SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips

19. Juli 2010 - 30. Juli 2010

Vom 19. bis 30. Juli findet am IMS wieder der zweiwöchige Sommerkurs "Schülerinnen und Schüler machen Chips" statt. Eine Mischung aus anspruchsvollen Vorlesungen und praktischen Übungen ermöglicht den Teilnehmern einen tiefen Einblick in die Welt der Mikroelektronik. Zudem bietet der Kurs die Möglichkeit mikroelektronische Schaltungen zu entwerfen. Der Workshop richtet sich an Schülerinnen und Schüler der gymnasialen Oberstufe mit Begabung und Interesse für Naturwissenschaften, Mathematik und Informatik.



Weitere Informationen finden Sie unter
Schüler machen Chips

Ort: Allmandring 30a, 70569 Stuttgart
Zeit: 9:00 - 17:00 Uhr

Projekt Chipfilm™ erfolgreich abgeschlossen

29. Juni 2010

Das mit Mitteln der Landesstiftung Baden-Württemberg im Auftrag des Wirtschaftsministeriums durchgeführte Projekt Chipfilm™ wurde im November 2009 erfolgreich abgeschlossen. Wissenschaftler am Institut für Physikalische Elektronik der Universität Stuttgart (ipe) und am IMS haben mit der Unterstützung von vier Firmen grundlegende Eigenschaften ultradünner Siliziumchips untersucht, die mit der neuen Chipfilm™ Technologie hergestellt wurden. So konnten die elektrischen Funktionen solcher Chips in gebogenem Zustand untersucht und die mechanische Stabilität bis zum Bruch bestimmt werden. Die Ergebnisse wurden auf verschiedenen internationalen Konferenzen vorgestellt und in wissenschaftlichen Fachzeitschriften publiziert. Für die untersuchte Technologie ergeben sich Anwendungsfelder in Produkten der Mikroelektronik (ultradünne Chips in Textilien, Si-Chips in flexiblen Kunststofffolien, ultradünne ASICs integriert in Geräte), der Sensorik (ultradünne Sensoren, Heftpflaster mit integrierter Sensorik für die Diagnostik) und Mikromechanik (miniaturisierte Greifer aus Silizium).

Weitere Informationen finden Sie unter

Projekt_Chipfilm_Kurzbericht_IMS.pdf

http://chipfilm.ims-chips.de

TanDEM-X - Radarsatellit erfolgreich von Baikonur gestartet

21. Juni 2010

Am 21. Juni startete eine Dnjepr-Trägerrakete vom Weltraumbahnhof Baikonur (Kasachstan) und brachte den von der Friedrichshafener EADS-Tocher Astrium gebauten Radarsatellit TanDEM-X ins Weltall. Zusammen mit seinem seit 2007 im All arbeitenden „Zwillingsbruder“ TerraSAR-X soll dieser neue Radarsatellit die komplette Landoberfläche der Erde vermessen. Ziel ist die Erstellung eines digitalen Geländemodells in bisher unerreichter Qualität. TanDEM-X und TerraSAR-X bilden dazu ein Radar-Interferometer: Sie fliegen nur wenige hundert Meter voneinander entfernt in enger Formation und ermöglichen so zeitgleiche Aufnahmen des Geländes aus verschiedenen Blickwinkeln. Das Verfahren ist derzeit einzigartig. Mit an Bord sind wie beim Vorgänger Terra-SAR-X zahlreiche spezielle Mikrochips, die am Institut für Mikroelektronik Stuttgart entwickelt und hergestellt wurden.

Weitere Informationen zum Satellitenstart unter: www.infoterra-group.com

Wissenschaft trifft Schule: „Mikrochips“

21. Juni 2010

Unter diesem Titel führt das Institut für Mikroelektronik Stuttgart und das Hegel-Gymnasium in Stuttgart-Vaihingen ihr gemeinsam entwickeltes Projekt, am 21. und 28. Juni, durch.

Woraus bestehen Mikrochips? Wie arbeiten sie? Wie werden Strukturen hergestellt, die bis zu tausendmal kleiner sind als die Breite eines Haares? Diese und viele weitere Fragen rund um die „Gehirne“ von elektronisch gesteuerten Geräten wie z.B. Computer, Handy und Roboter erkunden Schülerinnen und Schüler der Klasse 9 im Unterrichtsprojekt „Mikrochips“, im Rahmen des neuen Faches Naturwissenschaft und Technik (NWT). Dieses Fach wird in Klasse 9 seit dem Schuljahr 2008/2009 in allen Gymnasien Baden-Württembergs mit naturwissenschaftlichen Zug unterrichtet.

Anfragen zu Veranstaltungen für Schülerinnen und Schüler am IMS beantwortet Ehrenfried Futterer.

Ort: IMS Stuttgart, Allmandring 30a, 70569 Stuttgart

MoDekt – Abschlusspräsentation am 7. Juni in Tübingen

07. Juni 2010

Das BMBF Verbundprojekt MoDekt zur Entwicklung einer neuen Detektionsplattform für die patientennahe Diagnostik wurde im Dezember 2009 erfolgreich abgeschlossen. Das IMS konnte gemeinsam mit Partnern der Universitäten Stuttgart (ipe und ITO) und Tübingen (IPTC und UKT) ein Testsystem für markierungsfreie, direkt optische Bioanalyseverfahren mit der Reflektometrischen Interferenzspektroskopie aufbauen und erproben. So gelang beispielsweise die korrekte Bestimmung des Thromboseindikators D-Dimer und des in der klinischen Praxis wichtigen C-reaktiven Proteins CRP mit Proben vom Universitätsklinikum Tübingen. Das MoDektsystem mit einer Größe von nur 4 cm x 8 cm ersetzt damit ein tischgroßes Spektrometer.
Die Abschlusspräsentation des Projekts, eines der ersten Vorhaben des 2007 ins Leben gerufenen inneruniversitären Zentrums für medizinische Technologien Stuttgart – Tübingen (IZST), findet am Montag, dem 7. Juni 2010 im Anschluss an den fms-Regionaltag „Entwicklungen und Perspektiven der Patientennahen Diagnostik“ an der Universität Tübingen statt.

Informationen über die Veranstaltungen finden Sie hier
MoDekt_Abschluss_7jun2010.pdf
fms_POCT_7jun2010.pdf

IEEE EDS Mini-Kolloquium am 7. Juni 2010

07. Juni 2010

Am Institut für Mikroelektronik Stuttgart findet am 7. Juni 2010 das Mini-Kolloquium der "Electron Device Society" des IEEE statt. Im Rahmen von 14 Fachvorträgen renommierter Wissenschaftler und Ingenieure aus Europa, Japan und den USA werden Themen rund um "More than Moore" diskutiert. Die zukünftige Entwicklung der CMOS-Technologie, robuste ICs, Sensoren und Leistungselektronik, Hochfrequenz- und Mikrowellen- sowie künftige Display-Technologien stehen auf der Agenda. Das "Institute of Electrical and Electronics Engineers" (IEEE) ist ein Berufsverband für Ingenieure aus den Bereichen Elektrotechnik und Informatik und gleichzeitig der größte weltweite technische Fachverband seiner Art.

Weitere Informationen: German Chapter of IEEE Electron Device Society

Ort: Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Allmandring 30a
Zeit: 7:30 - 17:30 Uhr

54th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology & Nanofabrication

01. Juni 2010 - 04. Juni 2010

Das IMS präsentiert eine Übersicht zu lieferbaren dünnen Membranen sowie Nanoimprint-Stempeln. Besuchen Sie uns auf unseren Stand (Nr. 10) in der Industrieausstellung.


Weitere Informationen finden Sie unter www.eipbn.org

Ort: Egan Convention Center, Anchorage, Alaska; (Stand Nr. 10)

Mitgliedschaft im AMA - Fachverband für Sensorik e.V.

14. Mai 2010

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart ist dem Fachverband für Sensorik, AMA, beigetreten. 1980 als AMA Arbeitsgemeinschaft Messwertaufnehmer e.V. gegründet, hat der AMA Fachverband für Sensorik e.V. heute rund 460 Mitglieder, wovon über 70 F&E-Institute sind. Durch seine Mitgliederstruktur und das vielschichtige Dienstleistungsangebot kann der AMA Fachverband für Sensorik allen Firmen und Instituten der Sensorik, Mess- und Prüftechnik ein einzigartiges Netzwerk anbieten. Da nahezu jedes moderne Messsystem eine Anwendung der Mikrosystemtechnik darstellt, ist der AMA Fachverband als Branchenvertreter der Sensorik gleichzeitig ein wichtiger Repräsentant der Mikrosystemtechnik.

Nähere Informationen finden Sie unter
www.ama-sensorik.de

2. GMM Workshop — Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik

10. Mai 2010 - 11. Mai 2010

Vortrag von Evangelos A. Angelopoulos auf der dem GMM Workshop.

Session: 3D-Strukturierung von Mikrosystemen

"Structural and Mechanical Properties of Sintered Porous Silicon "

Montag, 10. Mai 2010


Nähere Informationen zum 2. GMM Workshop finden Sie unter
www.TuW2010.de

Ort: Darmstadtium, Darmstadt

Neuartiges Blindenschrift-Display mit IMS-ASICs auf der SightCity 2010 in Frankfurt

28. April 2010 - 30. April 2010

IMS CHIPS entwickelt und fertig seit vielen Jahren für die Metec AG spezielle Mikrochips zur Ansteuerung von piezo-elektrisch betriebenen Braille Modulen.

Im Projekt Hyperbraille wurde ein 2-dimensionales interaktives grafikfähiges Braille-Display entwickelt. Mit der berührempfindlichen, etwa A4-große Stiftplatte können Blinde und Sehbehinderte grafische Elemente oder auch Tabellen darstellen. Darüber hinaus ist der Darstellungsbereich des Displays berührungsempfindlich, d.h. der Benutzer kann durch Antippen des Displays an der entsprechenden Stelle Aktionen auslösen, die z.B. einem Mausklick entsprechen können. Diese Funktionalität wird durch einen IMS Mixed Signal ASIC erzielt, der die minimalen Kapazitätsänderungen bei Kontakt eines Fingers mit der Platte erkennt und an die Steuerung meldet.

Ein Demonstrator-Display des vom Bundesministerium für Wirtschaft (BMWi) geförderten Projekts ist auf dem Stand der Metec AG ausgestellt (Stand D13).
Am Mittwoch den 28.04.2010 um 11.15 wird eine Referentin des Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie das Projekt "Hyperbraille", auf dem Form der SightCity, vorstellen.

Nähere Informationen:

Fachmesse SightCity: http://www.sightcity.net

Projekt Hyperbraille: http://www.hyperbraille.de

Ort: Sheraton Airport Hotel, Frankfurt, Stand D13

Professor Dr.-Ing. Joachim Burghartz erhält den Landesforschungspreis für Angewandte Forschung

23. April 2010

Superdünne Chips ermöglichen neue Anwendungen in der Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Medizintechnik.

Der mit 100.000 Euro dotierte Landesforschungspreis für Angewandte Forschung geht an Joachim Burghartz, Direktor und Vorsitzender des Vorstands des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS) und Professor für Mikroelektronik an der Universität Stuttgart. Wie die Landesregierung Baden-Württemberg bei der Landespressekonferenz im Landtag heute offiziell bekanntgibt, wird damit die Entwicklung der Chipfilm-Technologie und die Umsetzung in die Verwertung in Kooperation mit der Robert Bosch GmbH gewürdigt. Das Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst schreibt den Forschungspreis jährlich aus. Über die Vergabe des Forschungspreises entscheidet eine interdisziplinäre Jury, die aus angesehenen, erfahrenen Wissenschaftlern und Wissenschaftlerinnen besteht. Prof. Burghartz sieht diesen Preis als Anerkennung für das gesamte Team im IMS, das an der Entwicklung der Technologie mitgearbeitet hat, wie auch für die Partner bei den beteiligten Firmen und der Universität Stuttgart. Das Preisgeld soll einem neuen Forschungsprojekt zum Thema flexible organische Elektronik in Kooperation mit Wissenschaftlern des Max-Planck-Instituts in Stuttgart zugute kommen, in dem das IMS auch seine Expertise bei der Fertigung neuartiger Stencilmasken und dem Entwurf integrierter Schaltungen (ASIC) einbringen wird. "Dank des Preisgeldes wird es uns möglich sein, dieses neue Forschungsfeld zu erschließen. Darauf freue ich mich schon heute", so Joachim Burghartz.

Weitere Informationen:

Pressemitteilung Landesforschungspreis

mwk.baden-wuerttemberg.de

Photomask and NGL Mask Technology XVII

13. April 2010 - 15. April 2010

Das IMS ist mit einem Poster auf der Photomask and NGL Mask Technology XVII 2010 in Yokohama, Japan vertreten.

W-CMOS Blanking Device for Projection Multi-Beam Lithography

Michael Jurisch, Mathias Irmscher, Florian Letzkus, Elmar Platzgummer*, Christof Klein*, Hans Löschner*

IMS CHIPS, Stuttgart, Germany, * IMS Nanofabrication AG, Vienna, Austria



Weitere Informationen finden Sie unter www.photomask-japan.org

Ort: Annex Hall, Pacifico Yokohama, Yokohama, Japan

MEDEA+ Projekt FANTASTIC erfolgreich abgeschlossen

11. April 2010

UV-Nanoimprint Lithografie Stempelfertigung am IMS.
Das im August 2006 gestartete und vom BMBF geförderte Projekt FANTASTIC ist mit Erfolg abgeschlossen worden.
Im Rahmen von FANTASTIC wurde das Potenzial der UV-Nanoimprint Lithografie (UV-NIL) zur Fertigung fortgeschrittener CMOS-Bauelemente untersucht. Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart war für die Fertigung von Templates verantwortlich und hat Fertigungstechnologien für einfache 2D bis hin zu komplexen 3D Multi-Lagen-Strukturen unterschiedlicher Ätztiefen entwickelt.
IMS CHIPS bietet nun die Fertigung von Stempeln mit verschiedenen Formfaktoren an, für unterschiedliche Anwendungen aus den Bereichen Mikroelektronik, Mikro- und Nanosystemtechnik, Nanooptik und Nanophotonik.

Weitere Informationen finden Sie unter: www.fantastic-project.org

IMS Newsletter 1/2010

26. März 2010

Unsere aktuelle Newsletter steht jetzt als als PDF-Dokument zur Verfügung.

Mit dem Newsletter 1/2010 möchten wir Sie über aktuelle Aktivitäten am Institut für Mikroelektronik Stuttgart informieren. Die Themen in der aktuellen Ausgabe sind:

MicroTEC Südwest – IMS ist Partner beim Spitzencluster MicroTEC Südwest
Der Cluster MicroTEC Südwest gehört zu den Gewinnern der zweiten Runde des Spitzencluster-Wettbewerbs des Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF). Das Institut ist einer der maßgeblichen Akteure bei der Gestaltung des Clusters und wird gemeinsam mit Industrieunternehmen und Forschungseinrichtungen innerhalb des Clusters neue Verfahren und Anwendungen für die Mikrosystemtechnik entwickeln.

Das MEDEA+ Projekt FANTASTIC – UV-Nanoimprint Lithografie Stempelfertigung am IMS
Im Rahmen von FANTASTIC wurde das Potenzial der UV-Nanoimprint Lithografie (UV-NIL) zur Fertigung fortgeschrittener CMOS-Bauelemente untersucht. Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart war für die Fertigung der Templates verantwortlich und ist nun in der Lage, Stempel mit verschiedenen Formfaktoren für Anwendungen aus den Bereichen Mikroelektronik, Mikro- und Nanosystemtechnik, Nanooptik und Nanophotonik zu fertigen.

Gebogene Silizium-Chips – Charakterisierung von dünnen Transistoren und einfachen Schaltkreisen
Dünne, biegbare Silizium-Chips können in vielfältiger Weise eingesetzt werden, da sie alle Vorteile von Si-basiertem Material (hohe Integrationsdichte, hohe Geschwindigkeit) aufweisen. Flexible Chips müssen auch dann sicher funktionieren, wenn sie gebogen werden, da sich hierbei die elektrischen Eigenschaften von Silizium verändern. Dieser Aspekt gewinnt an Bedeutung, da Chips immer häufiger in gebogenem Zustand eingesetzt werden.

24V-ASICs für KMU – Der Mittelstand bekommt Zugang zu eigenen Smart-Power-Chips
Energieeffizienz, innovative Batterietechnik und Elektromobilität sind derzeit beherrschende Themen für die Elektrotechnik-Branche. Das Projekt 24Volt-ASIC wurde ins Leben gerufen, um kleine und mittlere Unternehmen in die Lage zu versetzen, künftig eigene Smart-Power-Chips kosteneffizient entwickeln und auch schon in kleinen Stückzahlen beziehen zu können.

Den IMS Newsletter finden sie unter Publikationen - Aktuelle Publikationen.

Viel Spaß beim Lesen!

Verbundprojekt ValMon gestartet

09. Februar 2010

Gemeinsam mit dem Erligheimer Unternehmen Staiger und dem Steinbeis Transferzentrum Mechatronik in Ilmenau entwickelt das IMS eine neuartige Sicherheitselektronik zur laufenden Überwachung von Magnetventilen durch integrierte Elektronik. Ventile können sich dadurch "selbst prüfen" und drohende Fehlfunktionen vor dem eigentlichen Ausfall erkennen und melden, bevor ein Schaden entsteht. Dies stellt eine erhebliche Verbesserung von Ventilsystemen dar, die z.B. in sicherheitskritischen Bereichen (Medizintechnik, Kraftwerke, Fahrzeugbau) eingesetzt werden. Das Verbundprojekt ValMon wird im Rahmen der Hightech-Strategie der Bundesregierung vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) über eine Laufzeit von 2 Jahren aus dem Förderprogramm „KMU-innovativ IKT“ gefördert.

Weitere Informationen:

Pressemitteilung Projekt VALMON

http://www.valmon.de

XLIII. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in Göppingen

05. Februar 2010

Das IMS ist mit zwei Vorträgen auf dem
XLIII. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC)
in Göppingen vertreten.


Debayan Paul, HS Darmstadt & Thomas Deuble, IMS Chips, Stuttgart, 11.30 Uhr, 05.02.2010
"Implementation of an IO-Link Interface Library Component for SoC Application"

Torsten Schmitz, HS Esslingen & Johannes Thielmann, IMS Chips, Stuttgart, 12.00 Uhr, 05.02.2010
"Charakterisierung von Hall-Platten für integrierte intelligente Microsysteme und Entwurf einer spannungs- und temperaturstabilen Stromquelle im IMS 0.5 μm Gate Forest Technologie"

Nähere Informationen zum Workshop der "Multi Projekt Chip Gruppe" finden Sie unter
www.mpc.belwue.de
und im
Workshop Programm

Ort: Hochschule Esslingen Standort Göppingen, Robert-Bosch-Straße 1, 73037 Göppingen
Zeit: 8:30 - 18:00 Uhr

IMS CHIPS gewinnt mit dem Spitzencluster MicroTEC Südwest

26. Januar 2010

Der Verbund MicroTEC Südwest ist einer der fünf Gewinner in der zweiten Runde des Spitzencluster-Wettbewerbs des Bundesministeriums für Bildung und Forschung (BMBF). Um die Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Südwesten nachhaltig zu unterstützen, hat sich der Verbund MicroTEC Südwest unter Federführung des Clustermanagements Mikrosystemtechnik Baden-Württemberg e.V. (MST BW) im bundesweiten Wettbewerb des BMBF durchsetzen können. MicroTEC Südwest und vier weitere Spitzencluster erhalten nun eine Förderung von insgesamt 200 Millionen Euro.
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart ist bei der Gestaltung des Clusters und der Ausarbeitung von Projektskizzen maßgeblich beteiligt und wird gemeinsam mit zahlreichen Institutionen aus der Forschung und innovativen Industrieunternehmen in Baden-Württemberg nun verschiedene Themen innerhalb des Clusters bearbeiten.

Weitere Informationen:

Pressemitteilung MST BW

http://microtec-suedwest.de

Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2010

17. Dezember 2009

IMS Weihnachtskarte 2009

Innovative Lernmedien bei IMS CHIPS

09. Dezember 2009

Das IMS bietet auf seiner E-Learning Plattform Weiterbildungsmöglichkeiten im Bereich der Elektronik, die sowohl im Büro als auch zu Hause oder am Wochenende und damit unabhängig von Ort und Zeit genutzt werden können.

Themengebiete der Lernmodule:

• Digitaltechnik und programmierbare Logik
• Automatisierungssysteme im Selbststudium (Moeller EASY und Siemens LOGO)
• Sensorlab (Grundlagen der Sensorik)
• Von der Idee zum Produkt (ein Innovationsleitfaden)

• IC-Lab (Labor für programmierbare Logik)
• µC-Lab (Mikrokontroller Labor)

Pressemitteilung zum BMBF-Verbundprojekt HiDRaLoN

08. Dezember 2009

Um mit Hilfe der alternativen CMOS-Technologie Konzepte für eine neue Generation von Bildsensoren mit hoher Dynamik und hoher Auflösung bei gleichzeitig geringem Rauschen zu erforschen, hat sich im Rahmen des europäischen CATRENE Forschungsprojektes HiDRaLoN (High Dynamic Range Low Noise CMOS Imagers) ein starker deutscher Projektverbund gebildet.







Pressemitteilung BMBF-Verbundprojekt HiDRaLoN

Vortrag "Anomalous Stress Effects in Ultra-Thin Silicon Chips on Foil"

07. Dezember 2009 - 09. Dezember 2009

Vortrag von Mahadi-Ul Hassan auf der der IEDM:

"Anomalous Stress Effects in Ultra-Thin Silicon Chips on Foil"

Session 22: Displays, Sensors and MEMS – Heterogeneous Integration for Energy Harvesting and Photonics

Dienstag, 8. Dezember 2009


Nähere Informationen zur IEDM finden Sie unter
2009 IEDM PROGRAM

Ort: Hilton Baltimore, Baltimore, Maryland, USA

Erneut Paper Award auf der SPIE Photomask Conference 2009 in Monterey, USA

07. Dezember 2009

Auf der diesjährigen SPIE Photomask Conference vom 14 - 17 September in Monterey, CA, USA wurde der Beitrag des Multi-Beam Konsortiums bestehend aus IMS Nanofabrication AG, IMS Chips und FhG ISIT mit einem Paper Award ausgezeichnet.

Dritter Platz für das Paper:

"Charged Particle Multi-Beam Lithography Evaluations for sub-16nm hp Mask Node Fabrication and Wafer Direct Write"

Elmar Platzgummer^a, Christof Klein^a, Peter Joechl^a, Hans Loeschner^a, Martin Witt^b, Wolfgang Pilz^b, Joerg Butschke^c, Michael Jurisch^c, Florian Letzkus^c, Holger Sailer^c, Mathias Irmscher^c

a) IMS Nanofabrication AG, Schreygasse 3, A-1020 Vienna, Austria

b) Fraunhofer Institute for Silicon Technology (ISIT), Itzehoe, Germany

c) Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Stuttgart, Germany

Wissenschaft trifft Schule: „Mikrochips“

30. November 2009

Unter diesem Titel führt das Institut für Mikroelektronik Stuttgart und das Hegel-Gymnasium in Stuttgart-Vaihingen ihr gemeinsam entwickeltes Projekt, am 30. November und 07. Dezember, durch.

Woraus bestehen Mikrochips? Wie arbeiten sie? Wie werden Strukturen hergestellt, die bis zu tausendmal kleiner sind als die Breite eines Haares? Diese und viele weitere Fragen rund um die „Gehirne“ von elektronisch gesteuerten Geräten wie z.B. Computer, Handy und Roboter erkunden Schülerinnen und Schüler der Klasse 9 im Unterrichtsprojekt „Mikrochips“, im Rahmen des neuen Faches Naturwissenschaft und Technik (NWT). Dieses Fach wird in Klasse 9 seit dem Schuljahr 2008/2009 in allen Gymnasien Baden-Württembergs mit naturwissenschaftlichen Zug unterrichtet.

Anfragen zu Veranstaltungen für Schülerinnen und Schüler am IMS beantwortet Ehrenfried Futterer.

Ort: IMS Stuttgart, Allmandring 30a, 70569 Stuttgart

SAFE 2009 – Annual Workshop on Semiconductor Advances for Future Electronics and SENSORS

26. November 2009 - 28. November 2009

Das IMS ist mit drei Postern auf der SAFE 2009 in Veldhoven vertreten.

Poster 1
"Investigation of Mechanical Strength of Epitaxially Grown Ultra-Thin Silicon Chips"
A. Kiss, T. Hoang, MemberIEEE, C. Harendt and J.N. Burghartz, FellowIEEE

Poster 2
"Metal ― Porous Silicon Contact and Electrical Resistivity of Porous Silicon"
S. Ferwana, T. Zehender, E. Angelopoulos, C. Harendt, M. Zimmermann and J. Burghartz

Poster 3
"Compact Modeling of CMOS Transistors under Uniaxial Stress"
N. Wacker, M. Hassan, H. Richter, H. Rempp and J.N. Burghartz

Nähere Informationen zum "12. SAFE Workshop 2009" finden Sie unter
www.stw.nl/Programmas/Safe

Ort: NH Koningshof Hotel, Locht 117, Veldhoven, Niederlande

Kinder-Uni: "Warum kommen aus dem Radio Töne?

20. November 2009

Das Radio empfängt Signale, die von einem Radiosender ausgestrahlt werden. Diese Signale nennt man elektromagnetische Wellen und man kann sie nicht sehen, riechen, fühlen oder tasten. Was sind elektromagnetische Wellen und wie kommen sie vom Radiosender zum Empfänger? Wie kann man einen bestimmten Radiosender auswählen?
Diese Fragen beantwortet Professor Berroth. Er zeigt auch, wie man ein einfaches Radio bauen kann.

Im Beiprogramm im Foyer zeigt das IMS ein Freihand-Kamera-Mikroskop zur Entdeckung winziger Strukturen von Mikrochips,sowie ein Experimentier-Board, auf denen sich verschiedene Elektronik-Schaltungen auf einfache Weise zusammenstecken lassen.


Nähere Informationen zur Kinderuni finden Sie unter: Kinderuni

Ort: Hörsaal 47.01., Pfaffenwaldring 47, Campus Stuttgart-Vaihingen

8th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology

11. November 2009 - 13. November 2009

Das IMS präsentiert sich mit einem Stand auf der diesjährigen NNT Konferenz in San Jose.

Das IMS stellt Technologie- und Produktlösungen für Photomasken, Diffraktive Optische Elemente, Replikationsmaster, Siliziummembranen, MEMS und mikromechanische Komponenten vor.



Nähere Informationen zum "8. NNT 2009" finden Sie unter
http://www.nntconf.org

Ort: Convention Center, San Jose, CA, USA

Erster User Group Workshop im Rahmen des HiDRaLoN Projekts

06. November 2009

Im Anschluß an die diesjährige 22. Internationalen Fachmesse für Industrielle Bildverarbeitung und Identifikation in Stuttgart findet am 6. November 2009 am Institut für Mikroelektronik Stuttgart der erste Hidralon Workshop mit den Industriefirmen der projektbegleitenden User Group statt.

Das im europäischen Förderprogramm CATRENE beantragte Projekt HiDRaLoN - High Dynamic Range and Low Noise CMOS Image Sensors wurde zum 1. März 2009 mit einer Laufzeit von 3 Jahren gestartet. In Deutschland wird das Projekt durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) gefördert.

Das europäische Konsortium besteht aus ingesamt 16 Projektpartnern (Foschungseinrichtungen und Firmen) aus Deutschland, Frankreich, den Niederlanden, Israel und Ungarn. Von den deutschen Partnern des Konsortiums sind 4 CMOS Sensorentwickler vertreten: Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Deutsche Thomson oHG, Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme und Philips Technologie GmbH Forschungslaboratorien. Projektbegleitend wurde eine User Group von derzeit 12 Industriefirmen von potentiellen Endanwendern der Projektergebnisse etabliert.

www.hidralon.eu

Ort: IMS Stuttgart, Allmandring 30a, 70569 Stuttgart

EDS Chapter Meeting am 04.11.09 in Reutlingen

04. November 2009

Im Rahmen des German Chapter of IEEE EDS, hält Prof. Yannos Manoli vom IMTEK der Uni Freiburg, beim nächsten EDS Chapter Meeting, am Mittwoch, den 4.11.2009, um 16:00 Uhr, einen Vortrag zum Thema "Energy Harvesting - from Devices to Systems".

Nähere Informationen zum Vortrag finden Sie im folgenden Abstract.

Ort: Bosch, Tübingerstr. 123, 72762 Reutlingen, in der Aula im Gebäude 501
Zeit: 16:00

7th Workshop "Beams and More" 2009

22. Oktober 2009

Unser 7. Lithographie Workshop, den wir ab diesem Jahr "Beams & More" nennen, findet am Donnerstag, 22. Oktober 2009 in Stuttgart statt.

Weitere Informationen und die Anmelderegistrierung finden sie unter: lithoworkshop.ims-chips.de

Ort: IMS Stuttgart

Mikroelektronik Technologie Seminar

14. Oktober 2009 - 16. Oktober 2009

Das erfolgreiche Seminar "Mikroelektronik-Technologie" wird regelmäßig mit Teilnehmern aus Industrie und Hochschule durchgeführt.
Das Mikroelektronik-Technologie-Seminar bietet eine fundierte und praxisbezogene Einführung in die Herstellung von Mikrochips und die besonderen Aspekte beim Test mikroelektronischer Schaltungen sowie dem Verpacken der Chips in IC-Gehäuse.
Der Kurs richtet sich an Elektronik-Entwickler und -Entscheider aus dem industriellen Umfeld.

Nähere Informationen zum Intensiv-Kurs finden sie unter Arbeitsgebiete - Mikroelektronik Seminare

Anmeldung: Registration: http://www.tae.de


Termin: 14.-16. Oktober 2009

Ort: Allmandring 30a, 70569 Stuttgart

Bipolar/BiCMOS Circuits and Technology Meeting (BCTM)

13. Oktober 2009 - 14. Oktober 2009

Prof. Dr. Joachim Burghartz hält einen eingeladenen Vortrag auf der BCTM 2009 in Capri.


Ultra-Thin Chip Fabrication for Next-Generation Silicon Processes (Invited)
Mittwoch, 13. Oktober 2009




Weitere Informationen finden Sie unter:
http://www.ieee-bctm.org/

Ort: Capri Palace Hotel, Capri, Italien

Hochbegabte Jugendliche besuchen IMS

09. Oktober 2009

Das IMS hatte die Elterngruppe Tübingen des Landesverband Hochbegabung Baden-Württemberg e.V. zu einem Besuch des Instituts eingeladen. Mehr als 30 Jugendliche kamen, begleitet von einigen Eltern und erlebten einen spannenden informativen Nachmittag am IMS. In kurzen Präsentationen wurden die jungen Gäste im Alter zwischen 10 und 15 Jahren an das spannende Thema der Mikroelektronik und der Nanotechnik herangeführt, dann konnte das IMS im Rahmen von Führungen besichtigt werden. Dort erfuhren die Jugendlichen wie Mikrochips hergestellt, montiert und getestet werden und was für ein beeindruckender technischer Aufwand dazu notwendig ist. Weiter ging es dann mit eigenen Experimenten. Mit den eigens für den Ideenpark in Stuttgart im vergangenen Jahr entwickelten "IMS BOARDS" konnten die Kinder elektronische Schaltungen selber aufbauen und ausprobieren. Das wichtigste war jedoch die Möglichkeit, jede Menge Fragen zu stellen. Wissenschaftlerinnen und Ingenieure des IMS wurden von den Kindern bis in den Abend hinein "gelöchert".

Das Team vom IMS freut sich, insbesondere Kindern und Jugendlichen die Faszination von Wissenschaft und Technik näherbringen zu können. Weitere Informationen zu Angeboten für kleine Forscherinnen und Forscher gibt es unter www.ims-chips.de.

Anfragen zu Führungen und Veranstaltungen am IMS beantwortet Ehrenfried Futterer.
Den Landesverband Hochbegabung Baden-Württemberg e.V. finden Sie hier www.lvh-bw.de.

Micro Nano Engeneering – MNE 2009

28. September 2009 - 01. Oktober 2009

Vortrag von H. Sailer

A fast evaluation method for high-resolution ebeam resist process optimization

A. Barcz, J. Butschke, M. Irmscher, S. Martens

IMS Chips, Allmandring 30a, D-70569 Stuttgart, Germany


Weitere Informationen finden Sie unter: http://www.mne09.org

Ort: ICC Gent, Gent, Belgien

IMS Newsletter 2/2009

25. September 2009

Unsere aktuelle Newsletter steht jetzt als als PDF-Dokument zur Verfügung.

Mit dem Newsletter 2/2009 möchten wir Sie über aktuelle Aktivitäten am Institut für Mikroelektronik Stuttgart informieren. Die Themen in der aktuellen Ausgabe sind:

HyperBraille – Interaktives Blindenschrift-Display für grafische Benutzeroberflächen
Spezial-Chips ermöglichen es erstmals, ein interaktives Blindenschrift-Display für grafische Benutzeroberflächen zu realisieren. Die entsprechenden ASICs werden bei IMS CHIPS entwickelt und produziert.

Si-Technologie unterstützt das Avogadro Projekt – Oxidation hochreiner Silizium-Kugeln am IMS
Das IMS unterstützt die Physikalisch Technische Bundesanstalt (PTB) bereits seit längerer Zeit mit der Reinigung und der Oxidation von Siliziumkugeln. Diese Kugeln sollen eventuell das Urkilogramm als Massestandard ersetzen.

Membranen und Membranmasken von IMS CHIPS – Weiterentwicklung von Direkt-Strukturierungstechnologien
Seit über 10 Jahren fertigt das Institut für Mikroelektronik Stuttgart Membranen und Membranmasken für einen breiten Kundenkreis. Je nach Material und Membrandicke können runde oder eckige Membrangeometrien mit Membranflächen von unter 1 mm² bis über 100 cm² realisiert werden.

IMS Förderverein – Wissenstransfer und Kontaktnetzwerk in einem: der IMS Förderverein
Der IMS Förderverein bietet jetzt seinen Mitgliedern neben unkompliziertem Austausch auch eine neue Homepage unter der gewohnten Adresse www.ims-foerderverein.de. Diese Internetplattform ermöglicht den Kontakt mit anderen Unternehmern der Region und vermittelt einen konkreten Einblick in die Welt der Mikroelektronik, Nanotechnologie und Mikrosystemtechnik.

Den IMS Newsletter finden sie unter Publikationen - Aktuelle Publikationen.

Viel Spaß beim Lesen!

ESSDERC/ESSCIRC 2009, Athen: Vortrag "Ultra-thin Chips - a New Paradigm in Silicon Technology"

14. September 2009 - 18. September 2009

Prof. Dr. Joachim Burghartz hält einen Vortrag (JOINT PLENARY TALK) auf der ESSDERC-ESSIRC 2009 in Athen.

"Ultra-thin Chips - a New Paradigm in Silicon Technology"
Donnerstag, 17. September 2009


Poster: Evangelos Angelopoulos

"Compliant Substrate based on Sintered Porous Silicon for the Local Integration of Heterodevices with Silicon Microelectronics"
Dienstag 15. bis Donnerstag 17. September 2009

Weitere Informationen finden Sie unter:
www.esscirc2009.org

Ort: Divani Caravel Hotel, Athen, Griechenland

SPIE Photomask Technology 29th Annual Symposium (BACUS 2009)

14. September 2009 - 17. September 2009

Dienstag 15.09.2009; Session 6: Nano-Imprint and Patterned Media Technology II

Vortrag von Marcus Pritschow ^a

High-Resolution E-Beam Repair for Nanoimprint Templates

Harald Dobberstein^b, Klaus Edinger^b, Mathias Irmscher^a, Douglas J. Resnick^c, Kosta Selinidis^c, Ecron Thompson ^c, Markus Waiblinger^b

a) IMS Chips, Allmandring 30a, D-70569 Stuttgart, Germany

b) Carl Zeiss SMS GmbH, Carl Zeiss Promenade 10, D-07740 Jena, Germany

c) Molecular Imprints, Inc. 1807-C W. Braker Lane, Austin, TX 78758, USA


Poster: Florian Letzkus ^a

3D Si Aperture Plates combined with programmable Blanking Plates for Multi-Beam Mask Writing

Mathias Irmscher^a, Michael Jurisch^a, Elmar Platzgummer^b, Christof Klein^b, Hans Loeschner^b

a) IMS Chips, Allmandring 30a, D-70569 Stuttgart, Germany

b) IMS Nanofabrication AG, Schreygasse 3, A-1020 Vienna, Austria


Weitere Informationen finden Sie unter: http://spie.org/photomask.xml

Ort: Monterey Marriott and Monterey Conference Center, CA, USA

Neue Technologie-Entwicklung – Mittelstand bekommt Zugang zu Smart Power Chips

26. August 2009

Mixed-Signal-ASICs mit integrierten Leistungskomponenten

Unter dem Titel „24V-ASICs“ wird eine Technologie-Kombination entwickelt, in die die Smart-Power-Erfahrungen der Heilbronner Chipschmiede Telefunken Semiconductors und die kostengünstige Kleinserienfertigung bei IMS CHIPS einfließen. Gefördert wird das Vorhaben über die Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen (AiF) vom Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie (BMWI).

Weitere Informationen: IMS-CHIPS_24V-ASICs.pdf

EXEPT – EUV Lithografie für den 22 nm Knoten

22. Juli 2009

Das im europäischen Förderprogramm CATRENE beantragte Projekt EXEPT - EXtreme uv lithography Entry Point Technology Development - wurde unter dem Label CT301 zum 1. Mai 2009 mit einer Laufzeit von 3 Jahren gestartet. In Deutschland wird das Projekt durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung gefördert.

Ziel des Projektes ist die Entwicklung von Technologien, Geräten und Infrastruktur für den Produktionseinsatz der EUV-Lithografie für den 22 nm Knoten. An dieser Aufgabe arbeiten mehr als 10 Forschungseinrichtungen und Firmen aus Deutschland und Europa zusammen.

Am Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) werden Strukturierungsverfahren für eine neue Generation von diffraktiven optischen Elementen (DOE) entwickelt, die zur Prüfung und Fertigung hochgenauer EUV-Scanner-Optiken benötigt werden.


Weitere Informationen finden Sie unter: www.catrene.org/web/projects/project_list.php

SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips

20. Juli 2009 - 31. Juli 2009

Vom 20. bis 31. Juli findet am IMS wieder der zweiwöchige Sommerkurs "Schülerinnen und Schüler machen Chips" statt. Eine Mischung aus anspruchsvollen Vorlesungen und praktischen Übungen ermöglicht den Teilnehmern einen tiefen Einblick in die Welt der Mikroelektronik. Zudem bietet der Kurs die Möglichkeit mikroelektronische Schaltungen zu entwerfen. Der Workshop richtet sich an Schülerinnen und Schüler der gymnasialen Oberstufe mit Begabung und Interesse für Naturwissenschaften, Mathematik und Informatik.



Weitere Informationen finden Sie unter
Schüler machen Chips

Ort: Allmandring 30a, 70569 Stuttgart
Zeit: 9:00 - 17:00 Uhr

Wissenschaft trifft Schule: „Mikrochips“

02. Juli 2009

Unter diesem Titel hat das Institut für Mikroelektronik Stuttgart gemeinsam mit dem Hegel-Gymnasium in Stuttgart-Vaihingen ein Projekt entwickelt und im Zeitraum April – Mai 2009 erfolgreich durchgeführt.
Woraus bestehen Mikrochips? Wie arbeiten sie? Wie werden Strukturen hergestellt, die bis zu tausendmal kleiner sind als die Breite eines Haares? Diese und viele weitere Fragen rund um die „Gehirne“ von elektronisch gesteuerten Geräten wie z.B. Computer, Handy und Roboter erkundeten Schülerinnen und Schüler der Klasse 9 im Unterrichtsprojekt „Mikrochips“, im Rahmen des neuen Faches Naturwissenschaft und Technik (NWT). Dieses Fach wird in Klasse 9 seit dem Schuljahr 2008/2009 in allen Gymnasien Baden-Württembergs mit naturwissenschaftlichen Zug unterrichtet.

Weitere Informationen als PDF: Pressemitteilung_NWT_Juli2009.pdf

Neue Runde im Spitzencluster-Wettbewerb des Bundes: MicroTEC Südwest erneut im Finale!

25. Juni 2009

Unter der Federführung des Freiburger Vereins Mikrosystemtechnik Baden-Württemberg e.V. (mstbw) bewirbt sich das Institut für Mikroelektronik Stuttgart gemeinsam mit Industrieunternehmen und Forschungspartnern im nationalen Spitzencluster-Wettbewerb, der von Bundesforschungsministerin Annette Schavan zum zweiten Mal ausgerufen wurde.
Peter Jeuk von mstbw: „Der branchenübergreifende Technologiecluster MicroTEC Südwest hat erneut die Finalrunde erreicht und rechnet sich gute Chancen aus, Anfang 2010 zu den maximal 5 Gewinnern dieses bedeutenden nationalen Wettbewerbs zu gehören. In der im April abgegebenen Skizze wurden Entwicklungsprojekte für den Cluster von über 100 Millionen Euro entwickelt.“

Weitere Informationen erhalten Sie hier: Pressemitteilung MST BW

TEMPERATUR 2009 - Verfahren und Geräte in der Temperatur- und Feuchtemesstechnik

24. Juni 2009 - 25. Juni 2009

Das IMS ist mit einem Vortrag bei der Konferenz "TEMPERATUR 2009“ vertreten.

Franz X. Hutter
Mittwoch, 24. Juni 2009

"HDRC^® Quotienten-PyroCam – Thermografie mit neuen Eigenschaften"





Weitere Informationen zur Konferenz: TEMPERATUR 2009

Ort: Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Abbestraße 2-12, 10587 Berlin-Charlottenburg

53rd International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology & Nanofabrication

26. Mai 2009 - 29. Mai 2009

Das IMS ist mit einem "Invited Talk" auf der EIPBN 2009 in Florida, USA vertreten.

Mathias Irmscher
28.05, 10:50 / Session 4A /Maskless Lithography

Programmable Aperture Plate System With Integrated CMOS Electronics for Projection Maskless Nanolithography and Nanopatterning
Christof Klein*, Elmar Platzgummer*, Hans Loeschner*, Florian Letzkus**, Michael Jurisch**, Mathias Irmscher**, Martin Witt***, Wolfgang Pilz***

* IMS Nanofabrication – Vienna, Austria
** IMS Chips – Stuttgart, Germany
*** FhG ISiT – Itzehoe, Germany

Das IMS ist zusätzlich mit einem Stand (Stand 2) bei der diesjährigen EIPBN vertreten.


Weitere Informationen finden Sie unter www.eipbn.org

Ort: Marco Island Marriott Beach Resort, Florida, USA; (Stand 2)

HiDRaLoN Projekt gestartet

24. Mai 2009

Das im europäischen Förderprogramm CATRENE beantragte Projekt HiDRaLoN - High Dynamic Range and Low Noise CMOS Image Sensors wurde zum 1. März 2009 mit einer Laufzeit von 3 Jahren gestartet.In Deutschland wird das Projekt durch das Bundesministerium für Bildung und Forschung gefördert.

Ziel des Projektes ist die Forschung und Entwicklung von hochdynamischen CMOS Bildsensoren mit HTDV (2 MegaPixel) Auflösung und hoher Bildqualität, optische 3D-Sensoren auf Basis des Time-of-Flight Prinzips sowie CT- und Röntgendetektoren. Die vielfältigen Anwendungen sind in der Prozess-, Medizin-, Sicherheitstechnik, in Automobilanwendungen und in Fernsehkameras. IMS CHIPS arbeitet hierbei an hochdynamischen CMOS Bildsensoren auf Basis seiner HDRC Technologie.

Das europäische Konsortium besteht aus ingesamt 16 Projektpartnern (Foschungseinrichtungen und Firmen) aus Deutschland, Frankreich, den Niederlanden, Israel und Ungarn. Von den deutschen Partnern des Konsortiums sind 4 CMOS Sensorentwickler vertreten: Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Deutsche Thomson oHG, Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme und Philips Technologie GmbH Forschungslaboratorien. Projektbegleitend wird eine User Group von derzeit 12 Industriefirmen von potentiellen Endanwendern der Projektergebnisse etabliert.

www.hidralon.eu

Pressemitteilung BMBF-Verbundprojekt HiDRaLoN

16. Tagung des VDE/VDI-Arbeitskreis „Mikrotechnik" in Thüringen

19. Mai 2009

Das IMS ist mit einem Vortrag bei der 16. Zusammenkunft des VDE/VDI-Arbeitskreis „Mikrotechnik“ vertreten.

Thomas Deuble
Dienstag, 19. Mai 2009

"ASICs für Mixed-Signal-Anwendungen - GATE FOREST^®"
Cor Scherjon, Christian Burwick, Thomas Deuble





Weitere Informationen zum 16.VDE/VDI-Arbeitskreis als PDF: Einlad16AK.pdf

Ort: Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH, Ehrenbergstr. 27, 98693 Ilmenau
Zeit: 16:00 - 18:00 Uhr

International Conference on IC Design & Technology

18. Mai 2009 - 20. Mai 2009

Das IMS ist mit einem "Invited Paper" auf der ICICDT 2009 in Austin vertreten.

Harald Richter
Mittwoch, 20. Mai 09, 10:10 Uhr / Session G: System on a Chip

"Technology and Design Aspects of Ultra-Thin Silicon Chips for Bendable Electronics"
Harald Richter, Horst Rempp, Joachim Burghartz, Mahadi-Ul Hassan, Christine Harendt, Nicoleta Wacker, Martin Zimmermann



Weitere Informationen finden Sie unter www.icicdt.org

Ort: Freescale Semiconductor, 7700 W Parmer Lane, Austin, Texas

Neuartiges Blindenschrift-Display mit IMS-ASICs auf der SightCity 2009 in Frankfurt

13. Mai 2009 - 15. Mai 2009

IMS CHIPS entwickelte und fertig seit vielen Jahren für die metec AG spezielle Mikrochips zur Ansteuerung von piezo-elektrisch betriebenen Braille Modulen. Im Projekt Hyperbraille wird ein 2-dimensionales interaktives grafikfähiges Braille-Display entwickelt. Damit sollen blinde Menschen erstmals Zugang zu grafischen Benutzeroberflächen von Computerprogrammen erhalten, wie sie heute für "sehende" Menschen Standard sind.
Das etwa A4-große Hyperbraille-Display kann nicht nur Braille-Schrift anzeigen, es kann auch zur Darstellung beliebiger Konturen wie Programmfenstern oder Schaltflächen genutzt werden. Darüber hinaus sind alle Elemente des Displays berührungsempfindlich, d.h. der Benutzer kann durch Antippen des Displays an der entsprechenden Stelle Aktionen auslösen, die z.B. einem Mausklick entsprechen können. Diese Funktionalität wird durch einen IMS Mixed Signal ASIC erzielt, der die minimalen Kapazitätsänderungen bei Kontakt eines Fingers mit der Platte erkennt und an die Steuerung meldet.
Ein Demonstrator-Display des vom Bundesminsiterium für Wirtschaft (BMWi) mit 5.8 M Euro über 3 Jahre geförderten Projekts ist auf dem Stand der metec AG ausgestellt (Stand D13).


Nähere Informationen:

Fachmesse SightCity: http://www.sightcity.net

Projekt Hyperbraille: http://www.hyperbraille.de

Ort: Sheraton Airport Hotel, Frankfurt, Stand D13

"Naturwissenschaft und Technik" NWT - Unterricht am IMS

21. April 2009

Im Rahmen des neu an den Gymnasien eingeführten Fachs "Naturwissenschaft und Technik" NWT wird die 9. Klasse des Stuttgarter Hegelgymnasiums am 21. und am 28. April 2009 den Entwurf und die Fertigung von Mikrochips am IMS erkunden.
Labor-Experimente mit dem IMS-Board und Erkundungsinterviews mit Forschern und Wissenschaftlern sollen den Jugendlichen eine erste Orientierung in unserer naturwissenschaftlich geprägten Welt ermöglichen.

HANNOVER MESSE Industrie, Halle 2 Stand C21

20. April 2009 - 24. April 2009

Besuchen Sie uns auf dem Gemeinschaftsstand Baden-Württemberg International Halle 2, Stand C21.

Wir informieren über die neuesten Entwicklungen der Si-Technolgie.

www.hannovermesse.de

Ort: HANNOVER MESSE, Halle 2, Stand C21

Photomask and NGL Mask Technology XVI

08. April 2009 - 10. April 2009

Das IMS ist mit einem Poster auf der Photomask and NGL Mask Technology XVI 2009 in Yokohama, Japan vertreten.

Go Proton: Investigation on Mask Patterning for the 22nm hp Node using a ML2 Multi Beam System
Joerg Butschke, Mathias Irmscher, Holger Sailer, Hans Loeschner*, Elmar Platzgummer*,

IMS CHIPS, Stuttgart, Germany, * IMS Nanofabrication AG, Vienna, Austria



Weitere Informationen finden Sie unter www.photomask-japan.org

Ort: Annex Hall, Pacifico Yokohama, Yokohama, Japan

IMS Newsletter 1/2009

27. März 2009

Unsere aktuelle Newsletter steht jetzt als als PDF-Dokument zur Verfügung.

Mit dem Newsletter 1/2009 möchten wir Sie über aktuelle Aktivitäten am Institut für Mikroelektronik Stuttgart informieren. Die Themen in der aktuellen Ausgabe sind:

ProMikron - Verkleinerung von Chips und Sensorelementen in allen drei Dimensionen
Industrie und Forschungseinrichtungen entwickeln gemeinsam neue Prozesstechnologien zur Verkleinerung von Chips und Sensorelementen in allen drei Dimensionen.
Das Bundesministerium für Bildung und Forschung unterstützt ProMikron mit 8 Mio. Euro.

Pilz PSENvip - Kamerabasiertes Schutz- und Messsystem
Auf der Basis der IMS CHIPS HDRC^®-Technologie entwickelte die Fa. Pilz GmbH und Co. KG aus Ostfildern das neue kamerabasierte Schutz- und Messsystem PSENvip zur Überwachung von Arbeitsprozessen an Abkantpressen.

NIL Technology und IMS CHIPS kooperieren
Die Nanoimprint-Lithographie ermög­licht es, mittels spezieller Stempel winzige Strukturen im Nanometer-Bereich zu realisieren.
Die führenden europäischen Hersteller von Templates für die Nanoimprint Lithographie, NIL Technology (Kopenhagen, Dänemark) und IMS CHIPS gaben zum NILCOM-Meeting am 8. Januar 2009 in Schärding, Österreich, den Beginn Ihrer Zusammenarbeit auf diesem Gebiet bekannt.

Neues Reinraum-Equipment für die Nanostrukturierung
Für die Nanostrukturierung sind präzise Ätzverfahren und effektive Reinigungen von essentieller Bedeutung. Mit den Anlagen PEGASUS und GIGASTEP hat IMS CHIPS nun erweiterte Möglichkeiten in den Bereichen Siliziumstrukturierung und Substratreinigung, wie sie beispielsweise für MEMS und Replikationsmaster erforderlich sind.

Den IMS Newsletter finden sie unter Publikationen - Aktuelle Publikationen.

Viel Spaß beim Lesen!

IMS CHIPS auf der SPIE Advanced Lithography 2009

22. Februar 2009 - 27. Februar 2009

Das IMS präsentiert sich auf einem Gemeinschaftstand (Stand 116) mit NIL Technology bei der diesjährigen SPIE Advanced Lithography in San Jose.

IMS CHIPS ist zusätzlich mit einem Vortrag vertreten.

Mittwoch, 25. Februar 2009

"Evaluation of the CD-SEM Vistec LWM90xx for line width measurement of nanoimprint templates"

Marcus Pritschow^a, Joerg Butschke^a, Mathias Irmscher^a, Lidia Parisoli^b, Toshihide Oba^c, Toshimichi Iwai^c, Takayuki Nakamura^c

a IMS Chips, Allmandring 30a, D-70569 Stuttgart, Germany
b Vistec Semiconductor Systems GmbH, Kubacher Weg 4, D-35781 Weilburg, Germany
c Advantest Corporation, Otone R&D Center, 1-5, Shin-tone, Otone-machi, Kitasaitama-gun, Saitama 349-1158, Japan


Weitere Informationen finden Sie unter: spie.org/advanced-lithography.xml

Ort: Stand 116, Convention Center, San Jose, California, USA

IMS erhält den begehrten "Jack Raper Award for Outstanding Technology-Directions"

09. Februar 2009

Das IMS ist in San Francisco für die Präsentation
"CMOS Imager Technologies for Biomedical Applications" mit dem „Jack Raper Award for Outstanding Technology Directions Paper“ ausgezeichnet worden.


Des Weiteren war das IMS, am Mittwoch den, 11. Februar 2009, mit einem Vortrag von Franz Xaver Hutter vertreten.

"A 0.25 µm Logarithmic CMOS Imager for Emissivity Compensated Thermography"


Weitere Informationen finden Sie unter:

Pressebericht zum "Jack Raper Award"

„CMOS Imager Technologies for Biomedical Applications“

http://www.isscc.org

Ort: Marriott Hotel, San Francisco, CA, USA

XLI. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in der Reinhold-Würth-Hochschule in Künzelsau

06. Februar 2009

Das IMS ist mit einem Vortrag auf dem
XLI. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC)
in der RWH in Künzelsau vertreten.


Cor Scherjon, Christian Burwick, 11.15 Uhr, 06.02.2009

"Structured ASICs für Mixed-Signal Anwendungen"

Nähere Informationen zum Workshop der "Multi Projekt Chip Gruppe" finden Sie unter
www.hs-heilbronn.de
und im
Workshop Programm

Ort: Reinhold-Würth-Hochschule, Daimlerstraße 35, 74653 Künzelsau
Zeit: 8:30 - 18:00 Uhr

Neue Zusammenarbeit im Bereich der Nanoimprint Lithographie

27. Januar 2009

Die führenden Hersteller von Stempeln für die Nanoimprint Lithographie, NIL Technology und IMS CHIPS gaben zum NILCOM-Meeting am 8. Januar 2009 in Schärding, Österreich den Beginn Ihrer Zusammenarbeit auf dem Gebiet von Nanoimprint-Templates bekannt.

Pressemitteilung Zusammenarbeit
NIL Technology - IMS CHIPS

Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2009

17. Dezember 2008

IMS Weihnachtskarte 2008.jpg

Vortrag "CMOS Imager Technologies for Biomedical Applications"

16. Dezember 2008

Vortrag von Prof. Dr. Joachim Burghartz auf der der
IEDM Special Evening Session:

Highlights of ISSCC 2008
"CMOS Imager Technologies for Biomedical Applications"


Dienstag, 16. Dezember 2008


Nähere Informationen zur IEDM finden Sie unter
2008 IEDM PROGRAM

Ort: Hilton San Francisco 333 O'Farrell Street San Francisco, CA

Vortrag "Ultra-thin Chips - a New Paradigm in Silicon Technology"

10. Dezember 2008 - 11. Dezember 2008

Vortrag (IEEE Distinguished Lecture)
von Prof. Dr. Joachim Burghartz:

"Ultra-thin Chips - a New Paradigm in Silicon Technology"


Mittwoch, 10. Dezember 2008:
SSC/EDS am MIT, Cambridge, MA, USA,


Donnerstag, 11. Dezember 2008:
EDS Meeting bei IBM, East Fishkill, NY, USA,

Ort: MIT, Cambridge, MA, USA und IBM, East Fishkill, NY, USA

Forum "be-flexible" 2008 - Thin Semiconductor Devices, 9^th International Workshop

02. Dezember 2008

Das IMS ist mit einem Vortrag auf dem Forum 'be-flexible' 2008 in München vertreten.

Keynote Presentation: J. Burghartz, 02.12.2008

"Ultra-thin chip fabrication using cost-effective pre-processed wafer substrates"

Nähere Informationen zum Forum "be-flexible" 2008 finden Sie unter
www.be-flexible.de.

Ort: Hotel Le Meridien, Bayerstrasse 41, 80335 München

SAFE 2008 – Annual Workshop on Semiconductor Advances for Future Electronics and SENSORS

27. November 2008 - 28. November 2008

Das IMS ist mit drei Postern auf der SAFE 2008 in Veldhoven vertreten.

Poster 1
"Porous Silicon for Micro- and Opto-electronic applications: Fabrication technology and post-processing steps"
E. Angelopoulos, S. Ferwana, C. Harendt,
M. Zimmermann, W. Appel and J. Burghartz

Poster 2
"Ultra-Thin Chip Fabrication and Assembly Process"
Martin Zimmermann, Saleh Ferwana, Christine Harendt, Wolfgang Appel and Joachim N. Burghartz

Poster 3
"Accurate Measurement of Piezocoefficients in CMOS Transistors on Conventional and Ultra-Thin Silicon Chips"
N. Wacker, H. Rempp, S. Schmiel and J.N. Burghartz

Nähere Informationen zum "11. SAFE Workshop 2008" finden Sie unter
www.stw.nl/Programmas/Safe

Ort: NH Koningshof Hotel, Locht 117, Veldhoven, Niederlande

Mikroelektronik Technologie Seminar

14. November 2008 - 29. November 2008

Das erfolgreiche Seminar "Mikroelektronik-Technologie" wird regelmäßig mit Teilnehmern aus Industrie und Hochschule durchgeführt.
Das Mikroelektronik-Technologie-Seminar bietet eine fundierte und praxisbezogene Einführung in die Herstellung von Mikrochips und die besonderen Aspekte beim Test mikroelektronischer Schaltungen sowie dem Verpacken der Chips in IC-Gehäuse.
Der Kurs wendet sich an Elektronik-Entwickler und Entscheider aus dem industriellen Umfeld.

Nähere Informationen zum Intensiv-Kurs finden sie unter Arbeitsgebiete - Mikroelektronik Seminare

Anmeldung: http://www.tae.de


Termin: 14.11. - 15.11. / 28.11. - 29.11. 2008

Ort: Allmandring 30a, 70569 Stuttgart

5. GMM-Workshop - Energieautarke Sensorik

12. November 2008 - 13. November 2008

Das IMS ist mit einem Vortrag auf der EAS 2008 in Düsseldorf vertreten.

Vortrag J. Burghartz, 12.11.2008

"Ultra-dünne Chips - eine Basistechnologie für flexible Elektronik und RF ID"

Nähere Informationen zum "5. GMM Workshop - Energieautarke Sensorik " finden Sie unter
www.eas2008.de.

Ort: Renaissance Düsseldorf Hotel, Nördlicher Zubringer 6, Düsseldorf

IMS auf der VISION 2008 in Stuttgart

04. November 2008 - 06. November 2008

Wir präsentieren auf der 21. Internationalen Fachmesse für Industrielle Bildverarbeitung und Identifikation die neue kalibrierte PyroCam, den HDRC^® Global Shutter und das von der Firma Pilz entwickelte kamerabasierte Schutz- und Messsystem PSENvip, das mit einer zertifizierten HDRC^® Kamera von IMS ausgestattet ist.

VISION 2008 cms.messe-stuttgart.de

Ort: Stuttgart, Neue Messe, Halle 6.0 Stand C14
Zeit: 9:00 - 17:00 Uhr
Kosten: 22 EUR

4. Global Plastic Electronics Konferenz

27. Oktober 2008 - 29. Oktober 2008

Das IMS ist mit einem Vortrag auf der 4. Global Plastic Electronics Konferenz in Berlin vertreten.

Vortrag J. Burghartz, 28.10.2008

"Chipfilm - enabling ultra-thin chip technology for hybrid systems in foil"

Nähere Informationen zur "4. Global Plastic Electronics Konferenz" finden Sie unter
http://www.plastic-electronics.org.

Ort: Maritim Hotel Berlin

Kooperation mit Robert Bosch GmbH bei ultradünnen Mikrochips

24. Oktober 2008

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) und die Robert Bosch GmbH haben im Rahmen eines Kooperationsvertrages eine enge Zusammenarbeit bei der Entwicklung von Produktionsverfahren für ultradünne Mikrochips beschlossen. Mit der nun vereinbarten Zusammenarbeit zwischen IMS CHIPS und der Robert Bosch GmbH kommen die Forscher dem Praxiseinsatz ultradünner Mikrochips ein gutes Stück näher.

Nähere Informationen zur Zusammenarbeit zwischen IMS CHIPS und der Robert Bosch GmbH in der gemeinsamen Pressemitteilung.

6th Workshop "Masks and More" 2008

23. Oktober 2008

Der diesjährige Lithografie-Workshop findet am Donnerstag, den 23. Oktober statt.

Weitere Informationen und die Anmelderegistrierung finden sie unter: lithoworkshop.ims-chips.de

Ort: IMS Stuttgart

HDRC^® -Imager Workshop 2008

16. Oktober 2008

Der 1. HDRC^® -Imager Workshop 2008 findet am 16. Oktober statt. Das Programm und das Anmeldeformular stehen ab sofort zur Verfügung.
Programm HDRC^® -Imager Workshop 2008

Ort: IMS Stuttgart

Poster Award auf der SPIE Photomask Conference 2008 in Monterey, USA

10. Oktober 2008

Auf der diesjährigen SPIE Photomask Conference vom
6 - 10 Oktober in Monterey, CA, USA sind zwei IMS-Beiträge mit dem Poster Award ausgezeichnet worden.

Erste Preis für das Paper:

Deflection Unit for Multi-Beam Mask Making
von Florian Letzkus^a, Joerg Butschke^a, Mathias Irmscher^a, Michael Jurisch^a, Christof Klein^b, Wolfram Klingler^a, Hans Löschner^b, Elmar Platzgummer^b, Reinhard Springer^b
aIMS Chips, Allmandring 30a, 70569 Stuttgart, Germany
^bIMS Nanofabrication AG, Schreygasse 3, A-1020 Vienna, Austria

Sowie ein zweiter Preis für das Paper:

Mask patterning for the 22nm node using a proton multi-beam projection pattern generator
von Joerg Butschke^a, Mathias Irmscher^a, Holger Sailer^a, Lorenz Nedelmann^a, Marcus Pritschow^a, Hans Loeschner^b, and Elmar Platzgummer^b
aIMS Chips, Allmandring 30a, 70569 Stuttgart, Germany
^bIMS Nanofabrication AG, Schreygasse 3, A-1020 Vienna, Austria

SPIE Photomask Technology 28th Annual Symposium (BACUS 2008)

06. Oktober 2008 - 10. Oktober 2008

Vortrag von Marcus Pritschow ^a

Evaluation of E-Beam Repair for Nanoimprint Templates

Volker Boegli ^b, Joerg Butschke ^a, Mathias Irmscher ^a, Douglas Resnick ^c, Holger Sailer ^a, Kosta Selinidis ^c, Ecron Thompson ^c
a IMS Chips, Allmandring 30a, D-70569 Stuttgart, Germany
b NaWoTec GmbH – A Carl Zeiss SMT Company, Industriestr. 1, D-64380 Rossdorf, Germany
c Molecular Imprints, Inc. 1807-C W. Braker Lane, Austin, TX 78758, USA


Vortrag von Jörg Butschke ^a

Mask patterning for the 22nm node using a proton multi-beam projection pattern generator

Mathias Irmscher ^a, Holger Sailer ^a, Hans Loeschner ^b, Lorenz Nedelmann ^a, and Elmar Platzgummer ^b
a IMS Chips, Allmandring 30a, D-70569 Stuttgart, Germany
b IMS Nanofabrication AG, Schreygasse 3, A-1020 Vienna, Austria


Vortrag von Florian Letzkus ^a

Deflection Unit for Multi-Beam Mask Making

Joerg Butschke ^a, Mathias Irmscher ^a, Michael Jurisch ^a, Elmar Platzgummer ^b
a IMS Chips, Allmandring 30a, D-70569 Stuttgart, Germany
b IMS Nanofabrication AG, Schreygasse 3, A-1020 Vienna, Austria


Weitere Informationen finden Sie unter: http://spie.org/photomask.xml

Ort: Monterey Marriott and Monterey Conference Center, CA, USA

IMS Newsletter 2/2008

26. September 2008

Unsere aktuelle Newsletter steht jetzt als als PDF-Dokument zur Verfügung.

Mit dem Newsletter 2/2008 möchten wir Sie über aktuelle Aktivitäten am Institut für Mikroelektronik Stuttgart informieren. Die Themen in der aktuellen Ausgabe sind:

MoDekt – Direktermittlung medizinischer Daten in der Arztpraxis
Die Ermittlung relevanter medizinischer Daten direkt in der Arztpraxis, im Rettungswagen oder bei chronisch kranken Patienten ist ein wichtiges Thema in der Medizintechnik (Point-of-Care Testing - POCT).
In dem vom BMBF geförderten Vorprojekt arbeiten Wissenschaftler der Universitäten Tübingen und Stuttgart (Institut für Physikalische Elektronik - IPE), die Ärzte des Zentrallabors der Uniklinik Tübingen und Mitarbeiter vom IMS gemeinsam an einer modularen Detektionsplattform für markierungsfreie, direkt optische Bioanalyseverfahren.

25 Jahre Institut für Mikroelektronik Stuttgart – Festakt im Haus der Wirtschaft
Am 18. Juli 2008 feierte das IMS im Haus der Wirtschaft in Stuttgart mit vielen Vertretern und Partnern aus Wirtschaft, Politik und Wissenschaft sein 25-jähriges Jubiläum.

MAGIC - Maskless Lithography for IC Manufacturing
Am 1. Januar 2008 startete das von der EU im 7. Rahmenprogramm geförderte Forschungsprojekt „MAGIC“ (MAskless LithoGraphy for IC Manufacturing) mit der Zielstellung, Pattern-Generatoren für das Direktschreiben im 32-nm-Lithografie-Node mit der dazugehörigen Infrastruktur in Europa zu entwickeln.

IdeenPark 2008 – Das IMS präsentierte sich unter dem Motto „Mikroelektronik zum Anfassen“
Auf spielerische und unterhaltsame Weise konnten Besucherinnen und Besucher die Welt der Mikroelektronik erkunden. Täglich waren etwa 1.200 Besucher auf dem Stand. Ein echtes SchlauLoPolis-Highlight war unser Experimentier-Labor mit den extra für den IdeenPark entwickelten „IMS Boards“ – robusten Elektronik-Baukästen, die einem Mikrochip nachempfunden wurden.

Den IMS Newsletter finden sie unter Publikationen - Aktuelle Publikationen.

Viel Spaß beim Lesen!

U.R.S.I. Kleinheubacher Tagung 2008

22. September 2008 - 25. September 2008

Das IMS ist mit zwei Vorträgen auf der "U.R.S.I. Kleinheubacher Tagung" in Miltenberg vertreten.

Vortrag J. Burghartz / 13:40 - 14:20 / 22.09.2008
"Ultra-thin Chips - a New Paradigm in Mikroelectronics"

Vortrag A. Asif; H. Richter; J. Burghartz / 11:40 - 12:00 / 23.09.2008
"High-voltage thin-film LDMOS transistor for integrated driver circuits in flexible displays"

Nähere Informationen zur "Kleinheubacher Tagung 2008" finden Sie unter http://meetings.copernicus.org.

Ort: Altes Rathaus, Hauptstr. 137, 63897 Miltenberg

IMS auf der Fachmesse Motek 2008

22. September 2008 - 25. September 2008

Das IMS ist auf der Fachmesse MOTEK im Rahmen einer Sonderschau "Intelligente Mechatronische Systeme" vertreten. Präsentiert wird die Möglichkeit, leistungsfähige ASICs kostengünstig auch in kleinen Stückzahlen vom IMS zu beziehen. Ein weiteres Highlight ist eine Industriekamera mit hochdynamischem Bildsensor, die u.a. zur Überwachung von Schweißvorgängen mit extremen Lichtverhältnissen geeignet ist.

Motek 2008 www.motek-messe.de

Ort: Stuttgart, Neue Messe, Halle 8 Stand 8528
Zeit: 9:00 - 17:00 Uhr
Kosten: 25,00 €

IISB Lithography Simulation Workshop

18. September 2008 - 20. September 2008

Das IMS ist mit einem Vortrag auf dem "6th Fraunhofer IISB Lithography Simulation Workshop" in Athen vertreten.

Vortrag Holger Sailer, 19.09.2008
"Determination of proximity effect correction parameters for fabrication of nanoimprint templates using variable shaped beam lithography"

Nähere Informationen zum "6th Fraunhofer IISB Lithography Simulation Workshop" finden Sie unter http://www.litho-workshop.de/cms/website.php

Ort: Hilton Hotel Athens, Greece
Zeit: 9:00

IMS dankt seinen SMC-Sponsoren 2008

04. August 2008

IMS dankt den Firmen, die 2008 den Laborkurs "Schülerinnen und Schüler machen Chips" finanziell unterstützt haben.

Weitere Informationen zum SMC-Kurs 2008 als PDF:
PM-SMC2008-Nachlese.pdf

SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips

14. Juli 2008 - 25. Juli 2008

Vom 14. bis 25. Juli findet am IMS wieder der zweiwöchige Sommerkurs "Schülerinnen und Schüler machen Chips" statt. Eine Mischung aus anspruchsvollen Vorlesungen und praktischen Übungen ermöglicht den Teilnehmern einen tiefen Einblick in die Welt der Mikroelektronik und die Entwicklung von mikroelektronischen Schaltungen mit Hilfe moderner Entwurfsprogramme. Der Kurs richtet sich an Oberstufenschüler an Gymnasien mit Begabung und Interesse für Naturwissenschaften, Mathematik und Informatik.

Weitere Informationen finden Sie unter
Schüler machen Chips

Ort: Allmandring 30a, 70569 Stuttgart
Zeit: 9:00 - 17:00 Uhr

25 Jahre Institut für Mikroelektronik Stuttgart

09. Juli 2008

Am 18. Juli 1983 wurde das Institut für Mikroelektronik Stuttgart gegründet. Es gehört zu den ersten Instituten, die zu Anfang der 80er Jahre in Europa gegründet wurden, um die heimischen Industrieunternehmen im Wettbewerb um Anteile am Mikroelektronik-Weltmarkt, insbesondere mit dem aufstrebenden Japan, nachhaltig unterstützen zu können.

Ausgestattet mit zunächst 90 Millionen DM, die Bund, Land und Industrie gemeinsam aufbrachten, wurde ein Gebäude im Allmandring auf dem Campus der Universität Stuttgart bezogen und direkt daneben in den Jahren 1985 bis 1986 ein für die damalige Zeit hochmoderner „Reinstraum“ errichtet. Der Reinraum mit der kompletten Geräteausstattung zur Herstellung und Untersuchung von Mikrochips war und ist in dieser Art einzigartig für ein Institut. Eine Spezialität des IMS ist die Fähigkeit, Mikrochips ohne Masken durch das „Direkt-Schreibe-Verfahren“ auch schon in kleinen Stückzahlen herstellen zu können. Das macht das IMS zu einem wichtigen Partner für kleine und mittlere Industrieunternehmen, deren Bedarfsmengen an Mikrochips naturgemäß kleiner sind als in der Großindustrie und die sonst keinen bezahlbaren Zugang zu „eigenen“ Mikrochips finden würden.

Auf den Tag genau nach 25 Jahren, am 18. Juli 2008 feiert das IMS mit vielen Vertretern und Partnern aus Wirtschaft, Politik und Wissenschaft sein 25-jähriges Jubiläum.

Weitere Informationen als PDF:

Festschrift-25-Jahre-Mikroelektronik

25-Jahre-IMS-Info

Riesenandrang am IMS-Stand beim IdeenPark 2008

09. Juni 2008

Unser Angebot "Mikroelektronik zum Anfassen" auf dem IdeenPark 2008 auf der Neuen Messe Stuttgart war täglich sehr gut besucht.
Alle Stationen waren ununterbrochen belegt, angefangen beim virtuellen Rundgang durch ein Haus auf der Suche nach Mikroelektronik im Alltag (Chips for Kids, siehe Link unten), über die Entdeckung der winzigen Strukturen von Mikrochips mit Freihand-Kamera-Mikroskopen bis hin zu unseren Experimentier-Boards, auf denen sich verschiedene Elektronik-Schaltungen auf einfache Weise "zusammenstöpseln" ließen.
Sehr gefreut hat uns die unglaubliche Begeisterung und das echte Interesse schon bei kleinen Besuchern. Der IdeenPark war für das IMS eine hervorragende Gelegenheit, seine Möglichkeiten im Bereich der Nachwuchsförderung anschaulich zu präsentieren. Zahlreiche Kontakte auch zu anderen Bildungseinrichtungen, wie z.B. dem Schülerforschungszentrum Bad Saulgau oder der Girls-Day-Initiative konnten geknüpft bzw. vertieft werden.

Online-Spiel "Chips for Kids"

ASIC-Workshop 2008

27. Mai 2008

Am 27. Mai findet unser diesjähriger ASIC-Workshop statt. Informationen über aktuelle Trends bei integrierten Schaltungen, Mikrocontrollern, FPGAs und ASICs. Innovative Chipgehäuse und Montagetechniken. Darstellung der neuesten Möglichkeiten mit der GATE FOREST^®-Technologie. Kostengünstige Chip-Entwicklung und Serienfertigung bedarfsgerecht für kleine und mittlere Unternehmen. Im Anschluss an den halbtägigen Workshop trifft sich der IMS–Förderverein, dazu bieten wir unverbindliche Erstberatungen zur Chipentwicklung an.

Weitere Informationen als PDF: IMS_ASIC_Workshop_08.pdf

Anmeldung: workshop@ims-chips.de

Ort: IMS, Stuttgart
Zeit: 9:00 - 18:00 Uhr

IMS beim IdeenPark 2008

17. Mai 2008 - 25. Mai 2008

Wie funktioniert ein Mikrochip? Was steckt dahinter? Wie werden diese Winzlinge hergestellt und welche Berufe gibt es auf diesem spannenden Technikgebiet?
Auf diese Fragen gibt es beim Erlebnisstand "Mikroelektronik zum Anfassen" ausführliche und verständliche Antworten.

Erfahrene Naturwissenschaftlerinnen, Ingenieure und frisch gebackene Hochschulabsolventen sowie bei IMS CHIPS lernende Auszubildende freuen sich, die neugierigen Fragen der jungen Besucherinnen und Besucher zu beantworten.

Weitere Informationen zum Ideen Park finden Sie im Internet unter http://www.zukunft-technik-entdecken.de

Ort: Neue Messe Stuttgart, Halle3 "SchlauLoPolis", Angebote ab 15 Jahre, Stand 3.12
Zeit: 10:00 - 18:00 Uhr
Kosten: Eintritt frei

HANNOVER MESSE Industrie, Halle 2 Stand C21

21. April 2008 - 25. April 2008

Besuchen Sie uns auf dem Gemeinschaftsstand Baden-Württemberg International Halle 2, Stand C21.

Wir informieren über die neuesten Entwicklungen der GATE FOREST^®-Technologie.

www.hannovermesse.de

Ort: HANNOVER MESSE, Halle 2, Stand C21

SPIE Photonics Europe 2008

07. April 2008

Das IMS ist mit einem Vortrag auf der Photonics Europe in Straßburg vertreten.

Vortrag Franz X. Hutter, 08.04.2008
"A new high speed thermal imaging concept based on a logarithmic CMOS imager technology"

Nähere Informationen zur "SPIE Photonics Europe" finden Sie unter www.spieeurope.org/exhibit.

Ort: Palais de la Musique et des Congrès, Straßburg, Frankreich

EU-Projekt MAGIC gestartet

28. März 2008

Die Weiterentwicklung der maskenlosen Lithografie für die IC-Herstellung ist das Thema des mit 11,7 Mio. Euro von der EU geförderten Forschungsprojekts “MAsk less lithoGraphy for IC manufacturing” (MAGIC).
Bei diesem maskenlosen Lithografieverfahren wird ein paralleler Elektronenstrahl mithilfe einer Lochplatte in tausende von Einzelstrahlen aufgeteilt. Anschliessend wird über eine zweite Aperturplatte, die als Ablenkeinheit fungiert, jede Einzelöfffnung über einen CMOS Chip angesteuert und auf „on“ bzw. „off“ geschalten. Über eine 200 x verkleinernde Projektionsoptik werden dann die die auf „on“ geschalteten Einzelaperturen in die Substratebene abgebildet.

Zwei Hauptziele sollen innerhalb der dreijährigen Projektlaufzeit realisiert werden:

- Entwicklung und Fertigung eines Alphatool zur maskenlosen Lithografie für den 32 nm Technologieknoten

- Entwicklung und Bereitstellung einer kompletten Infrastruktur in Europa für die maskenlose Lithografie

Aufgabe des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart ist die Entwicklung und Fertigung des oben beschriebenenn Elektroden-Arrays, zur Steuerung einzelner Elektronenstrahlen.

Presseartikel über MAGIC in Electronic Media -Semiconductor International

IMS Newsletter 1/2008

27. März 2008

Unsere aktuelle Newsletter steht jetzt als als PDF-Dokument zur Verfügung.

Mit dem Newsletter 1/2008 möchten wir Sie über aktuelle Aktivitäten am Institut für Mikroelektronik Stuttgart informieren. Die Themen in der aktuellen Ausgabe sind:

Zwei Präsentationen von IMS CHIPS auf der ISSCC-Konferenz in San Francisco Gleich mit zwei Präsentationen waren die Forscher von IMS CHIPS vertreten. In einem eingeladenen Vortrag wurde von Prof. Joachim Burghartz über die erstaunlichen Fähigkeiten moderner Bildsensoren berichtet, die von IMS CHIPS in langjähriger Forschungsarbeit entwickelt wurden. Ein weiterer Vortrag handelte von biegsamen Mikrochips. Es wurde gezeigt, wie belastbar ultradünne Mikrochips sein können, wenn man sie auf geeignete Folien aufzieht, um sie beispielsweise in flexible Produkte wie Geldscheine oder Textilien zu integrieren.

NANOIMPRINT TEMPLATES Die UV-Nanoimprint-Lithografie etabliert sich zunehmend als attraktive Technik, um kleinste Strukturen kosteneffektiv zu reproduzieren. IMS CHIPS nimmt als Partner des MEDEA+ Projektes FANTASTIC eine führende Rolle in diesem Forschungsbereich ein.

GATE FOREST^®–Technologie erweitert Die ASICs von IMS CHIPS genießen einen guten Ruf als robuste und zuverlässige Mikrochips in sicherheitskritischen Anwendungen und im Einsatz unter härtesten Weltraum-Bedingungen. Mit der GFQ-Familie bietet IMS CHIPS nun weitere leistungsfähige Chip-Master an, die neben einer stark vergrößerten Anzahl digitaler Gatter auch über zahlreiche analoge Zellen und speziell entwickelte RAM- und ROM-Speicher verfügen.

HDRC^®-Q-PyroCam – Fortschritte bei der Quotienten-Pyrometrie Dielektrische Interferenzfilter ersetzen optische Farbfilter bei Bildsensoren für bildgebende Temperaturstrahlungsmessverfahren. Die von IMS CHIPS entwickelten Bildsensoren lassen sich nicht nur in der konventionellen Bildverarbeitung einsetzen. Mit entsprechenden Adaptierungen können damit auch Temperaturverläufe auf Oberflächen gemessen und bildlich dargestellt werden.

Den IMS Newsletter finden sie unter Publikationen - Aktuelle Publikationen.

Viel Spaß beim Lesen!

Image Sensors Europe, Conference

19. März 2008 - 20. März 2008

Das IMS ist mit einem Vortrag auf der Image Sensors Europe in London vertreten.

Vortrag Markus Strobel, 20.03.2008
"High dynamic range (HDR) vision with logarithmic CMOS image sensors"

Nähere Informationen zur "Image Sensors Europe" finden in der Image Sensors WEB brochure.

Ort: Copthorne Tara Hotel, Kensington, London, UK

MicroTEC Südwest in der Finalrunde

11. März 2008

MicroTEC Südwest hat einen Etappensieg errungen und ist mit elf weiteren Antragstellern in die zweite Antragsrunde des Spitzencluster-Wettbewerbs des Bundesministerium für Bildung und Forschung gekommen!

Die wichtigsten Kriterien bei der Auswahl der Cluster waren bereits erreichten Entwicklungsstand insbesondere die Entwicklungspotenziale und die Entwicklungsdynamik sowie die Kreativität und Innovativität des strategischen Ansatzes.

Im September 2008 sollen die Gewinner der zweiten Wettbewerbsrunde feststehen. Das BMBF wird bis zu fünf Cluster über einen Zeitraum von maximal fünf Jahren bei der Umsetzung ihrer Strategien fördern und stellt dafür insgesamt bis zu 200 Millionen Euro bereit.

Weitere Informationen zum Spitzencluster-Wettbewerb sowie zu den ausgewählten Bewerbern für die zweite Stufe finden Sie im Internet unter www.microtec-suedwest.de und www.bmbf.de.
Quelle:MicroTEC Südwest

Das IMS ist an MicroTEC Südwest mit der Entwicklung einer Produktionsplattform für ultradünne Mikrochips und deren Anwendung in komplexen, hybriden Mikrosystemen beteiligt.

Zur Vorbereitung der Antragstellung findet am Montag, dem 7.4.2008 von 14 -18 Uhr am IMS ein Workshop statt.

Informationen und Anmeldung bei Dr. Christine Harendt.

hema präsentiert "seelector ICAM" mit HDRC^® Bildsensor

04. März 2008

Schweißen live mit seelector ICAM weld

Die Kombination einer intelligenten Kamera mit einem digitalen Hochleistungssensor ist der Schlüssel zum Erfolg.
Die Kamera seelector ICAM weld erlaubt mit dem vom IMS entwickelten hochdynamischen HDRC^®-Sensor und ihrer intelligenten Bildaufbereitung die gleichzeitige Kontrolle mehrerer Schweißprozeßabschnitte.

Erfahren Sie mehr über die seelector ICAM weld für Ihre Laserschweißanwendungen bei der LASYS 2008, vom 04.-06. März 2008 in Stuttgart.

Weitere Informationen zur seelector ICAM weld finden sie bei der Firma hema http://www.hema.de
oder in der hema newsletter 07-2008.

Ort: Stuttgart, Neue Messe, Halle 4 / Stand C71

IMS CHIPS auf der SPIE Advanced Lithography 2008

24. Februar 2008 - 29. Februar 2008

Hochauflösende Nano-Imprint-Templates für "Dual-Damascene"-Anwendungen sind das Thema eines Vortrags von Dr. Mathias Irmscher auf der wichtigsten internationalen Konferenz für Lithografie in der Halbleiter-Industrie in San Jose.
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart leistet bei der Erforschung und Weiterentwicklung modernster Herstellungsverfahren für Mikrochips wesentliche Beiträge. Ein vielversprechender Ansatz in der "next generation lithography" zur rationellen Herstellung von komplexen Schaltungsstrukturen ist die Nano-Imprint-Methode. Hierbei werden mittels einer Prägetechnik Strukturen im Nanometerbereich erzeugt, ähnlich einem strukturuerten Stempel.

Der Vortrag
"High Resolution Nanoimprint Templates for Dual Damascene – Fabrication and Imprint Results "

Die Autoren
Mathias Irmscher, Joerg Butschke, Corinna Koepernik, Lorenz Nedelmann, Marcus Pritschow, Christian Reuter, Holger Sailer, IMS Chips, Stuttgart, Deutschland;
Jordan Owens, Ken Sotoodeh, Ron Carpio, Bruce Wilks, Jeff Wetzel, ATDF Inc. Austin, TX, USA;
Brook Chao, Frank Palmieri, Wei-Lun Jen, C. Grant Willson, University of Texas, Austin, TX, USA.


Weitere Informationen finden Sie unter: spie.org/advanced-lithography.xml

Ort: Convention Center, San Jose, California, USA

Neue GFQ-Master

05. Februar 2008

Für die GATE FOREST^® ASIC-Familie sind nun zwei neue Master verfügbar.

Der GFQ010 mit 10.000 Gattern ermöglicht deutliche kostengünstigere ASICs gegenüber Chips, die auf dem bisherigen GFN012-Master (ebenfalls 10.000 Gatter) basierten, da durch verkleinerte Strukturen die Chipfläche von 23 mm² auf 11 mm² verringert werden konnte, dabei bleibt die 3,3V / 5V-Kompatibilität voll erhalten. 
Ein weiterer Master, der GFQ060 mit 60.000 Gattern entspricht von der Chipfläche einem GFN024 (20.000 Gatter) und bietet zusätzlich die Möglichkeit zur Realisierung umfangreicher vielseitiger Analogfunktionen und optimierter RAM-Strukturen.
Nach Abschluss der Qualifizierung stehen beide Mastertypen für Entwicklung und Serienfertigung von anwendungsspezifischen ICs am IMS zur Verfügung.

ISSCC International Solid-State Circuits Conference 2008

03. Februar 2008 - 07. Februar 2008

Das IMS ist mit 2 Vorträgen auf der ISSCC in San Francisco vertreten.


SESSION 7 – ELECTRONICS FOR LIFE SCIENCES

7.4 CMOS Imager Technologies for Biomedical Applications
J. Burghartz, T. Engelhardt, H-G. Graf, C. Harendt, H. Richter, C. Scherjon, K. Warkentin

Two CMOS imager chips are described. The first is a sub-retinal implant, being the only imager chip ever implanted into a human eye that partially restores vision to a blind patient. The second is a miniature imager chip, based on a thin-film-on-CMOS (TFC)pixel technology provides an optimum trade-off between sensitivity and pixel size.

Monday, February 4th, 3:15 PM


SESSIONS 18 – MOS MEDLEY

18.3 Ultra-Thin Chips on Foil for Flexible Electronics
H. Rempp, J. Burghartz, C. Harendt, N. Pricopi, M. Pritschow, C. Reuter, H. Richter, I. Schindler, M. Zimmermann

Complex digital and mixed-signal circuits on 20μm-thin CMOS chips attached to foil and exposed to mechanical strain are demonstrated. The piezoelectric effect in the CMOS transistors will reduce the parametric yield in circuit designs based on tight process variations. Suppression of the effect is achieved by layout optimization, cancellation techniques or widening of the process corners.

Tuesday, February 5th, 4:15 PM

Weitere Informationen finden Sie unter:
www.miracd.com/isscc2008/WebAP2008

Pressebericht zum Vortrag "Retina-Chip"

Pressebericht zum Vortrag "Chipfilm"

Ort: Marriott Hotel, San Francisco, CA, USA

Abschlussveranstaltung: "VIP - Von der Idee zum Produkt"

14. Januar 2008

Gemeinsam mit dem EAZ Aalen und mehreren kleinen und mittleren Unternehmen hat das IMS einen Leitfaden für Firmen zur Unterstützung bei der innovativen Produktentwicklung erstellt.
Bei der Abschlussveranstaltung am 15. Januar in Aalen werden die Ergebnisse vorgestellt.

Pressebericht zur VIP Abschlussveranstaltung

Nähere Informationen über den VIP-Leitfaden unter http://vip.eaz-aalen.de

Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2008

16. Dezember 2007

IMS Weihnachtskarte 2007.jpg

Bundeskriminalamt veröffentlicht IMS-Abschlussbericht „Authentizität digitaler Bilder II"

10. Dezember 2007

Das Institut für Mikroelektronik in Stuttgart (IMS) wurde mit der Realisierung des Demonstrators einer Digitalkamera mit Signaturkomponente auf der Basis elektronischer Signaturen beauftragt. Vorangegangen war eine Studie der Fraunhofer-Gesellschaft. Das Projekt diente dazu, die Realisierbarkeit einer Digitalkamera nachzuweisen, deren digitale Bilder quasi fälschungssicher sind. Mit Hilfe einer automatisch den Bilddaten hinzugefügten elektronischen Signatur gemäß Signaturgesetz, kann jeder Manipulationsversuch an den Bilddaten nachgewiesen werden. Dies ist wichtig, wenn digitale Fotos als Beweismittel verwendet werden sollen.

Weitere Informationen finden Sie unter: http://www.bka.de

ABBILD - BMBF-Projekt erfolgreich abgeschlossen

30. November 2007

Das im Jahr 2003 gestartete und vom BMBF mit insgesamt mit 63,3 Mio. Euro geförderte Projekt ABBILD ist mit Erfolg abgeschlossen worden.
Das Projekt, an dem das Institut für Mikroelektronik Stuttgart beteiligt war, führte zu einzigartigen technologischen Fortschritten in den Bereichen Chip-, Tool-, Masken- und Softwareentwicklung.

Die Pressemitteilung zum Projekt ABBILD als PDF: ABBILD_Abschluss_07_11_29.pdf

Weitere Informationen finden Sie unter:
www.nano-abbild.de

Innovation Fair & Congress 07

29. November 2007

Am 29. November findet die "Innovation Fair & Congress 07" in der neuen Messe in Stuttgart statt. Die "Innovation Fair & Congress 07" wird von Baden-Württemberg: Connected, dem Kompetenznetz Mechatronik und Photonics BW veranstaltet.

Erwartet werden ein hochkarätiges Fachpublikum aus der Praxis sowie Unternehmen aus allen Branchen, die ihre innovativsten Produkte, Prozesse und Services präsentieren.

Unter der Schirmherrschaft von Forschungsminister Frankenberg berichten Experten anhand von Best-Practice-Beispielen, wie Unternehmen ihre Innovationsprozesse für einen nachhaltigen Wettbewerbsvorteil steuern. Im Anschluss an den Kongress präsentieren rund 50 Aussteller ihr Ideen aus den Bereichen Produkte, Prozesse und Service auf der bwcon:Innovation Fair. Die Messe soll eine interdisziplinäre Plattform bieten, um sich über neue Ideen und Möglichkeiten zu informieren, auszutauschen und in einen branchenübergreifenden Dialog zu treten. Alle ausgestellten Innovationen werden von den Teilnehmern bewertet. Die Besten werden mit dem von Agilent Technologies gesponserten "Best Innovation Award 2007" ausgezeichnet.

Nähere Informationen zur "Innovation Fair & Congress 07" finden im Flyer Innovation Fair.

Ort: ICS Internationales Congresscenter Stuttgart, Messepiazza, 70629 Stuttgart
Zeit: 9:00 - 17:30 Uhr
Kosten: 140,- Euro

IMS auf der VDE Mess- und Automatiserungstechnik

27. November 2007 - 28. November 2007

Am Mittwoch, 28. November 2007

10:00 Uhr Posterpräsentationen im Rahmen der Sitzung 5: Deflektrometrie

HDRC-Quotienten-PyroCam – Anwendung des HDRC-Prinzips in der bildgebenden Temperaturmesstechnik
Dipl.-Phys. Franz X. Hutter, Dipl.-Ing. Daniel Brosch, Dipl.-Phys. Heinz-Gerd Graf, IMS-Chips Stuttgart

Weitere Informationen finden Sie unter: http://www.vdi-wissensforum.de/

Ort: Kolpinghaus Regensburg, Adolph-Kolping-Str. 1, 93047 Regensburg
Zeit: 8:30 - 18:00 Uhr

Photonik-Artikel über Thin-Film-on-CMOS

15. November 2007

Die Fachzeitschrift für die Optischen Technologien, Photonik, hat in seiner aktuellen Ausgabe 5/2007 einen Artikel über das am IMS entwickelte Verfahren veröffentlicht: "Thin-Film-on-CMOS - verbesserte Bildsensoren für spezielle Anwendungen"

Link zum Artikel als PDF
www.photonik.de

Mikroelektronik Technologie Seminar

09. November 2007 - 24. November 2007

Das erfolgreiche Seminar "Mikroelektronik-Technologie" wird regelmäßig mit Teilnehmern aus Industrie und Hochschule durchgeführt.
Das Mikroelektronik-Technologie-Seminar bietet eine fundierte und praxisbezogene Einführung in die Herstellung von Mikrochips und die besonderen Aspekte beim Test mikroelektronischer Schaltungen sowie dem Verpacken der Chips in IC-Gehäuse.
Der Kurs wendet sich an Elektronik-Entwickler und Entscheider aus dem industriellen Umfeld.

Nähere Informationen zum Intensiv-Kurs finden sie unter Arbeitsgebiete - Mikroelektronik Seminare

Anmeldung: http://www.tae.de


Termin: 09.11. - 10.11. / 23.11. - 24.11. 2007

Ort: Allmandring 30a, 70569 Stuttgart

IMS auf der VISION 2007 in Stuttgart

06. November 2007 - 08. November 2007

Wir präsentieren auf der 20. Internationalen Fachmesse für industrielle Bildverarbeitung und Identifikation die neue HDRC^® Q-PYRO CAM und weitere HDRC^® Kamera-Anwendungen.
Ein weiteres Highlight auf unserem diesjährigen Messestand ist das von der Firma Pilz GmbH & Co KG aus Ostfildern entwickelte und mit HDRC-Sensoren ausgestatte Produkt SafetyEye^®, das erste sichere Kamerasystem zur dreidimensionalen Raumüberwachung.
Weitere Informationen zu SafetyEYE^® finden Sie unter Arbeitsgebiete - Industrieanwendungen

VISION 2007 cms.messe-stuttgart.de

Ort: Stuttgart, Neue Messe, Halle 2.0 Stand 2A02
Zeit: 9:00 - 17:00 Uhr
Kosten: 10 EUR inkl. MwSt

5th Workshop "Masks and More" 2007

26. Oktober 2007

Der diesjährige Lithografie-Workshop findet am 26. Oktober statt. Das Programm und das Anmeldeformular stehen ab sofort zur Verfügung.

Ort: IMS Stuttgart

SPIE Photomask Technology 27th Annual Symposium (BACUS 2007)

17. September 2007 - 21. September 2007

Vortrag von Marcus Pritschow

Fabrication of nano-imprint templates for Dual-Damascene applications using a high-resolution varable shape e-beam writer

Marcus Pritschow, Joerg Butschke, Mathias Irmscher, Holger Sailer, Institut für Mikroelektronik Stuttgart (Germany); Doug Resnick, Ecron Thompson, Molecular Imprints, Inc



Poster von Jörg Butschke

Resistless mask structuring using an ion multi-beam projection pattern generator

Joerg Butschke, Mathias Irmscher, Florian Letzkus, Institut für Mikroelektronik Stuttgart (Germany); Hans Loeschner, IMS Nanofabrication AG (Austria); Lorenz Nedelmann, Institut für Mikroelektronik Stuttgart (Germany); Elmar Platzgummer, IMS Nanofabrication AG (Austria)


Weitere Informationen finden Sie unter: http://spie.org/photomask.xml

Ort: Monterey, CA, USA

Verbundprojekt Chipfilm gestartet

28. August 2007

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) hat in Zusammenarbeit mit dem Institut für Physikalische Elektronik (ipe) ein neues Verfahren zur Herstellung sehr dünner Siliziumchips entwickelt.

Diese Siliziumbauteile werden im Projekt Chipfilm auf ihre elektrischen, optischen, mechanischen und thermischen Eigenschaften untersucht.

In Zusammenarbeit mit den Partnerfirmen soll festgestellt werden, ob das neue Verfahren in einer industriellen Prozesslinie eingesetzt werden kann.

Weitere Informationen finden Sie unter
http://chipfilm.ims-chips.de

IMS dankt seinen SMC-Sponsoren 2007

01. August 2007

IMS dankt den Firmen, die 2007 den Laborkurs "SSchülerinnen und Schüler machen Chips" finanziell unterstützt haben.

SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips

16. Juli 2007 - 27. Juli 2007

Im 16. Jahr findet dieser 14-tägige Laborkurs für Schülerinnen und Schüler am Ende der 11. bzw. 12. Klasse mit wesentlich erneuertem Programm statt: Die Systematik der Vorlesungen über Elektronik und Chip-Design ist auf neue CAD-Tools umgestellt und neue Einheiten zum PC-basierten Selbstlernen werden erprobt. Die Hardware-Plattform IC Lab ist flexibel programmierbar für interessante Versuche und Projekte. Die nachhaltige Zusammenarbeit mit Lehrern und Schulen wird ausgebaut.

Weitere Informationen finden Sie unter
Schüler machen Chips

Schon 450 Schülerinnen und Schüler von fast 90 Schulen haben bisher an diesem Laborkurs teilgenommen.
Wir laden deshalb alle Ehemaligen herzlich zu einem
Ehemaligentreffen am Freitag, den 27. Juli 2007 ab 14.30 Uhr, ein.

Als besondere Attraktion stellen Studierende der Hochschule Esslingen ihr Projekt Formula Student vor www.rennstall-esslingen.de.

Wir würden uns sehr freuen, wenn Sie kommen könnten. Bitte geben Sie uns baldmöglichst eine Rückmeldung per
E-Mail oder mit diesem Formblatt.

Ort: Allmandring 30a, 70569 Stuttgart
Zeit: 9:00 - 17:00 Uhr

HyperBraille – Neuartige Computer-Bedienoberfläche

09. Juli 2007

Mit der Entwicklung einer neuartigen Bedienoberfläche für Computer wird es künftig für blinde und hochgradig sehbehinderte Menschen möglich sein, auch grafische Darstellungen, wie sie heute bei Computersoftware verbreitet sind, nutzen zu können.
Im Projekt HyperBraille wird ein hochauflösendes taktiles Display entwickelt. Dazu werden tausende winziger Taststifte auf einer Fläche angeordnet und von einer Steuerung piezoelektrisch angehoben und somit tastbar gemacht.
HyperBraille geht sogar noch weiter und bietet die Möglichkeit der Interaktion: das HyperBraille-Display erkennt, wo der Benutzer das Display mit den Fingern berührt und meldet dies an den Computer zurück. Damit kann z.B. das „Anklicken“ einer Schaltfläche in Windows-Anwendungen ausgeführt werden.
IMS CHIPS entwickelt und liefert ASICs zur Steuerung der Taststifte und zur Erkennung der Fingerposition an den Konsortialführer Metec AG aus Stuttgart, die auf dem Gebiet der Braille-Module eine führende Rolle innehat.

Das Projekt wird im Rahmen des Programms „Next Generation Media“ vom Bundesministerium für Wirtschaft und Technologie gefördert.

TerraSAR-X erfolgreich gestartet – mit dabei sind Mikrochips aus Stuttgart

15. Juni 2007

Vom Weltraumbahnhof Baikonur in Kasachstan ist am 15. Juni der deutsche Radarsatellit TerraSAR-X ins Weltall gebracht worden.
Mit an Bord sind mehrere Mikrochips, die am Institut für Mikroelektronik Stuttgart entwickelt und produziert worden sind. Im Gegensatz zu den Anforderungen auf der Erde, sind die Umgebungsbedingungen für Elektronik im Weltraum extrem: Hitze, Kälte, Strahlung, Vibrationen, starke Beschleunigung und der luftleere Raum stellen die aufwendige Bordelektronik von Satelliten auf die Probe. Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart mit Sitz in Stuttgart-Vaihingen ist seit langem Spezialist für Mikrochips und Sensoren für besondere Bedingungen. Im Auftrag der Hersteller des TerraSAR-X, dem Deutschen Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR) und dem führenden europäischen Hersteller von Weltraumsatelliten, der EADS-Astrium GmbH, haben die Stuttgarter mehrere komplexe Mikrochips entwickelt und produziert.
Die Chips wurden erfolgreich für die strengen Anforderungen im Weltraum qualifiziert und sind nun an Bord von TerraSAR-X im Einsatz.

Weitere Informationen über TerraSAR-X finden Sie unter
www.terrasar.de

Nanoimprint Lithografie - Projekt FANTASTIC

14. Juni 2007

Die Nanoimprint Lithografie ist ein potenzieller Kandidat für die Next Generation Lithography (NGL) der Mikroelektronik. Auf Grund der Vorteile bezüglich Auflösung und Kosteneffizienz wurde sie auch in die Semiconductor Technology Roadmap (ITRS) für den 32 nm Knoten und darunter aufgenommen.
Das MEDEA⁺ FANTASTIC-Projekt zielt auf die Entwicklung und Bewertung der UV-Nanoimprint Lithografie für hohe Auflösung und hohen Durchsatz in der Mikroelektronik. Dazu werden alle Aspekte dieser Technologie untersucht, von den Imprint Tools über die Herstellung der Templates bis zur CMOS-Integration.
Das IMS ist verantwortlich für den Fertigungsprozess der Nanoimprint-Templates.

Weitere Informationen finden Sie unter www.fantastic-project.org

IMS CHIPS auf der MiNaT 2007

12. Juni 2007 - 14. Juni 2007

Die neue Messe Stuttgart stellt den Rahmen für die ebenfalls neue Internationale Fachmesse für Feinwerktechnik, Ultrapräzision, Micro- und Nano-Technlogien, kurz MINAT.

Wir präsentieren hauchdünne Mikrochips, mikromechanische Komponenten aus Silizium und Entwicklungen aus der Mikrohandhabungstechnik.

MiNaT, Messe Stuttgart, 12.-14.06.2007

http://www.messe-stuttgart.de/minat/

Kongressprogramm 13. SENSOR Kongress bei der Sensor + Test 2007

22. Mai 2007

Vortrag von EAZ Aalen und IMS mit dem Thema "SensorLab: blended learning im Bereich der Sensorik"

K. Meißner, EAZ Aalen; E. Futterer, Institut für Mikroelektronik Stuttgart

Der Vortrag findet in der Sondersession S1: "Innovative Ausbildungskonzepte" statt.

Weitere Informationen finden Sie unter www.sensorfairs.de

Ort: Nürnberg, CCN1, Raum Istanbul
Zeit: 11:15
Kosten: Eintritt frei

6. Mechatronik-Tag in Göppingen

09. Mai 2007

Am 9. Mai lädt das Kompetenznetzwerk Mechatronik zum sechsten Mal zum Mechatronik-Tag nach Göppingen ein.
Die Veranstaltung steht unter dem Motto "Erfoglsfaktor Technologietransfer". Anhand von Best-Practice Beispielen werden Erfolgsfaktoren für gelungene Kooperationsprojekte von Industrieunternehmen und Hochschul- bzw. Forschungsinstituten aufgezeigt.
Der Mechatronik-Tag richtet sich primär an Unternehmer,Geschäftsführer sowie leitende Angestellte aus den Bereichen Entwicklung, Forschung und Technik. Baden-Württembergs Wissenschaftsminister Dr. Peter Frankenberg eröffnet die Veranstaltung, neben weiteren hochrangigen Vertretern berichtet das Institut für Mikroelektronik Stuttgart über "Mikroelektronik als Innovationsmotor für den Mittelstand" anhand beispielhafter Technologietransfers.
Ein Informationsstand des Instituts bietet die Möglichkeit, sich im Detail über die Möglichkeiten der Zusammenarbeit zwischen Forschung und Wirtschaft zu informieren.

Weitere Informationen finden Sie in dem PDF: mechatronik0307-02.pdf

Ort: Göppingen
Zeit: 13:00 - 18:00 Uhr

Photomask Japan 2007

17. April 2007 - 20. April 2007

Vortrag von Jörg Butschke
3D Template fabrication process for the Dual Damascene NIL approach
Joerg Butschke a, Mathias Irmschera, Douglas Resnick b, Holger Sailer a, Ecron Thompson b
a IMS Chips, Allmandring 30a, D-70569 Stuttgart, Germany
b Molecular Imprints, Inc. 1807-C W. Braker Lane, Austin, TX 78758, USA


Poster von Florian Letzkus
Dry Etch Behaviour of Different TaN Absorber Layers for EUVL Mask Making
Florian Letzkus*a, Günther Hess b, Mathias Irmscher a, Konrad Knapp b, Markus Renno b, Eugen Röhrle a, Holger Seitz b

Weitere Informationen finden Sie unter www.photomask-japan.org

Ort: Yokohama

HANNOVER MESSE Industrie, Halle 2 Stand C19

16. April 2007 - 20. April 2007

Besuchen Sie uns auf dem Gemeinschaftsstand Baden-Württemberg International Halle 2, Stand C19.

Wir stellen einige hochinteressante Entwicklungen aus dem Bereich Mikroelektronik für Weltraum-Anwendungen vor sowie neuartige Sensoren zur berührungslosen Temperaturmessung mit extrem hoher Temperaturbandbreite.

www.hannovermesse.de

Erfolgreiches Forschungsprojekt für Nachtsichtsysteme

05. April 2007

Nachtsichtsysteme im Auto-Cockpit sorgen für mehr Sicherheit, denn sie liefern Fahrerinnen und Fahrern auch bei Dunkelheit ein genaues Bild der Situation vor dem Fahrzeug.
Um bestehende Systeme zu optimieren, förderte das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) die Entwicklung einer warnenden Fahrhilfe.
Projektpartner im Projekt NIRWARN sind das Institut für Mikroelektronik Stuttgart, die DaimlerChrysler AG, die Docter Optics GmbH und die Robert Bosch GmbH.
Das Projekt steht kurz vor dem Abschluß, erste vielversprechende Ergebnisse wurden am 4. April vom Konsortium bei einer Tagung am Institut für Mikroelektronik Stuttgart präsentiert.

Weitere Informationen finden Sie unter www.bmbf.de/de/6107.php

Wir stellen erstmals unseren IMS Newsletter vor

02. April 2007

Mit dem Newsletter 1/2007 möchten wir Sie über herausragende Aktivitäten am Institut für Mikroelektronik Stuttgart informieren. Die Themen in der aktuellen Ausgabe sind:

Hauchdünne Chips, sicher prozessiert
Ein neues Fertigungsverfahren ermöglicht ultradünne flexible Mikrochips.
IMS CHIPS stellt erstmals Chips mit 20 Mikrometern Dicke her.

Schnelle Mikrogreifer
Handhabungstechnik für Mikrobauteile setzt auf schnelle Magnetventile und kompakte Modulbauweise dank ASIC-Technologie von IMS CHIPS

SafetyEye^®
Die Firma Pilz sorgt mit SafetyEYE^® für Aufsehen in der Fachwelt und verwendet HDRC-Bildsensoren von IMS CHIPS in Ihrem neuen BG-zugelassenen Gefahrenerkennungssystem.

Kleinste Endoskopkamera vorgestellt
Im Rahmen des europäischen Forschungsprojekts "IVP" hat IMS CHIPS gemeinsam mit der Firma Storz und weiteren Partnern eine winzige Endoskop-Kamera entwickelt.
Sie basiert auf einem IMS HDRC^® -Bildsensor mit nur 3mm Durchmesser.

Den IMS Newsletter finden sie unter Publikationen - Aktuelle Publikationen.

Herzlich willkommen nach dem Relaunch

14. März 2007

Wir haben unsere IMS-Website neu gestaltet und aktualisiert.
Unter dem Motto: "Heller, schneller, aktueller" haben wir unseren Webauftritt mit neuem Layout und aktuell überarbeiteten Inhalten für Sie neu gestaltet.

33. Bildverarbeitungsforum in Mannheim

06. März 2007

Beitrag von IMS mit dem Thema "Hochdynamische Bildaufnahme mit logarithmischen CMOS Bildsensoren"

Weitere Informationen finden Sie unter www.bv-forum.de

Ort: John Deere Werke Mannheim
Zeit: 13:00 - 18:00 Uhr

Neuer Internetauftritt

04. März 2007

Ab dem 12. März sind die vollständig überarbeiteten Webseiten des Institut für Mikroelektronik Stuttgart online. Die neuen Seiten sind übersichtlicher und erlauben schnelleren und flexibleren Zugriff zu allen Informationen über die Angebote und Leistungen des Instituts.

VIP Innovations-Workshop

01. März 2007

Ort: Fraunhofer-IAO/IAT,Nobelstr. 12, 70569 Stuttgart Gebäude G (Turm 1) Raum 101 ServLab
Zeit: 10:00 - 15:00 Uhr

SPIEGEL-Artikel über HDR-Fotografie

01. März 2007

Der SPIEGEL hat in seiner Ausgabe 7/2007 einen Artikel über HDR-Fotografie veröffentlicht. Darin wird das Institut für Mikroelektronik zitiert, das mit seiner seit 1992 patentierten HDRC-Technolgie das aktuelle HDR-Thema für industrielle Anwendungen schon vorweggenommen hatte.

Retina Implantat

22. Februar 2007

Der von IMS CHIPS entwickelte Chip ist ein wesentliches Element des subretinalen Netzhaut-Implantats, dass Menschen eingepflanzt werden soll, die wegen degenerativen Netzhauterkrankungen erblindet sind .Erste Ergebnisse zeigen generell die Machbarkeit einer solchen Behandlung.

Weitere Informationen finden sie im PDF: Lichtblick_fuer_Blinde.pdf

SafetyEYE^® - sicher sehen mit HDRC^® -Bildsensor

22. Februar 2007

Das erste sichere Kamerasystem, das sowohl gefahrbringende Arbeitsprozesse zum Schutz von Mensch und Maschine sicher überwacht und steuert als auch Objekte vor unbefugtem Zugriff schützt. SafetyEYE^® ist ein sicheres Kamerasystem, das von der Pilz GmbH & Co. KG aus Ostfildern gemeinsam mit DaimlerChrysler entwickelt wurde. Speziell für Pilz hat das Institut für Mikroelektronik Stuttgart einen neuen HDRC^®-Bildsensor entwickelt und um neue Sicherheits-Features erweitert.

Weitere Informationen finden Sie unter www.pilz.de

Mikroelektronik Technologie Intensivkurs am IMS

19. Februar 2007 - 22. Februar 2007

Der erfolgreiche Intensivkurs "Mikroelektronik-Technologie" wird regelmäßig mit Teilnehmern aus Industrie und Hochschule durchgeführt.
Nähere Informationen zum Intensiv-Kurs finden sie unter Arbeitsgebiete - Mikroelektronik Seminare

Ort: Allmandring 30a, 70569 Stuttgart
Zeit: 9:00 - 17:00 Uhr

Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2007

14. Dezember 2006

Neues Verfahren zur Herstellung dünner Mikrochips präsentiert

12. Dezember 2006

IMS CHIPS hat in Zusammenarbeit mit dem Institut für Physikalische Elektronik (IPE) der Universität Stuttgart ein neues Verfahren zur Herstellung von extrem dünnen Chips entwickelt und es im Rahmen des International Electron Devices Meeting IEDM in San Francisco am 12. Dezember 2006 präsentiert.

Weitere Informationen finden Sie unter
Kompetenzen - Dünnschicht Silizium

International Electron Devices Meeting

11. Dezember 2006

IMS und IPE präsentieren neues Verfahren zur Herstellung ultra-dünner Chips auf der IEDM 2006 in San Francisco.

Ort: Hilton San Francisco and Towers San Francisco, CA, USA

Best Paper Award auf der Photomask Japan 2006

21. November 2006

In einer Zusammenarbeit von Schott Lithotec, Meiningen, Zeiss SMS, Oberkochen, IMEC, Belgien und dem Institut für Mikrolelektronik Stuttgart wurden phasenschiebende Fotomasken (PSM) auf der Basis eines neuen Zwischenschichtmaterials bestehend aus Ta/Sio2 gefertigt und bewertet. Das Paper „Comparative Study of Bi-Layer Attenuating Phase-Shift Mask for Hyper-NA Lithography“ erhielt dafür den Best Paper Award auf der Photomask Japan 2006.

Brilliante Filmaufnahmen mit hochdynamischer digitaler Filmkamera, optimierter Signalverarbeitung und Wiedergabe mit neuartigem Display

21. November 2006

Verglichen mit der visuellen Wahrnehmungsfähigkeit des Menschen sind bisherige digitale Kameras und Displays in ihrer Aufnahme- und Wiedergabemöglichkeit bei der Helligkeitsdynamik und dem Farbumfang begrenzt. Kameras mit den am IMS entwickelten hochdynamischen HDRC^® (High Dynamic Range CMOS) Bildsensoren ermöglichen die Liveaufzeichnung von Szenen unter extremen Beleuchtungssituationen. Durch die Kombination aus HDRC^® Bildsensorik, Bildverarbeitungsalgorithmen und einem neuartigen Display kann erstmals der komplette Helligkeits- und Farbumfang aufgenommen und wiedergegeben werden.

Weitere Informationen finden sie im PDF: vdi-Nachr_038_2006-S11_K.pdf

Workshop ''Mikrohandhabung''

31. Oktober 2006

Präsentation der Ergebnisse des BMBF-Förderprojekts ''Mikrohandhabung''

Weitere Informationen finden sie im PDF: Abschlussworkshop_MH_2006.pdf

Ort: Institut für Mikroelektronik Stuttgart
Kosten: 45 EUR

Lithografie-Workshop 2006

27. Oktober 2006

Der diesjährige Lithografie-Workshop findet am 27. Oktober statt. Das Programm und das Anmeldungformular stehen ab sofort zur Verfügung.

Ort: IMS Stuttgart

IMS auf der VISION 2006 in Stuttgart

23. Oktober 2006 - 09. November 2006

IMS präsentiert auf der 19. Internationale Fachmesse für industrielle Bildverarbeitung und Identifikation die neuesten HDRC Kameras und Anwendungen.

Ort: Stuttgart, Halle 1.0 Stand 1.0.111
Zeit: 9:00 - 17:00 Uhr
Kosten: 10 EUR inkl. MwSt

IMS dankt seinen SMC-Sponsoren 2006

01. Oktober 2006

IMS dankt den Firmen, die 2006 den Laborkurs "Schülerinen und Schüler machen Chips" finanziell unterstützt haben.

MDgt. Günther Leßnerkraus neuer Vorsitzender des Kuratoriums

01. Oktober 2006

Seit dem 1. Oktober 2006 ist Herr MDgt. Günther Leßnerkraus Vorsitzender des Kuratoriums des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS). Er ist Nachfolger von Herrn MDgt. Dr. Armin Tschermak von Seysenegg. Die Mitarbeiter des IMS danken Herrn Dr. Armin Tschermak für die langjährige engagierte Unterstützung.

Vortrag: Fortschritte mit drahtlosen, energieautarken Bildsensoren

14. September 2006 - 15. September 2006

Auf dem 4 GMM Workshop des VDE/VDI zur Energieautarken Sensorik am 14.-15.September 2006 in Karlsruhe berichtet Dr. C. Harendt über die Fortschritte mit drahtlosen, energieautarken Bildsensoren für die medizinische Diagnostik.

Mikroelektronik Technologie - Intensivkurs am IMS

31. Juli 2006 - 08. August 2006

Der Kurs gibt einen umfassenden Einblick in Herstellung, Test und Verpackung von integrierten Schaltkreisen.

Ort: Allmandring 30a, 70569 Stuttgart

''Schüler machen Chips''

24. Juli 2006 - 04. August 2006

Im 15. Jahr findet dieser 14-tägige Laborkurs für Schülerinnen und Schüler am Ende der 11. bzw. 12. Klasse mit wesentlich erneuertem Programm statt: Die Systematik der Vorlesungen über Elektronik und Chip-Design ist auf neue CAD-Tools umgestellt und neue Einheiten zum PC-basierten Selbstlernen werden erprobt. Die Hardware-Plattform IC Lab ist flexibel programmierbar für interessante Versuche und Projekte. Die nachhaltige Zusammenarbeit mit Lehrern und Schulen wird ausgebaut.

Weitere Informationen finden Sie unter
Kompetenzen - Schüler machen Chips

''Sensorik - Der Weg in die Zukunft''

22. Mai 2006

SensorLab die innovative Lernplattform von IMS und EAZ zum Thema Sensorik wird in der Ausgabe I/2006 von ''Sensorik aktuell'' des AMA Fachverband für Sensorik e.V. vorgestellt.

Messe Control Sinsheim

09. Mai 2006 - 12. Mai 2006

IMS nimmt an der Sonderschau Berührungslose Messtechnik auf der Messe Control 2006 in Sinsheim teil.

Ort: Messe Sinsheim, Halle 7, 7228

MORE THAN MOORE – NEUE ANWENDUNGEN DER SILIZIUMTECHNOLOGIE

08. Mai 2006

Vortrag von Prof. Dr. Joachim Burghartz

Ort: Seminarraum 4.282 der Fakultät Informatik, Elektrotechnik und Informationstechnik, Pfaffenwaldring 47, 70569 Stuttgart

Mitgliederausstellung Mikrosystemtechnik Baden-Württemberg (MWST BW) im Solar-Info-Center Freiburg

04. Mai 2006

Mitgliederausstellung im Rahmen der Auftaktveranstaltung der MST Baden-Württemberg.

Weitere Informationen finden Sie auf der MST BW-Webseite

Hannover Messe Halle 2 Stand C19

24. April 2006 - 28. April 2006

Besuchen Sie uns auf dem Gemeinschaftsstand Baden-Württemberg International Halle 2, Stand C19

Vorlesung Halbleitertechnik 2

05. April 2006

Ab Sommersemester 2006 hält Prof. Dr. J. Burghartz die Vorlesung ''Halbleitertechnik 2'' an der Universität Stuttgart.

Workshop ''Neue Anwendungen in der Siliziumtechnologie''

06. März 2006

Der Workshop findet am 17.05.2006 am IMS in Stuttgart statt. Im Zuge seiner Neuorientierung möchte das IMS den Dialog mit seinen etablierten und neuen Kunden suchen.

Weitere Informationen finden sie im PDF: Workshop_Si_Technologie_2006.pdf

Ort: Institut für Mikroelektronik Stuttgart

EU Projekt ''IVP'' erfolgreich abgeschlossen

01. März 2006

Das Verbundprojekt "Intracorporeal Videoprobe IVP", ein im Europäischen IST Programm mit vier Partnern durchgeführtes Entwicklungsprojekt, wurde Ende 2005 erfolgreich abgeschlossen.
Mit dem vom IMS geführten Konsortium wurden miniaturisierte Videoproben für die Medizintechnik mit speziell angepassten CMOS-Bildsensoren, mikro-mechanischen Komponenten und Bildverarbeitungs- und Diagnose-Software entwickelt. Diese hochdynamischen Bildsensoren mit sehr geringen Abmessungen ermöglichen die Herstellung kleiner Video-Endoskope (Ø 3,5mm).

Weitere Informationen finden Sie auf der IVP-Webseite

Mikroelektronik Technologie Intensivkurs am IMS

20. Februar 2006 - 24. Februar 2006

Der Kurs gibt einen umfassenden Einblick in Herstellung, Test und Verpackung von integrierten Schaltkreisen.

Ort: Allmandring 30a, 70569 Stuttgart

Kolloquium zur Verabschiedung von Prof. Dr. B. Höfflinger

20. Oktober 2005

Anlässlich seiner Verabschiedung in den Ruhestand durch den Wirtschaftsminister Baden-Württembergs Ernst Pfister fand am 20. Oktober 2005 ein Kolloquim für Prof. Dr. B. Höfflinger statt.

Prof. Dr. J. Burghartz neuer Leiter des IMS

01. Oktober 2005

Seit dem 1. Oktober 2005 ist Prof. Dr. Burghartz Direktor und Vorsitzender des Vorstands des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS) und ordentlicher Professor an der Universität Stuttgart. Er ist Nachfolger von Herrn Prof. Dr. B. Höfflinger, der in den Ruhestand gegangen ist.

IMS dankt seinen SMC-Sponsoren 2005

04. September 2005

IMS dankt den Firmen, die 2005 den Laborkurs "Schülerinen und Schüler machen Chips" finanziell unterstützt haben.

Die ersten 8 EUV Vollfeldmasken für ASML gefertigt

10. August 2005

Am Institut für Mikroelektronik Stuttgart wurden im zweiten Halbjahr 2005 die ersten 8 EUV Vollfeld-Masken für die alpha- Scannertool Qualifizierung gefertigt und geliefert. Nach der Absorber- und Bufferätzung konnten Minimalstrukturen im Bereich von 100 nm erreicht werden.