Diffraktive optische Elemente

DOE, hergestellt auf einem 9“ (230 mm x 230 mm) Zoll großen Substrat

Fresnel-Linse mit einem Durchmesser von 10 mm

DOEs werden auf Quarz - Substraten gemäß den SEMI-Spezifikationen 6025 oder 9035 herstellt. Das Design kann in Bezug auf Linienbreite und Ätztiefe über das gesamte Substrat mit engen Toleranzen realisiert werden.
Analoge Profile lassen sich durch eine mehrstufige Strukturierung annähern. Mittels entsprechender Technologien können die Substrate auf den vom Kunden gewünschten finalen Formfaktor gebracht werden

Kontakt

Für weitere Informationen steht ihnen Corinna Koepernik zur Verfügung.