{"id":12352,"date":"2024-12-13T12:14:41","date_gmt":"2024-12-13T11:14:41","guid":{"rendered":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=12352"},"modified":"2025-06-06T10:07:04","modified_gmt":"2025-06-06T08:07:04","slug":"19-jahre-prof-dr-joachim-burghartz","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=12352","title":{"rendered":"19 Jahre Prof. Dr. Joachim Burghartz"},"content":{"rendered":"\t\t
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19 Jahre Prof. Dr. Joachim Burghartz: Institutsleiter und vision\u00e4rer Impulsgeber<\/h3>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t
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Wir danken f\u00fcr diese innovative und aufstrebende Zeit!<\/strong><\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t

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Im September 2024 trat Prof. Dr. Joachim Burghartz, Direktor des Instituts f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart (IMS) und ordentlicher Professor an der Universit\u00e4t Stuttgart, in den wohlverdienten Ruhestand. Die Universit\u00e4t Stuttgart ehrte ihn am 9. Oktober mit einem feierlichen und pers\u00f6nlichen Kolloquium. Zahlreiche langj\u00e4hrige Wegbegleiter folgten seiner Einladung und verliehen dem \u201eFarewell Colloquium\u201c eine feierliche und emotionale Atmosph\u00e4re. Ehemalige Kollegen, Mitarbeiter und Doktoranden nutzten die Gelegenheit, sich nach langer Zeit wieder pers\u00f6nlich zu begegnen und die gemeinsamen Erinnerungen an eine beeindruckende \u00c4ra aufleben zu lassen.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t

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Das Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart dankt Prof. Dr. Burghartz f\u00fcr sein langj\u00e4hriges Engagement und die wertvolle gemeinsame Zeit, in der er das Institut mit gro\u00dfem Einsatz und vision\u00e4rem Weitblick gepr\u00e4gt hat. Er war nicht nur ein angesehener Direktor, sondern auch ein gesch\u00e4tzter Kollege und verl\u00e4sslicher Mentor. Mit seiner Leidenschaft f\u00fcr Forschung und Innovation hat er das Institut fit f\u00fcr die Zukunft gemacht.<\/p>

Die Technologie im Bereich der Mikroelektronik hat sich in den letzten Jahrzehnten rasant weiterentwickelt. Chipstrukturen wurden immer kleiner, w\u00e4hrend die Siliziumscheiben (\u201eWafer\u201c), aus denen die Chips gefertigt werden, immer gr\u00f6\u00dfer wurden. In den 1960er Jahren, zu Beginn der Mikroelektronik-Revolution, hatten Wafer einen Durchmesser von lediglich 50 mm. Zwei Jahrzehnten sp\u00e4ter erreichten sie bereits 150 mm. Heute betr\u00e4gt der Standarddurchmesser von Wafern f\u00fcr die Gro\u00dfserienproduktion 300 mm, w\u00e4hrend f\u00fcr Kleinserien sowie Forschung und Entwicklung heute 200-mm-Wafer \u00fcblich sind. Professor Burghartz hat diesen technologischen Wandel auch am IMS, das in den letzten Jahren seine Reinraumfertigung vollst\u00e4ndig auf 200-mm-Wafer umgestellt hat, wegweisend begleitet. Zudem kann das Institut im Bereich der Nanostrukturierung Substrate mit Gr\u00f6\u00dfen von 300 mm und 430 mm verarbeiten.<\/p>

Unter der Leitung von Prof. Burghartz war das IMS zudem kontinuierlich an bedeutenden europ\u00e4ischen Technologieforschungsprojekten beteiligt, in denen die Lithografieverfahren f\u00fcr immer kleinere Strukturen weiterentwickelt wurden \u2013 zun\u00e4chst f\u00fcr 7-Nanometer-Technologien, sp\u00e4ter f\u00fcr 5-Nanometer- und 3-Nanometer-Technologien und aktuell f\u00fcr den 2-Nanometer-Bereich. F\u00fcr seine neuartige Methode zur Herstellung extrem d\u00fcnner Siliziumchips, die bis zu 50-mal d\u00fcnner sind, als herk\u00f6mmliche Mikrochips, wurde Prof. Burghartz u.a. 2010 mit dem Landesforschungspreis des Landes Baden-W\u00fcrttemberg und 2014 dem international sehr renommierten J.J. Ebers Award der IEEE Electron Devices Society ausgezeichnet.<\/p>

Seit Oktober 2005 hatte Prof. Dr. Burghartz die Leitung des IMS inne und trug ma\u00dfgeblich zur internationalen Anerkennung des Instituts bei. Zuvor sammelte er wertvolle internationale Erfahrung, unter anderem bei IBM in den USA und an der TU Delft in den Niederlanden. Als Nachfolger von Prof. Dr. Bernd H\u00f6fflinger \u00fcbernahm er die Leitung des Instituts und formte es in 19 Jahren zu einem weltweit gesch\u00e4tzten Forschungspartner und f\u00fchrenden Anbieter neuartiger hochpr\u00e4ziser, nanostrukturierter Komponenten.<\/p>

Unter seiner F\u00fchrung setzte das IMS entscheidende wissenschaftliche Impulse und entwickelte sich zu einem unverzichtbaren Partner in der internationalen Forschungslandschaft. Die hochpr\u00e4zisen, nanostrukturierten Komponenten, die am IMS entwickelt wurden, haben sich als Schl\u00fcsselelemente der modernen Halbleiterfertigung etabliert. Zuletzt legte Prof. Burghartz den Grundstein f\u00fcr bedeutende Fortschritte in der Quantentechnologie: Die geplante Realisierung einer Pilotlinie f\u00fcr Bauteile, die auf Quanteneffekten basieren, er\u00f6ffnet vielversprechende Anwendungen in der Sensorik und Informationstechnik.<\/p>

Bis zur Berufung eines Nachfolgers \u00fcbernimmt Prof. Dr. Jens Anders, Stuttgarter Professor und Leiter des Instituts f\u00fcr Intelligente Sensorik und Theoretische Elektrotechnik (IIS), die gesch\u00e4ftsf\u00fchrende Leitung des IMS. Prof. Anders ist bereits seit Oktober 2022 als Co-Direktor am IMS t\u00e4tig und wird die Vision und Innovationskraft des Instituts im Sinne von Joachim Burghartz weiterf\u00fchren. Das Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart blickt dankbar auf die herausragenden Verdienste von Prof. Dr. Joachim Burghartz zur\u00fcck und w\u00fcnscht ihm f\u00fcr seinen neuen Lebensabschnitt alles Gute.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

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