordeaux
17. - 21. September 2012 mehr ...
4th Electronics System ESTC 2012, Amsterdam
17. - 20. September 2012 mehr ...
IHK Veranstaltungsserie "Wirtschaftsnahe Forschungseinrichtungen" am IMS
13. September 2012 mehr ...
Verbundprojekt ETIK führt Entwicklung der EUV-Lithografie weiter
30. August 2012 mehr ...
SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips
16. - 27. Juli 2012 mehr ...
IMS CHIPS bei den Reutlinger Innovationstagen 2012
12. Juli 2012 mehr ...
MedTech Pharma 2012
04. - 05. Juli 2012 mehr ...
Thementag "Intelligentes Licht" am IMS
28. Juni 2012 mehr ...
Anerkennung für METEC bei der Verleihung des VR-InnovationsPreis Mittelstand 2012
20. Juni 2012 mehr ...
Mikrosystemtechnik Erkundung
12. - 14. Juni 2012 mehr ...
8th Conference on Ph.D. Research in Microelectronics & Electronics in Aachen
12. - 15. Juni 2012 mehr ...
Produktionsplattform PRONTO auf der SENSOR+TEST 2012
22. - 24. Mai 2012 mehr ...
Clusterkonferenz des Spitzenclusters MicroTEC Südwest
14. - 15. Mai 2012 mehr ...
Control 2012 - Internationale Leitmesse für Qualitätssicherung
08. - 12. Mai 2012 mehr ...
Retina Implantat in der Sendung mit der Maus
25. April 2012 mehr ...
PRONTO auf der HANNOVER MESSE, Halle 17, Stand C48
23. - 27. April 2012 mehr ...
SPIE Photonics Europe 2012
16. - 19. April 2012 mehr ...
IMS Newsletter 1/2012
05. April 2012 mehr ...
24V-ASICs im Kommen
21. März 2012 mehr ...
7th International Conference on Integrated Power Electronics Systems (CIPS) 2012 in Nürnberg
06. - 08. März 2012 mehr ...
4. Innovationsforum für Mikrotechnik 2012 in Villingen-Schweningen
29. Februar 2012 mehr ...
Fachtagung "Elektronische Baugruppen und Leiterplatten EBL 2012" in Fellbach
14. - 15. Februar 2012 mehr ...
Richtfest des Reinraumanbaus am Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS)
13. Februar 2012 mehr ...
Staatssekretär Ingo Rust informiert sich im IMS über aktuelle Entwicklungen
31. Januar 2012 mehr ...
25. International Conference on Micro Electro Mechanical Systems IEEE MEMS 2012 in Paris
29. Januar - 02. Februar 2012 mehr ...
Mikrosystemtechnik Erkundung
27. Januar - 10. Februar 2012 mehr ...
The Micronarc Alpine Meeting MAM 2012 in der Schweiz
24. Januar 2012 mehr ...
Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2012
17. Dezember 2011 mehr ...
Anerkennung für METEC bei der Verleihung des Innovationspreises des Landes Baden-Württemberg
24. November 2011 mehr ...
Forum "be-flexible" 2011 - Flexible Electronic Systems, 10th International Workshop
23. - 24. November 2011 mehr ...
Der ICT.OPEN 2011 BEST POSTER AWARD geht an das IMS
15. November 2011 mehr ...
ICT.OPEN 2011
14. - 15. November 2011 mehr ...
HiDRaLoN 4. User Group Workshop
11. November 2011 mehr ...
IMS Newsletter 2/2012
30. Oktober 2011 mehr ...
9th Workshop "Beams and More" 2011
27. Oktober 2011 mehr ...
Verleihung des GMM-Preises 2011 an Evangelos Angelopoulos von IMS CHIPS
12. Oktober 2011 mehr ...
Mikroelektronik Technologie Seminar
12. - 14. Oktober 2011 mehr ...
Produktionsplattform PRONTO auf dem MST-Kongress 2011 in Darmstadt
10. - 12. Oktober 2011 mehr ...
IMS Newsletter 2/2011
30. September 2011 mehr ...
Semiconductor Conference Dresden (SCD)
27. - 28. September 2011 mehr ...
SPIE Photomask Technology 31st Annual Symposium 2011
19. - 22. September 2011 mehr ...
41st European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC) in Helsinki
12. - 16. September 2011 mehr ...
IMS CHIPS Mitglied von „eBeam Initiative“
12. September 2011 mehr ...
SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips
18. - 29. Juli 2011 mehr ...
Tag der Innovationsallianz innBW
14. Juli 2011 mehr ...
Clusterkonferenz des Spitzenclusters MicroTEC Südwest
05. - 06. Juli 2011 mehr ...
46. Heidelberger Bildverarbeitungsforum 2011 in Kelheim bei Regensburg
05. Juli 2011 mehr ...
Der erste PRONTO-Workshop findet am Institut für Mikroelektronik Stuttgart statt
30. Juni 2011 mehr ...
Forschungsverein des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart e.V.
30. Juni 2011 mehr ...
Produktionsplattform PRONTO auf der SENSOR+TEST 2011
07. - 09. Juni 2011 mehr ...
TRANSDUCERS' 11 – The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
05. - 09. Juni 2011 mehr ...
TAE Business Breakfast – Wettbewerbsfähige Mikrosystemtechnik braucht Nachwuchs
26. Mai 2011 mehr ...
Mikrosystemtechnik Erkundung
23. - 31. Mai 2011 mehr ...
Produktionsplattform PRONTO auf der SMT/HYBRID/PACKAGING 2011
03. - 05. Mai 2011 mehr ...
HyperBraille Blindenschrift-Display eröffnet Chancen für Sehbehinderte in Bildung und Beruf
28. - 30. April 2011 mehr ...
PRONTO auf der HANNOVER MESSE, Halle 6, Stand H18-E4
04. - 08. April 2011 mehr ...
German Microwave Conference 2011 in Darmstadt
14. - 16. März 2011 mehr ...
Cadence: IMS CHIPS realisiert fortschrittliches Gate-Array-Design mit Silicon Realization-Technologien
23. Februar 2011 mehr ...
ISSCC International Solid-State Circuits Conference 2011
20. - 24. Februar 2011 mehr ...
Land investiert 6,7 Mio. in IMS-Reinraum-Anbau
15. Februar 2011 mehr ...
IMS CHIPS bekommt neuen Elektronenstrahl-Schreiber
14. Februar 2011 mehr ...
45. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in Albstadt-Sigmaringen
04. Februar 2011 mehr ...
Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2011
17. Dezember 2010 mehr ...
Neuerscheinung Fachbuch "Ultra-thin chip technology and applications"
13. Dezember 2010 mehr ...
Mikrosystemtechnik Erkundung
07. Dezember 2010 mehr ...
Neuer ultradünner Chipherstellungsprozess präsentiert auf der IEDM 2010 in San Francisco
06. - 08. Dezember 2010 mehr ...
Aufsehenerregender medizinischer Erfolg mit IMS Retina Chip
02. Dezember 2010 mehr ...
HiDRaLoN User Group Workshop
12. November 2010 mehr ...
Mikrosystemtechnik aus Baden-Württemberg: eine Erfolgsgeschichte – auch in Zukunft!
15. Oktober 2010 mehr ...
Mikroelektronik Technologie Seminar
13. - 15. Oktober 2010 mehr ...
Workshop "Embedded Systems & Smart Power"
12. Oktober 2010 mehr ...
Produktionsplattform PRONTO auf der 4. Microsys in Stuttgart
13. - 16. September 2010 mehr ...
ESTC 2010, Berlin: Vortrag "Packaging Challenges Associated with Warpage of Ultra-Thin Chips"
13. - 16. September 2010 mehr ...
IMS Newsletter 2/2010
10. September 2010 mehr ...
Beitritt zum Fachverband für Mikrotechnik IVAM
06. September 2010 mehr ...
SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips
19. - 30. Juli 2010 mehr ...
8th Workshop "Beams and More" 2010
10. Juli 2010 mehr ...
Der Landesforschungspreis für Angewandte Forschung wird in einem Festakt in Stuttgart an Professor Dr.-Ing. Joachim Burghartz verliehen
08. Juli 2010 mehr ...
Projekt Chipfilm™ erfolgreich abgeschlossen
29. Juni 2010 mehr ...
TanDEM-X - Radarsatellit erfolgreich von Baikonur gestartet
21. Juni 2010 mehr ...
Wissenschaft trifft Schule: „Mikrochips“
21. Juni 2010 mehr ...
MoDekt – Abschlusspräsentation am 7. Juni in Tübingen
07. Juni 2010 mehr ...
IEEE EDS Mini-Kolloquium am 7. Juni 2010
07. Juni 2010 mehr ...
54th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology & Nanofabrication
01. - 04. Juni 2010 mehr ...
Mitgliedschaft im AMA - Fachverband für Sensorik e.V.
14. Mai 2010 mehr ...
2. GMM Workshop — Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik
10. - 11. Mai 2010 mehr ...
Neuartiges Blindenschrift-Display mit IMS-ASICs auf der SightCity 2010 in Frankfurt
28. - 30. April 2010 mehr ...
Professor Dr.-Ing. Joachim Burghartz erhält den Landesforschungspreis für Angewandte Forschung
23. April 2010 mehr ...
Photomask and NGL Mask Technology XVII
13. - 15. April 2010 mehr ...
MEDEA+ Projekt FANTASTIC erfolgreich abgeschlossen
11. April 2010 mehr ...
IMS Newsletter 1/2010
26. März 2010 mehr ...
Verbundprojekt ValMon gestartet
09. Februar 2010 mehr ...
XLIII. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in Göppingen
05. Februar 2010 mehr ...
IMS CHIPS gewinnt mit dem Spitzencluster MicroTEC Südwest
26. Januar 2010 mehr ...
Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2010
17. Dezember 2009 mehr ...
Innovative Lernmedien bei IMS CHIPS
09. Dezember 2009 mehr ...
Pressemitteilung zum BMBF-Verbundprojekt HiDRaLoN
08. Dezember 2009 mehr ...
Vortrag "Anomalous Stress Effects in Ultra-Thin Silicon Chips on Foil"
07. - 09. Dezember 2009 mehr ...
Erneut Paper Award auf der SPIE Photomask Conference 2009 in Monterey, USA
07. Dezember 2009 mehr ...
Wissenschaft trifft Schule: „Mikrochips“
30. November 2009 mehr ...
SAFE 2009 – Annual Workshop on Semiconductor Advances for Future Electronics and SENSORS
26. - 28. November 2009 mehr ...
Kinder-Uni: "Warum kommen aus dem Radio Töne?
20. November 2009 mehr ...
8th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology
11. - 13. November 2009 mehr ...
Erster User Group Workshop im Rahmen des HiDRaLoN Projekts
06. November 2009 mehr ...
EDS Chapter Meeting am 04.11.09 in Reutlingen
04. November 2009 mehr ...
7th Workshop "Beams and More" 2009
22. Oktober 2009 mehr ...
Mikroelektronik Technologie Seminar
14. - 16. Oktober 2009 mehr ...
Bipolar/BiCMOS Circuits and Technology Meeting (BCTM)
13. - 14. Oktober 2009 mehr ...
Hochbegabte Jugendliche besuchen IMS
09. Oktober 2009 mehr ...
Micro Nano Engeneering – MNE 2009
28. September - 01. Oktober 2009 mehr ...
IMS Newsletter 2/2009
25. September 2009 mehr ...
ESSDERC/ESSCIRC 2009, Athen: Vortrag "Ultra-thin Chips - a New Paradigm in Silicon Technology"
14. - 18. September 2009 mehr ...
SPIE Photomask Technology 29th Annual Symposium (BACUS 2009)
14. - 17. September 2009 mehr ...
Neue Technologie-Entwicklung – Mittelstand bekommt Zugang zu Smart Power Chips
26. August 2009 mehr ...
EXEPT – EUV Lithografie für den 22 nm Knoten
22. Juli 2009 mehr ...
SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips
20. - 31. Juli 2009 mehr ...
Wissenschaft trifft Schule: „Mikrochips“
02. Juli 2009 mehr ...
Neue Runde im Spitzencluster-Wettbewerb des Bundes: MicroTEC Südwest erneut im Finale!
25. Juni 2009 mehr ...
TEMPERATUR 2009 - Verfahren und Geräte in der Temperatur- und Feuchtemesstechnik
24. - 25. Juni 2009 mehr ...
53rd International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology & Nanofabrication
26. - 29. Mai 2009 mehr ...
HiDRaLoN Projekt gestartet
24. Mai 2009 mehr ...
16. Tagung des VDE/VDI-Arbeitskreis „Mikrotechnik" in Thüringen
19. Mai 2009 mehr ...
International Conference on IC Design & Technology
18. - 20. Mai 2009 mehr ...
Neuartiges Blindenschrift-Display mit IMS-ASICs auf der SightCity 2009 in Frankfurt
13. - 15. Mai 2009 mehr ...
"Naturwissenschaft und Technik" NWT - Unterricht am IMS
21. April 2009 mehr ...
HANNOVER MESSE Industrie, Halle 2 Stand C21
20. - 24. April 2009 mehr ...
Photomask and NGL Mask Technology XVI
08. - 10. April 2009 mehr ...
IMS Newsletter 1/2009
27. März 2009 mehr ...
IMS CHIPS auf der SPIE Advanced Lithography 2009
22. - 27. Februar 2009 mehr ...
IMS erhält den begehrten "Jack Raper Award for Outstanding Technology-Directions"
09. Februar 2009 mehr ...
XLI. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in der Reinhold-Würth-Hochschule in Künzelsau
06. Februar 2009 mehr ...
Neue Zusammenarbeit im Bereich der Nanoimprint Lithographie
27. Januar 2009 mehr ...
Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2009
17. Dezember 2008 mehr ...
Vortrag "CMOS Imager Technologies for Biomedical Applications"
16. Dezember 2008 mehr ...
Vortrag "Ultra-thin Chips - a New Paradigm in Silicon Technology"
10. - 11. Dezember 2008 mehr ...
Forum "be-flexible" 2008 - Thin Semiconductor Devices, 9th International Workshop
02. Dezember 2008 mehr ...
SAFE 2008 – Annual Workshop on Semiconductor Advances for Future Electronics and SENSORS
27. - 28. November 2008 mehr ...
Mikroelektronik Technologie Seminar
14. - 29. November 2008 mehr ...
5. GMM-Workshop - Energieautarke Sensorik
12. - 13. November 2008 mehr ...
IMS auf der VISION 2008 in Stuttgart
04. - 06. November 2008 mehr ...
4. Global Plastic Electronics Konferenz
27. - 29. Oktober 2008 mehr ...
Kooperation mit Robert Bosch GmbH bei ultradünnen Mikrochips
24. Oktober 2008 mehr ...
6th Workshop "Masks and More" 2008
23. Oktober 2008 mehr ...
HDRC® -Imager Workshop 2008
16. Oktober 2008 mehr ...
Poster Award auf der SPIE Photomask Conference 2008 in Monterey, USA
10. Oktober 2008 mehr ...
SPIE Photomask Technology 28th Annual Symposium (BACUS 2008)
06. - 10. Oktober 2008 mehr ...
IMS Newsletter 2/2008
26. September 2008 mehr ...
U.R.S.I. Kleinheubacher Tagung 2008
22. - 25. September 2008 mehr ...
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18. - 20. September 2008 mehr ...
IMS dankt seinen SMC-Sponsoren 2008
04. August 2008 mehr ...
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14. - 25. Juli 2008 mehr ...
25 Jahre Institut für Mikroelektronik Stuttgart
09. Juli 2008 mehr ...
Riesenandrang am IMS-Stand beim IdeenPark 2008
09. Juni 2008 mehr ...
ASIC-Workshop 2008
27. Mai 2008 mehr ...
IMS beim IdeenPark 2008
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21. - 25. April 2008 mehr ...
SPIE Photonics Europe 2008
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IMS Newsletter 1/2008
27. März 2008 mehr ...
Image Sensors Europe, Conference
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MicroTEC Südwest in der Finalrunde
11. März 2008 mehr ...
hema präsentiert "seelector ICAM" mit HDRC® Bildsensor
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IMS CHIPS auf der SPIE Advanced Lithography 2008
24. - 29. Februar 2008 mehr ...
Neue GFQ-Master
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ISSCC International Solid-State Circuits Conference 2008
03. - 07. Februar 2008 mehr ...
Abschlussveranstaltung: "VIP - Von der Idee zum Produkt"
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Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2008
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Bundeskriminalamt veröffentlicht IMS-Abschlussbericht „Authentizität digitaler Bilder II"
10. Dezember 2007 mehr ...
ABBILD - BMBF-Projekt erfolgreich abgeschlossen
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Innovation Fair & Congress 07
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HyperBraille – Neuartige Computer-Bedienoberfläche
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TerraSAR-X erfolgreich gestartet – mit dabei sind Mikrochips aus Stuttgart
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Brilliante Filmaufnahmen mit hochdynamischer digitaler Filmkamera, optimierter Signalverarbeitung und Wiedergabe mit neuartigem Display
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MDgt. Günther Leßnerkraus neuer Vorsitzender des Kuratoriums
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Messe Control Sinsheim
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MORE THAN MOORE – NEUE ANWENDUNGEN DER SILIZIUMTECHNOLOGIE
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Prof. Dr. J. Burghartz neuer Leiter des IMS
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