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Einweihung des Reinraumanbaus am Institut für Mikroelektronik Stuttgart
22. April 2013

Finanz- und Wirtschaftsminister Dr. Nils Schmid und Oberbürgermeister Fritz Kuhn weihen den neuen Reinraum ein.
Nach zwei Jahren Bauzeit wird am 22. April der neue Reinraum des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart feierlich eingeweiht. Zeitgleich wird auch die Anlieferung eines neuen Elektronenstrahlschreibers gefeiert. Das Land unterstützt den Anbau und die Gerätebeschaffung mit insgesamt 14,7 Millionen Euro. Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart, hat eine führende Position auf dem Gebiet der Nanostrukturierung und der Erforschung und Entwicklung neuer Verfahren zur Herstellung von Mikrochips und Nanostrukturen. Mit dem Reinraumanbau kann die Produktionsfläche des Instituts für Halbleiter und optische Komponenten um mehr als die Hälfte vergrößert werden. Mit dem neu beschafften Großgerät „Elektronenstrahl-Schreiber“, dem dritten in der Institutsgeschichte, kann das Institut auch künftig einen wichtigen Beitrag bei der Entwicklung und Herstellung extrem präziser optische Komponenten, wie sie für die Halbleiterindustrie benötigt werden, leisten.
Pressemitteilung Einweihung
Ort: Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Allmandring 30a, Stuttgart
IMS Newsletter 1/2013
14. Mai 2013
Unsere aktuelle Newsletter steht jetzt als als PDF-Dokument zur Verfügung.
Mit dem Newsletter 1/2013 möchten wir Sie über aktuelle Aktivitäten am Institut für Mikroelektronik Stuttgart informieren. Die Themen in der aktuellen Ausgabe sind:
Einweihung des Reinraumanbaus am IMS
Nach zwei Jahren Bauzeit wurde am 22. April der neue Reinraum des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart von Finanz- und Wirtschaftsminister Dr. Nils Schmid und Oberbürgermeister Fritz Kuhn eingeweiht. Zeitgleich wurde auch die Anlieferung eines neuen Elektronenstrahlschreibers gefeiert.
µ-Probe, beheizbare Führungsplatte für Prüfkarten
Siliziumkomponenten mit hochpräzisen Mikrostrukturen eröffnen neue Möglichkeiten in der Feinwerktechnik: Am IMS entwickelte Siliziumführungsplatten mit Heizelementen wurden in Prüfkarten integriert und erfolgreich im Wafertester erprobt. Der Test von Siliziumchips der nächsten Generation ist mit dieser Technik präzise bei verschiedenen Temperaturen möglich.
Neuartige optische Elemente zur Präzisionsmessung von EUV-Spiegeln
Am IMS wurden Technologien zur Herstellung von neuartigen optischen Elementen in höchster Qualität für den Einsatz in der Präzisionsmessung von EUV-Spiegeloptiken entwickelt. Die Arbeiten waren Teil des vom BMBF geförderten Verbundprojektes „EUV-Lithografie für den 22-Nanometer-Knoten“ und damit eingebettet in das europäische Projekt EXEPT. Nach dem erfolgreichen Abschluss des EXEPT-Projektes in 2012 gewann dieses den CATRENE Innovation Award.
Handbuch: Guide to State-of-the-Art Electron Devices
Der „Guide to State-of-the-Art Electron Devices“ erscheint anlässlich des 60. Jubiläums der IRE Electron Devices Group und des 35. Jubiläums der IEEE Electron Devices Society. Er enthält einen Überblick über die neuesten elektronischen Bauelemente und informiert über künftige Trends in der gesamten Branche.
Den IMS Newsletter finden sie unter Publikationen - Aktuelle Publikationen.
Viel Spaß beim Lesen!
IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits (EDSSC 2013) in Hong Kong
03. - 05. Juni 2013
Das IMS ist mit einem Vortrag auf der EDSSC 2013 in Hong Kong vertreten.
Flexible and Organic Electronics 1: (Invited) "Ultra-Thin Chips for Flexible Electronics"
J. N. Burghartz, E. Angelopoulos, W. Appel, S. Endler, S. Ferwana, C. Harendt, M. Hassan, H. Rempp, H. Richter and M. Zimmermann
Montag, 03. Juni 2013, (14:40 - 15:10)
Weitere Informationen finden Sie unter:
http://www.polyu.edu.hk/feng/edssc2013
Ort: Hong Kong Polytechnic University, Hong Kong
Artikel über die IMS Chipfilm™ Technologie in IEEE Spectrum
01. März 2013
In der März-Ausgabe von IEEE Spectrum erschien ein Feature-Artikel mit dem Titel "Make Way for Flexible Silicon Chips".
Prof. Dr.-Ing. Joachim Burghartz, Direktor des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart, beschreibt in dem Artikel das Potenzial der IMS Chipfilm™ Technologie zur Herstellung ultradünner Silizium-Chips. Diese Technologie könnte in Zukunft bei etlichen industriellen Anwendungen flexibler Elektronik zum Einsatz kommen. Flexible, ultradünne Chips können mit flächenverteilten Dünnfilm-Komponenten, z.B. organischen Halbleiterbauelementen, zu einem optimalen Gesamtsystem kombiniert werden. Daraus ergeben sich vollkommen neue elektronische Anwendungsmöglichkeiten und verbesserte Lösungen gegenwärtigen Elektronikprodukte, die in dem Artikel in IEEE Spectrum in anschaulicher Weise aufgezeigt sind.
Weitere Informationen zum Artikel "Make Way for Flexible Silicon Chips" finden Sie unter: http://spectrum.ieee.org
Smart Frame R&D Workshop am IMS
08. Mai 2013 mehr ...
Clusterkonferenz des Spitzenclusters MicroTEC Südwest
22. - 23. April 2013 mehr ...
BMBF-Förderprojekt KoSiF gestartet – Unternehmen und Forscher arbeiten gemeinsam an biegbaren und autonomen Sensorsystemen
27. März 2013 mehr ...
Wissenschaft zum Ansprechen – Innovationsbörse Energie bei der IHK Schwarzwald-Baar-Heuberg
20. März 2013 mehr ...
5. Innovationsforum für Mikrotechnik & SmartSystems 2013 in Villingen-Schwenningen
27. Februar 2013 mehr ...
Vortrag "Ultra Thin Chips: A new paradigm in silicon technology?"
12. - 14. Februar 2013 mehr ...
49. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in Mannheim
08. Februar 2013 mehr ...
CEB Clean Energy Building 2013 in Stuttgart
07. - 09. Februar 2013 mehr ...
Seminar „ASIC Lifecycle“ am 22. Januar 2013 am IMS
22. Januar 2013 mehr ...
Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2013
17. Dezember 2012 mehr ...
Das EXEPT Projekt erhält den CATRENE Innovation Award 2012
04. Dezember 2012 mehr ...
Projekt µ-Probe erfolgreich abgeschlossen: Beheizbare Führungsplatte erfüllt die Erwartungen
30. November 2012 mehr ...
Das HiDRaLoN Projekt wurde mit dem Demonstration Award auf dem diesjährigen European Nanoelectronics Forum 2012 ausgezeichnet
26. November 2012 mehr ...
BMBF-Verbundprojekt EXEPT zu neuartiger Chipherstelltechnologie erfolgreich beendet
29. Oktober 2012 mehr ...
Erfolgreicher Projektabschluss im BMBF-Verbundprojekt HiDRaLoN
22. Oktober 2012 mehr ...
10th Workshop "Beams and More" 2012
18. Oktober 2012 mehr ...
Mikroelektronik Technologie Seminar
10. - 12. Oktober 2012 mehr ...
Ministerialdirektor Helmfried Meinel informiert sich bei IMS CHIPS über aktuelle Entwicklungen
10. Oktober 2012 mehr ...
Vienna-Tec 2012
09. - 12. Oktober 2012 mehr ...
3. Workshop - Packaging von Mikrosystemen PackMEMS 2012
02. Oktober 2012 mehr ...
Der 2. PRONTO-Workshop findet am HSG-IMIT in Villingen-Schwenningen statt
26. September 2012 mehr ...
42nd European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC) in Bordeaux
17. - 21. September 2012 mehr ...
4th Electronics System ESTC 2012, Amsterdam
17. - 20. September 2012 mehr ...
IHK Veranstaltungsserie "Wirtschaftsnahe Forschungseinrichtungen" am IMS
13. September 2012 mehr ...
Verbundprojekt ETIK führt Entwicklung der EUV-Lithografie weiter
30. August 2012 mehr ...
SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips
16. - 27. Juli 2012 mehr ...
IMS CHIPS bei den Reutlinger Innovationstagen 2012
12. Juli 2012 mehr ...
MedTech Pharma 2012
04. - 05. Juli 2012 mehr ...
Thementag "Intelligentes Licht" am IMS
28. Juni 2012 mehr ...
Anerkennung für METEC bei der Verleihung des VR-InnovationsPreis Mittelstand 2012
20. Juni 2012 mehr ...
Mikrosystemtechnik Erkundung
12. - 14. Juni 2012 mehr ...
8th Conference on Ph.D. Research in Microelectronics & Electronics in Aachen
12. - 15. Juni 2012 mehr ...
Produktionsplattform PRONTO auf der SENSOR+TEST 2012
22. - 24. Mai 2012 mehr ...
Clusterkonferenz des Spitzenclusters MicroTEC Südwest
14. - 15. Mai 2012 mehr ...
Control 2012 - Internationale Leitmesse für Qualitätssicherung
08. - 12. Mai 2012 mehr ...
Retina Implantat in der Sendung mit der Maus
25. April 2012 mehr ...
PRONTO auf der HANNOVER MESSE, Halle 17, Stand C48
23. - 27. April 2012 mehr ...
SPIE Photonics Europe 2012
16. - 19. April 2012 mehr ...
IMS Newsletter 1/2012
05. April 2012 mehr ...
24V-ASICs im Kommen
21. März 2012 mehr ...
7th International Conference on Integrated Power Electronics Systems (CIPS) 2012 in Nürnberg
06. - 08. März 2012 mehr ...
4. Innovationsforum für Mikrotechnik 2012 in Villingen-Schweningen
29. Februar 2012 mehr ...
Fachtagung "Elektronische Baugruppen und Leiterplatten EBL 2012" in Fellbach
14. - 15. Februar 2012 mehr ...
Richtfest des Reinraumanbaus am Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS)
13. Februar 2012 mehr ...
Staatssekretär Ingo Rust informiert sich im IMS über aktuelle Entwicklungen
31. Januar 2012 mehr ...
25. International Conference on Micro Electro Mechanical Systems IEEE MEMS 2012 in Paris
29. Januar - 02. Februar 2012 mehr ...
Mikrosystemtechnik Erkundung
27. Januar - 10. Februar 2012 mehr ...
The Micronarc Alpine Meeting MAM 2012 in der Schweiz
24. Januar 2012 mehr ...
Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2012
17. Dezember 2011 mehr ...
Anerkennung für METEC bei der Verleihung des Innovationspreises des Landes Baden-Württemberg
24. November 2011 mehr ...
Forum "be-flexible" 2011 - Flexible Electronic Systems, 10th International Workshop
23. - 24. November 2011 mehr ...
Der ICT.OPEN 2011 BEST POSTER AWARD geht an das IMS
15. November 2011 mehr ...
ICT.OPEN 2011
14. - 15. November 2011 mehr ...
HiDRaLoN 4. User Group Workshop
11. November 2011 mehr ...
IMS Newsletter 2/2012
30. Oktober 2011 mehr ...
9th Workshop "Beams and More" 2011
27. Oktober 2011 mehr ...
Verleihung des GMM-Preises 2011 an Evangelos Angelopoulos von IMS CHIPS
12. Oktober 2011 mehr ...
Mikroelektronik Technologie Seminar
12. - 14. Oktober 2011 mehr ...
Produktionsplattform PRONTO auf dem MST-Kongress 2011 in Darmstadt
10. - 12. Oktober 2011 mehr ...
IMS Newsletter 2/2011
30. September 2011 mehr ...
Semiconductor Conference Dresden (SCD)
27. - 28. September 2011 mehr ...
SPIE Photomask Technology 31st Annual Symposium 2011
19. - 22. September 2011 mehr ...
41st European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC) in Helsinki
12. - 16. September 2011 mehr ...
IMS CHIPS Mitglied von „eBeam Initiative“
12. September 2011 mehr ...
SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips
18. - 29. Juli 2011 mehr ...
Tag der Innovationsallianz innBW
14. Juli 2011 mehr ...
Clusterkonferenz des Spitzenclusters MicroTEC Südwest
05. - 06. Juli 2011 mehr ...
46. Heidelberger Bildverarbeitungsforum 2011 in Kelheim bei Regensburg
05. Juli 2011 mehr ...
Der erste PRONTO-Workshop findet am Institut für Mikroelektronik Stuttgart statt
30. Juni 2011 mehr ...
Forschungsverein des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart e.V.
30. Juni 2011 mehr ...
Produktionsplattform PRONTO auf der SENSOR+TEST 2011
07. - 09. Juni 2011 mehr ...
TRANSDUCERS' 11 – The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
05. - 09. Juni 2011 mehr ...
TAE Business Breakfast – Wettbewerbsfähige Mikrosystemtechnik braucht Nachwuchs
26. Mai 2011 mehr ...
Mikrosystemtechnik Erkundung
23. - 31. Mai 2011 mehr ...
Produktionsplattform PRONTO auf der SMT/HYBRID/PACKAGING 2011
03. - 05. Mai 2011 mehr ...
HyperBraille Blindenschrift-Display eröffnet Chancen für Sehbehinderte in Bildung und Beruf
28. - 30. April 2011 mehr ...
PRONTO auf der HANNOVER MESSE, Halle 6, Stand H18-E4
04. - 08. April 2011 mehr ...
German Microwave Conference 2011 in Darmstadt
14. - 16. März 2011 mehr ...
Cadence: IMS CHIPS realisiert fortschrittliches Gate-Array-Design mit Silicon Realization-Technologien
23. Februar 2011 mehr ...
ISSCC International Solid-State Circuits Conference 2011
20. - 24. Februar 2011 mehr ...
Land investiert 6,7 Mio. in IMS-Reinraum-Anbau
15. Februar 2011 mehr ...
IMS CHIPS bekommt neuen Elektronenstrahl-Schreiber
14. Februar 2011 mehr ...
45. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in Albstadt-Sigmaringen
04. Februar 2011 mehr ...
Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2011
17. Dezember 2010 mehr ...
Neuerscheinung Fachbuch "Ultra-thin chip technology and applications"
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Mikrosystemtechnik Erkundung
07. Dezember 2010 mehr ...
Neuer ultradünner Chipherstellungsprozess präsentiert auf der IEDM 2010 in San Francisco
06. - 08. Dezember 2010 mehr ...
Aufsehenerregender medizinischer Erfolg mit IMS Retina Chip
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HiDRaLoN User Group Workshop
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Mikrosystemtechnik aus Baden-Württemberg: eine Erfolgsgeschichte – auch in Zukunft!
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Mikroelektronik Technologie Seminar
13. - 15. Oktober 2010 mehr ...
Workshop "Embedded Systems & Smart Power"
12. Oktober 2010 mehr ...
Produktionsplattform PRONTO auf der 4. Microsys in Stuttgart
13. - 16. September 2010 mehr ...
ESTC 2010, Berlin: Vortrag "Packaging Challenges Associated with Warpage of Ultra-Thin Chips"
13. - 16. September 2010 mehr ...
IMS Newsletter 2/2010
10. September 2010 mehr ...
Beitritt zum Fachverband für Mikrotechnik IVAM
06. September 2010 mehr ...
SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips
19. - 30. Juli 2010 mehr ...
8th Workshop "Beams and More" 2010
10. Juli 2010 mehr ...
Der Landesforschungspreis für Angewandte Forschung wird in einem Festakt in Stuttgart an Professor Dr.-Ing. Joachim Burghartz verliehen
08. Juli 2010 mehr ...
Projekt Chipfilm™ erfolgreich abgeschlossen
29. Juni 2010 mehr ...
TanDEM-X - Radarsatellit erfolgreich von Baikonur gestartet
21. Juni 2010 mehr ...
Wissenschaft trifft Schule: „Mikrochips“
21. Juni 2010 mehr ...
MoDekt – Abschlusspräsentation am 7. Juni in Tübingen
07. Juni 2010 mehr ...
IEEE EDS Mini-Kolloquium am 7. Juni 2010
07. Juni 2010 mehr ...
54th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology & Nanofabrication
01. - 04. Juni 2010 mehr ...
Mitgliedschaft im AMA - Fachverband für Sensorik e.V.
14. Mai 2010 mehr ...
2. GMM Workshop — Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik
10. - 11. Mai 2010 mehr ...
Neuartiges Blindenschrift-Display mit IMS-ASICs auf der SightCity 2010 in Frankfurt
28. - 30. April 2010 mehr ...
Professor Dr.-Ing. Joachim Burghartz erhält den Landesforschungspreis für Angewandte Forschung
23. April 2010 mehr ...
Photomask and NGL Mask Technology XVII
13. - 15. April 2010 mehr ...
MEDEA+ Projekt FANTASTIC erfolgreich abgeschlossen
11. April 2010 mehr ...
IMS Newsletter 1/2010
26. März 2010 mehr ...
Verbundprojekt ValMon gestartet
09. Februar 2010 mehr ...
XLIII. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in Göppingen
05. Februar 2010 mehr ...
IMS CHIPS gewinnt mit dem Spitzencluster MicroTEC Südwest
26. Januar 2010 mehr ...
Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2010
17. Dezember 2009 mehr ...
Innovative Lernmedien bei IMS CHIPS
09. Dezember 2009 mehr ...
Pressemitteilung zum BMBF-Verbundprojekt HiDRaLoN
08. Dezember 2009 mehr ...
Vortrag "Anomalous Stress Effects in Ultra-Thin Silicon Chips on Foil"
07. - 09. Dezember 2009 mehr ...
Erneut Paper Award auf der SPIE Photomask Conference 2009 in Monterey, USA
07. Dezember 2009 mehr ...
Wissenschaft trifft Schule: „Mikrochips“
30. November 2009 mehr ...
SAFE 2009 – Annual Workshop on Semiconductor Advances for Future Electronics and SENSORS
26. - 28. November 2009 mehr ...
Kinder-Uni: "Warum kommen aus dem Radio Töne?
20. November 2009 mehr ...
8th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology
11. - 13. November 2009 mehr ...
Erster User Group Workshop im Rahmen des HiDRaLoN Projekts
06. November 2009 mehr ...
EDS Chapter Meeting am 04.11.09 in Reutlingen
04. November 2009 mehr ...
7th Workshop "Beams and More" 2009
22. Oktober 2009 mehr ...
Mikroelektronik Technologie Seminar
14. - 16. Oktober 2009 mehr ...
Bipolar/BiCMOS Circuits and Technology Meeting (BCTM)
13. - 14. Oktober 2009 mehr ...
Hochbegabte Jugendliche besuchen IMS
09. Oktober 2009 mehr ...
Micro Nano Engeneering – MNE 2009
28. September - 01. Oktober 2009 mehr ...
IMS Newsletter 2/2009
25. September 2009 mehr ...
ESSDERC/ESSCIRC 2009, Athen: Vortrag "Ultra-thin Chips - a New Paradigm in Silicon Technology"
14. - 18. September 2009 mehr ...
SPIE Photomask Technology 29th Annual Symposium (BACUS 2009)
14. - 17. September 2009 mehr ...
Neue Technologie-Entwicklung – Mittelstand bekommt Zugang zu Smart Power Chips
26. August 2009 mehr ...
EXEPT – EUV Lithografie für den 22 nm Knoten
22. Juli 2009 mehr ...
SMC - Schülerinnen und Schüler machen Chips
20. - 31. Juli 2009 mehr ...
Wissenschaft trifft Schule: „Mikrochips“
02. Juli 2009 mehr ...
Neue Runde im Spitzencluster-Wettbewerb des Bundes: MicroTEC Südwest erneut im Finale!
25. Juni 2009 mehr ...
TEMPERATUR 2009 - Verfahren und Geräte in der Temperatur- und Feuchtemesstechnik
24. - 25. Juni 2009 mehr ...
53rd International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology & Nanofabrication
26. - 29. Mai 2009 mehr ...
HiDRaLoN Projekt gestartet
24. Mai 2009 mehr ...
16. Tagung des VDE/VDI-Arbeitskreis „Mikrotechnik" in Thüringen
19. Mai 2009 mehr ...
International Conference on IC Design & Technology
18. - 20. Mai 2009 mehr ...
Neuartiges Blindenschrift-Display mit IMS-ASICs auf der SightCity 2009 in Frankfurt
13. - 15. Mai 2009 mehr ...
"Naturwissenschaft und Technik" NWT - Unterricht am IMS
21. April 2009 mehr ...
HANNOVER MESSE Industrie, Halle 2 Stand C21
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Photomask and NGL Mask Technology XVI
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IMS CHIPS auf der SPIE Advanced Lithography 2009
22. - 27. Februar 2009 mehr ...
IMS erhält den begehrten "Jack Raper Award for Outstanding Technology-Directions"
09. Februar 2009 mehr ...
XLI. Workshop der Multi Projekt Chip Gruppe (MPC) in der Reinhold-Würth-Hochschule in Künzelsau
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Neue Zusammenarbeit im Bereich der Nanoimprint Lithographie
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Vortrag "CMOS Imager Technologies for Biomedical Applications"
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Vortrag "Ultra-thin Chips - a New Paradigm in Silicon Technology"
10. - 11. Dezember 2008 mehr ...
Forum "be-flexible" 2008 - Thin Semiconductor Devices, 9th International Workshop
02. Dezember 2008 mehr ...
SAFE 2008 – Annual Workshop on Semiconductor Advances for Future Electronics and SENSORS
27. - 28. November 2008 mehr ...
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U.R.S.I. Kleinheubacher Tagung 2008
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01. März 2007 mehr ...
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Retina Implantat
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Mikroelektronik Technologie Intensivkurs am IMS
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Wir wünschen ein frohes Weihnachtsfest und ein erfolgreiches Jahr 2007
14. Dezember 2006 mehr ...
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International Electron Devices Meeting
11. Dezember 2006 mehr ...
Best Paper Award auf der Photomask Japan 2006
21. November 2006 mehr ...
Brilliante Filmaufnahmen mit hochdynamischer digitaler Filmkamera, optimierter Signalverarbeitung und Wiedergabe mit neuartigem Display
21. November 2006 mehr ...
Workshop ''Mikrohandhabung''
31. Oktober 2006 mehr ...
Lithografie-Workshop 2006
27. Oktober 2006 mehr ...
IMS auf der VISION 2006 in Stuttgart
23. Oktober - 09. November 2006 mehr ...
IMS dankt seinen SMC-Sponsoren 2006
01. Oktober 2006 mehr ...
MDgt. Günther Leßnerkraus neuer Vorsitzender des Kuratoriums
01. Oktober 2006 mehr ...
Vortrag: Fortschritte mit drahtlosen, energieautarken Bildsensoren
14. - 15. September 2006 mehr ...
Mikroelektronik Technologie - Intensivkurs am IMS
31. Juli - 08. August 2006 mehr ...
''Schüler machen Chips''
24. Juli - 04. August 2006 mehr ...
''Sensorik - Der Weg in die Zukunft''
22. Mai 2006 mehr ...
Messe Control Sinsheim
09. - 12. Mai 2006 mehr ...
MORE THAN MOORE – NEUE ANWENDUNGEN DER SILIZIUMTECHNOLOGIE
08. Mai 2006 mehr ...
Mitgliederausstellung Mikrosystemtechnik Baden-Württemberg (MWST BW) im Solar-Info-Center Freiburg
04. Mai 2006 mehr ...
Hannover Messe Halle 2 Stand C19
24. - 28. April 2006 mehr ...
Vorlesung Halbleitertechnik 2
05. April 2006 mehr ...
Workshop ''Neue Anwendungen in der Siliziumtechnologie''
06. März 2006 mehr ...
EU Projekt ''IVP'' erfolgreich abgeschlossen
01. März 2006 mehr ...
Mikroelektronik Technologie Intensivkurs am IMS
20. - 24. Februar 2006 mehr ...
Kolloquium zur Verabschiedung von Prof. Dr. B. Höfflinger
20. Oktober 2005 mehr ...
Prof. Dr. J. Burghartz neuer Leiter des IMS
01. Oktober 2005 mehr ...
IMS dankt seinen SMC-Sponsoren 2005
04. September 2005 mehr ...
Die ersten 8 EUV Vollfeldmasken für ASML gefertigt
10. August 2005 mehr ...
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