{"id":11397,"date":"2023-10-14T15:08:47","date_gmt":"2023-10-14T13:08:47","guid":{"rendered":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397"},"modified":"2023-10-17T10:47:44","modified_gmt":"2023-10-17T08:47:44","slug":"automatisierter-tester","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397","title":{"rendered":"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik"},"content":{"rendered":"\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t
\n\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t
IMS CHIPS Newsletter 1\/2023 <\/h5>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t
\n\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t

Automatisierter optischer Durchsatz-Tester<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t
\n\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t

800 bis 1000 Messungen pro Stunde mit hoher Reproduzierbarkeit<\/strong><\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t

\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t
\n\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\"Automatisierter\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t
\n\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t

Am IMS wurde ein neuer optischer Messplatz f\u00fcr die Charakterisierung von integrierten optischen Schaltungen aufgebaut. Dieser dient haupts\u00e4chlich zur Endkontrolle von photonischen Chips, der Charakterisierung von neuen Prozessen in der Silizium-Photonik-Linie, sowie der Qualifizierung des Designs neuer oder verbesserter photonischer Bauteile. Hierf\u00fcr ist eine schnelle und zuverl\u00e4ssige optische Messtechnik unerl\u00e4sslich. Umfangreiche Design-Parameter-Variationen sowie die zuverl\u00e4ssige Extraktion verschiedener Performance-Gr\u00f6\u00dfen erfordern oftmals die Vermessung hunderter oder tausender Testschaltungen. Aus diesem Grund wurde aus einem manuell bedienbaren Messplatz, aufbauend auf einem Hexapod mit Piezo-Aufsatz und einem Halbleiter-Prober, der neue teil-automatisierte Messplatz entwickelt. So wurde ein neues Software-Framework aufgesetzt, ein kapazitiver Abstandssensor integriert, und die optischen Signalwege optimiert. Vor allem die hohe mechanische Pr\u00e4zision erm\u00f6glicht nun die Aufnahme von Durchsatzspektren mit einer Reproduzierbarkeit von \u00b10,25 dB.<\/p>\n

Mit dem Messplatz k\u00f6nnen optische Schaltungen auf Einzelchips bis hin zu 150-mm-Wafern im Wellenl\u00e4ngenbereich von 1510 \u2013 1610 nm vermessen werden. Gitterkoppler innerhalb einer Fl\u00e4che von etwa 10 x 10 mm\u00b2 werden dabei automatisch nacheinander mit einer Geschwindigkeit von 800 bis 1000 Durchsatzspektren pro Stunde angefahren. Dar\u00fcber hinausgehen-de Bereiche eines Wafers k\u00f6nnen durch ein Verschieben der Wafer-Stage erreicht werden, was aktuell noch ein erneutes manuelles Alignment erfordert. F\u00fcr die Ein- und Auskopplung des Lichts wird ein Vierfach-Glasfaser-Array verwendet, wovon eine Faser f\u00fcr die Einkopplung, und drei Fasern f\u00fcr die simultane Messung der Ausgangsleistungen genutzt werden.<\/p>\n

Aktuell wird das optische Mess-System weiter aufger\u00fcstet, sodass in Zukunft eine Echtzeit-Einstellung der Polarisation sowie ein Wellenl\u00e4ngenbereich von 1450 \u2013 1650 nm zur Verf\u00fcgung stehen werden. Weitere im laufenden Jahr geplante Aufr\u00fcstungen umfassen die Einbindung von Strom- und Spannungsquellen f\u00fcr die Vermessung von aktiven elektro-optischen Bauteilen sowie eine automatische Wafer-Stage zur Erreichung der Voll-Automatisierung.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t

\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t
\n\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t
\n\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\n\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t\t\t\tKontakt:<\/strong>\n\n\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t
\n\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t

Kevin Edelmann<\/strong><\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

\n\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t

Tel: +49 711 21855\u00a0 253\u00a0 \u00a0\u00a0<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

\n\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t
\n\t\t\t\t
\n\t\t\t\t\t\t\t\t\tE-Mail<\/a>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

F\u00fcr die Qualifizierung der Wellenleiter und Bauteile in der integrierten Photonik muss oftmals der Durchsatz von hunder-ten bis tausenden Schaltungen vermes-sen werden. Der automatisierte Tester am IMS CHIPS nimmt nun 800 bis 1000 solcher Durchsatzspektren pro Stunde mit einer Reproduzierbarkeit von \u00b10,25 dB auf. Daf\u00fcr wird ein Glasfaser-Array \u00fcber jedem Gitterkoppler mit einer Pr\u00e4zision von wenigen hundert Nanometern genau positioniert.<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":11400,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[34],"tags":[],"class_list":["post-11397","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-newsletter-1-2023"],"yoast_head":"\nAutomatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik - Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"de_DE\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik - Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik\" \/>\n<meta property=\"og:url\" content=\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397\" \/>\n<meta property=\"og:site_name\" content=\"Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart\" \/>\n<meta property=\"article:published_time\" content=\"2023-10-14T13:08:47+00:00\" \/>\n<meta property=\"article:modified_time\" content=\"2023-10-17T08:47:44+00:00\" \/>\n<meta property=\"og:image\" content=\"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2023\/10\/Optisches_Messlabor-Messaufbau.jpg\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:width\" content=\"1000\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:height\" content=\"667\" \/>\n\t<meta property=\"og:image:type\" content=\"image\/jpeg\" \/>\n<meta name=\"author\" content=\"meier\" \/>\n<meta name=\"twitter:card\" content=\"summary_large_image\" \/>\n<meta name=\"twitter:label1\" content=\"Verfasst von\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data1\" content=\"meier\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:label2\" content=\"Gesch\u00e4tzte Lesezeit\" \/>\n\t<meta name=\"twitter:data2\" content=\"5\u00a0Minuten\" \/>\n<script type=\"application\/ld+json\" class=\"yoast-schema-graph\">{\"@context\":\"https:\/\/schema.org\",\"@graph\":[{\"@type\":\"Article\",\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#article\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397\"},\"author\":{\"name\":\"meier\",\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/#\/schema\/person\/9839fb63530e7563aa83867413b8c6e7\"},\"headline\":\"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik\",\"datePublished\":\"2023-10-14T13:08:47+00:00\",\"dateModified\":\"2023-10-17T08:47:44+00:00\",\"mainEntityOfPage\":{\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397\"},\"wordCount\":308,\"publisher\":{\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/#organization\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2023\/10\/Optisches_Messlabor-Messaufbau.jpg\",\"articleSection\":[\"Newsletter 1-2023\"],\"inLanguage\":\"de\"},{\"@type\":\"WebPage\",\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397\",\"url\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397\",\"name\":\"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik - Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart\",\"isPartOf\":{\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/#website\"},\"primaryImageOfPage\":{\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#primaryimage\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#primaryimage\"},\"thumbnailUrl\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2023\/10\/Optisches_Messlabor-Messaufbau.jpg\",\"datePublished\":\"2023-10-14T13:08:47+00:00\",\"dateModified\":\"2023-10-17T08:47:44+00:00\",\"description\":\"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik\",\"breadcrumb\":{\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#breadcrumb\"},\"inLanguage\":\"de\",\"potentialAction\":[{\"@type\":\"ReadAction\",\"target\":[\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397\"]}]},{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"de\",\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#primaryimage\",\"url\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2023\/10\/Optisches_Messlabor-Messaufbau.jpg\",\"contentUrl\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2023\/10\/Optisches_Messlabor-Messaufbau.jpg\",\"width\":1000,\"height\":667,\"caption\":\"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik\"},{\"@type\":\"BreadcrumbList\",\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#breadcrumb\",\"itemListElement\":[{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":1,\"name\":\"Startseite\",\"item\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/\"},{\"@type\":\"ListItem\",\"position\":2,\"name\":\"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik\"}]},{\"@type\":\"WebSite\",\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/#website\",\"url\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/\",\"name\":\"Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart\",\"description\":\"\",\"publisher\":{\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/#organization\"},\"potentialAction\":[{\"@type\":\"SearchAction\",\"target\":{\"@type\":\"EntryPoint\",\"urlTemplate\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/?s={search_term_string}\"},\"query-input\":{\"@type\":\"PropertyValueSpecification\",\"valueRequired\":true,\"valueName\":\"search_term_string\"}}],\"inLanguage\":\"de\"},{\"@type\":\"Organization\",\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/#organization\",\"name\":\"Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart\",\"alternateName\":\"IMS CHIPS\",\"url\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/\",\"logo\":{\"@type\":\"ImageObject\",\"inLanguage\":\"de\",\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/#\/schema\/logo\/image\/\",\"url\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2020\/09\/logo_ims.png\",\"contentUrl\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2020\/09\/logo_ims.png\",\"width\":262,\"height\":65,\"caption\":\"Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart\"},\"image\":{\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/#\/schema\/logo\/image\/\"}},{\"@type\":\"Person\",\"@id\":\"https:\/\/www.ims-chips.de\/#\/schema\/person\/9839fb63530e7563aa83867413b8c6e7\",\"name\":\"meier\",\"sameAs\":[\"https:\/\/www.ims-chips.de\"]}]}<\/script>\n<!-- \/ Yoast SEO plugin. -->","yoast_head_json":{"title":"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik - Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart","description":"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik","robots":{"index":"index","follow":"follow","max-snippet":"max-snippet:-1","max-image-preview":"max-image-preview:large","max-video-preview":"max-video-preview:-1"},"canonical":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397","og_locale":"de_DE","og_type":"article","og_title":"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik - Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart","og_description":"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik","og_url":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397","og_site_name":"Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart","article_published_time":"2023-10-14T13:08:47+00:00","article_modified_time":"2023-10-17T08:47:44+00:00","og_image":[{"width":1000,"height":667,"url":"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2023\/10\/Optisches_Messlabor-Messaufbau.jpg","type":"image\/jpeg"}],"author":"meier","twitter_card":"summary_large_image","twitter_misc":{"Verfasst von":"meier","Gesch\u00e4tzte Lesezeit":"5\u00a0Minuten"},"schema":{"@context":"https:\/\/schema.org","@graph":[{"@type":"Article","@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#article","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397"},"author":{"name":"meier","@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/#\/schema\/person\/9839fb63530e7563aa83867413b8c6e7"},"headline":"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik","datePublished":"2023-10-14T13:08:47+00:00","dateModified":"2023-10-17T08:47:44+00:00","mainEntityOfPage":{"@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397"},"wordCount":308,"publisher":{"@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/#organization"},"image":{"@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2023\/10\/Optisches_Messlabor-Messaufbau.jpg","articleSection":["Newsletter 1-2023"],"inLanguage":"de"},{"@type":"WebPage","@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397","url":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397","name":"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik - Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart","isPartOf":{"@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/#website"},"primaryImageOfPage":{"@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#primaryimage"},"image":{"@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#primaryimage"},"thumbnailUrl":"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2023\/10\/Optisches_Messlabor-Messaufbau.jpg","datePublished":"2023-10-14T13:08:47+00:00","dateModified":"2023-10-17T08:47:44+00:00","description":"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik","breadcrumb":{"@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#breadcrumb"},"inLanguage":"de","potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397"]}]},{"@type":"ImageObject","inLanguage":"de","@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#primaryimage","url":"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2023\/10\/Optisches_Messlabor-Messaufbau.jpg","contentUrl":"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2023\/10\/Optisches_Messlabor-Messaufbau.jpg","width":1000,"height":667,"caption":"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik"},{"@type":"BreadcrumbList","@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?p=11397#breadcrumb","itemListElement":[{"@type":"ListItem","position":1,"name":"Startseite","item":"https:\/\/www.ims-chips.de\/"},{"@type":"ListItem","position":2,"name":"Automatisierter optischer Durchsatz-Tester f\u00fcr die integrierte Photonik"}]},{"@type":"WebSite","@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/#website","url":"https:\/\/www.ims-chips.de\/","name":"Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart","description":"","publisher":{"@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/#organization"},"potentialAction":[{"@type":"SearchAction","target":{"@type":"EntryPoint","urlTemplate":"https:\/\/www.ims-chips.de\/?s={search_term_string}"},"query-input":{"@type":"PropertyValueSpecification","valueRequired":true,"valueName":"search_term_string"}}],"inLanguage":"de"},{"@type":"Organization","@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/#organization","name":"Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart","alternateName":"IMS CHIPS","url":"https:\/\/www.ims-chips.de\/","logo":{"@type":"ImageObject","inLanguage":"de","@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/#\/schema\/logo\/image\/","url":"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2020\/09\/logo_ims.png","contentUrl":"https:\/\/www.ims-chips.de\/wp-content\/uploads\/2020\/09\/logo_ims.png","width":262,"height":65,"caption":"Institut f\u00fcr Mikroelektronik Stuttgart"},"image":{"@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/#\/schema\/logo\/image\/"}},{"@type":"Person","@id":"https:\/\/www.ims-chips.de\/#\/schema\/person\/9839fb63530e7563aa83867413b8c6e7","name":"meier","sameAs":["https:\/\/www.ims-chips.de"]}]}},"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.ims-chips.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/11397","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.ims-chips.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.ims-chips.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ims-chips.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ims-chips.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcomments&post=11397"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/www.ims-chips.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/posts\/11397\/revisions"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ims-chips.de\/index.php?rest_route=\/wp\/v2\/media\/11400"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.ims-chips.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fmedia&parent=11397"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ims-chips.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Fcategories&post=11397"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.ims-chips.de\/index.php?rest_route=%2Fwp%2Fv2%2Ftags&post=11397"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}