Über uns
Institut für Mikroelektronik Stuttgart
Stiftung des bürgerlichen Rechts
Mitglied der Innovationsallianz Baden-Württemberg
Geschäftsführender Institutsleiter: Prof. Dr. Joachim Burghartz
Gründung: 1983 durch das Land Baden-Württemberg
Beschäftigte: 100+
Betriebshaushalt: 16 Mio €
Institutsleitung
Prof. Dr.-Ing.
Joachim Burghartz
Direktor und Vorsitzender des Vorstands des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart und ordentlicher Professor an der Universität Stuttgart.
Lebenslauf
Joachim N. Burghartz wurde 1956 in Aachen geboren. Er studierte Elektrotechnik an der RWTH Aachen mit Abschluss (1982) Diplom-Ingenieur und promovierte (1987) an der Universität Stuttgart zum Dr.-Ing..
Von 1982 bis 1987 arbeitete er als wissenschaftlicher Mitarbeiter an der Universität Stuttgart an Sensoren mit integrierter Signalumwandlung mit Schwerpunkt Magnetfeldsensoren.
Von 1987 bis 1998 war er am IBM Thomas J, Watson Forschungslabor in Yorktown Heights, New York, wo er zunächst an selektiver Siliziumepitaxie, Si- und SiGe- Hochgeschwindigkeits-Transistordesign und -Integrationsprozessen sowie an CMOS-Technologie arbeitete. Später beschäftigte er sich mit der Entwicklung von passiven Bauelementen, insbesondere integrierter Spulen, hoher Güte auf Silizium.
Von 1998 bis 2005 war er ordentlicher Professor an der TU Delft mit Leitung der High-Frequency Technology and Components (HiTeC) – Forschungsgruppe. Der Schwerpunkt der Forschungsarbeiten lag auf Silizium-HF-Technologie und erstreckte sich von Arbeiten an Werkstoffen bis hin zum Entwurf von Schaltungsbausteinen.
Von März 2001 bis August 2005 war er außerdem wissenschaftlicher Direktor des Delft Institute of Microelectronics and Submicron Technology (DIMES) an der TU Delft.
Seit Oktober 2005 ist Prof. Dr. Burghartz Direktor und Vorsitzender des Vorstands des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) und ordentlicher Professor an der Universität Stuttgart.
Seit 1. März 2006 leitet er zudem das Institut für Nano- und Mikroelektronische Systeme (INES) an der Universität Stuttgart.
Seit dem 18. August 2013 ist Prof. Dr. Burghartz Geschäftsführer der IMS Mikro-Nano Produkte GmbH.
Zu seinen beruflichen Auszeichnungen zählen der J.J. Ebers Award 2014 der IEEE Electron Devices Society, der Landesforschungspreis Baden-Württemberg 2009 und der ISSCC Jack Raper Award 2008.Er ist IEEE Fellow, war in den Jahren 2009 bis 2013 Vice President der IEEE Electron Devices Society und war in den Jahren 2001 bis 2006 Associate Editor der IEEE Transactions on Electron Devices.Er war Mitglied der Executive und Technischen Komitees der Fachkonferenzen BCTM (General Chairman 2000), IEDM, ESSDERC, ISICDG, VLSI-TSA, DCIS und SBMICRO. Seine Publikationsliste umfasst 91 Artikel (peer review) in Fachzeitschriften, 244 Veröffentlichungen auf Fachkonferenzen, 3 Bücher, 4 Buchkapitel und 16 Patente (Patentfamilien).
Besonders hervorzuheben ist das von ihm editierte Fachbuch zum 60/35-sten Jubiläum der IEEE Electron Devices Society „Guide to State-of-the-Art Electron Devices“ (Wiley&Sons Publishers), das den 2013 PROSE Award erhielt als bestes Fachbuch des Jahres im Bereich Engineering & Technology.
Prof. Dr.
Jens Anders
Direktor des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart und ordentlicher Professor und Direktor des Instituts für Intelligente Sensoren an der Universität Stuttgart.
Lebenslauf
Jens Anders erhielt den MSc Abschluss von der University of Michigan, Ann Arbor sowie den Dipl.-Ing. von der Leibniz Universität Hannover jeweils in Elektrotechnik in den Jahren 2005 bzw. 2007. Im Jahr 2011 erhielt er den Doktorgrad von der École polytechnique fédérale de Lausanne (EPFL).
Von 2013 bis 2017 war er Juniorprofessor für biomedizinische integrierte Sensoren am Institut für Mikroelektronik der Universität Ulm. Er ist derzeit Inhaber des Lehrstuhls für Elektrotechnik Bionischer System und Direktor des Instituts für Intelligente Sensorik und Theoretische Elektrotechnik an der Universität Stuttgart. Seit Oktober 2022 ist er ebenfalls Co-Direktor des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS).
Prof. Anders ist Autor mehrerer Bücher bzw. Buchkapitel sowie von mehr als 150 Zeitschriftenartikeln und Konferenzbeiträgen.
Seine derzeitigen Forschungsinteressen liegen im Bereich der Untersuchung von Multiphysikproblemen sowie des Entwurfs integrierter Schaltungen für Sensorikanwendungen. Dabei liegt ein besonderer Fokus auf der Quantensensorik für die Material- und Lebenswissenschaften.
Prof. Anders ist Fellow des “Center for Integrated Quantum Science and Technology (IQST), Fellow des “Stuttgart Research Center of Photonic Engineering” (SCoPE) und Mitglied des Executive Boards des Carl-Zeiss-Stiftung Center for Quantum Photonics (QPhoton).
Er war bzw. ist Mitglied verschiedener technischer Programmausschüsse von Tagungen, u.a. bei der ISSCC, der ESSDERC und ESSCIRC sowie der IEEE Sensors. Im Jahre 2003 erhielt er den Preis des Präsidenten der Leibniz Universität Hannover, 2006 den Preis des VDE Bezirksverbands Hannover, 2007 den E.ON Future Award, 2008 den VDE ITG ISS Studienpreis, 2012 den Literaturpreis der ITG im VDE, 2017 den „Best Live Demo Award“ bei der IEEE Sensors sowie einen der Sony Europe Research Awards 2021.