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25. International Conference on Micro Electro Mechanical Systems IEEE MEMS 2012 in Paris

29. Januar - 02. Februar 2012

Das IMS ist mit einem Poster auf der IEEE MEMS 2012 in Paris vertreten.

Daniel B. Etter, (Poster/Oral Session II), 31.01.2012

"Low-Cost CMOS Compatible Sintered Porous Silicon Technique for Microbolometer Manufacturing"
Daniel B. Etter, Martin Zimmermann, Saleh Ferwana, Franz X. Hutter und Joachim N. Burghartz.

Die dargestellte Arbeit, ist Teil des RTFIR (Room-Temperatur-Far-InfraRed) Projektes des Spitzenclusters MicroTec SüdWest. Als Projektpartner, hat die Robert Bosch GmbH Schillerhöhe maßgeblich am Erkenntnisgewinn zur Ausarbeitung des dargestellten Technologieprozesses mitgewirkt. Weiter Projektpartner für RTFIR sind das Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM, Binder Elektronik GmbH und TRUMPF GmbH + Co. KG.

Nähere Informationen zur IEEE MEMS 2012 finden Sie unter:
www.mems2012.org.

Ort: Marriott Paris Rive Gauche Hotel, 17 Boulevard Saint Jacques, Paris