Arbeitsgebiete
 

Technologie Dienstleistungen

Das IMS bietet alle am Institut verf├╝gbaren Halbleiterprozesse als Dienstleistung zur Anwendung in Forschung und Entwicklung sowie zur Unterst├╝tzung von anderen Prozesslinien an. Das Angebot erstreckt sich auf alle Einzelprozesse wie z.B. Schichtabscheidung, ├ätztechnik oder Ionen-Implantation, die auch in den qualifizierten IMS-Gesamtprozessen eingesetzt werden. Dar├╝ber hinaus haben wir auch viele Sonderprozesse wie z.B. das ├ätzen tiefer Gr├Ąben oder die Abscheidung spezieller Metalle in unserem Prozessportfolio. Weiterer Schwerpunkt ist die Abscheidung von Epitaxieschichten zum Beispiel f├╝r Solarzellenanwendungen.

Eine vollst├Ąndige Auflistung aller am IMS verf├╝gbaren Halbleiterprozesse findet sich in unserer Einzelprozessliste: Einzelprozessliste.pdf

Kontakt
F├╝r weitere Informationen steht ihnen Wolfgang Appel zur Verf├╝gung.