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Einweihung des Reinraumanbaus am Institut f├╝r Mikroelektronik Stuttgart

22. April 2013

Finanz- und Wirtschaftsminister Dr. Nils Schmid und Oberb├╝rgermeister Fritz Kuhn weihen den neuen Reinraum ein.

Nach zwei Jahren Bauzeit wird am 22. April der neue Reinraum des Instituts f├╝r Mikroelektronik Stuttgart feierlich eingeweiht. Zeitgleich wird auch die Anlieferung eines neuen Elektronenstrahlschreibers gefeiert. Das Land unterst├╝tzt den Anbau und die Ger├Ątebeschaffung mit insgesamt 14,7 Millionen Euro. Das Institut f├╝r Mikroelektronik Stuttgart, hat eine f├╝hrende Position auf dem Gebiet der Nanostrukturierung und der Erforschung und Entwicklung neuer Verfahren zur Herstellung von Mikrochips und Nanostrukturen. Mit dem Reinraumanbau kann die Produktionsfl├Ąche des Instituts f├╝r Halbleiter und optische Komponenten um mehr als die H├Ąlfte vergr├Â├čert werden. Mit dem neu beschafften Gro├čger├Ąt ÔÇ×Elektronenstrahl-SchreiberÔÇť, dem dritten in der Institutsgeschichte, kann das Institut auch k├╝nftig einen wichtigen Beitrag bei der Entwicklung und Herstellung extrem pr├Ąziser optische Komponenten, wie sie f├╝r die Halbleiterindustrie ben├Âtigt werden, leisten.

Pressemitteilung Einweihung

Ort: Institut f├╝r Mikroelektronik Stuttgart, Allmandring 30a, Stuttgart