Mikromechanische Komponenten

Basierend auf unsere Silizium Tiefenätztechnologie können wir vielseitige mikromechanische Komponenten anbieten. So lassen sich Strukturen mit einer Größe hinab bis 50 nm und einem Aspektverhältnis von bis zu 1:50 realisieren. Eine Ätzung durch das gesamte Substrat hindurch ist ebenfalls möglich. Weiterhin ist eine Strukturierung des Siliziums auf mehreren Ebenen mit einer Überdeckungsgenauigkeit von ± 25 nm (3δ) realisierbar.

Siliziumkamm mit einer Dicke von 100 µm

Siliziumgitter mit einer Ätztiefe von 7 µm

Siliziumkomponenten, strukturiert in zwei Ebenen

500 nm-Säulen mit einer Höhe von 1,5 µm, platziert auf einer 15 µm hohen Siliziumsäule

Kontakt

Für weitere Informationen steht ihnen Florian Letzkus zur Verfügung.