Geschäftsfelder
 

√úbersicht

Das Gesch√§ftsfeld M(E)MS-Technologien gliedert sich in die Arbeitsgebiete: Gro√üfl√§chige M(E)MS und Si Photonik. Innerhalb dieser beiden Schwerpunktthemen werden mikromechanische Komponenten aus Si, elektronenoptische Mikrosysteme zur Strahlablenkung und aktive/passive photonische Komponenten aus Si und Si3N4 entwickelt und gefertigt. Durch die Kombination von M(E)MS, CMOS und Nanostrukturierungsprozessen k√∂nnen hier neuartige Prototypen und Systeme schnell und kosteng√ľnstig realisiert werden.

Im Gesch√§ftsfeld werden anwendungsorientierte Forschung, Entwicklung und Kleinserienfertigung in √∂ffentlichen F√∂rderprojekten und vorallem bilateralen Industrieprojekten durchgef√ľhrt.

Die Herstellung der photonischen und mikro-elektro-mechanischen Komponenten, vom Einzelmuster bis zur Kleinserie, wird im Gesch√§ftsfeld abgebildet. Dabei werden alle Kernkompetenzen des Instituts f√ľr Mikroelektronik, wie Design, Technologie, Aufbautechnik und Test verwendet, um komplexe Mikrosysteme zu entwickeln und zu fertigen.

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F√ľr weitere Informationen steht ihnen Florian Letzkus zur Verf√ľgung.