Arbeitsgebiete
 

Membranen

IMS Chips fertigt Membran unterschiedlicher Form und Größe aus verschiedenen Materialien. Eine Strukturierung kann entweder direkt in die Membran („Stencil Mask“) oder für Si3N4-Membranen in eine dünne Cr-Absorberschicht („Absorber Mask“) erfolgen.

Membran mit einem Durchmesser von 127 mm, 2 µm Dicke und minimalen Struktur in der Größe von 200 nm

Membran mit einem Strukturbereich von 15 mm Durchmesser und einer Öffnung in der Mitte

Si3N4-Membrane mit strukturiertem Cr-Absorber

Kontakt
Für weitere Informationen steht ihnen Florian Letzkus zur Verfügung.