Einzelprozesse

Das IMS bietet alle am Institut verfügbaren Halbleiterprozesse als Dienstleistung zur Anwendung in Forschung und Entwicklung sowie zur Unterstützung von anderen Prozesslinien an. Das Angebot erstreckt sich auf alle Einzelprozesse wie z.B. Schichtabscheidung, Ätztechnik oder Ionen-Implantation, die auch in den qualifizierten IMS-Gesamtprozessen eingesetzt werden. Darüber hinaus haben wir auch viele Sonderprozesse wie z.B. das Ätzen tiefer Gräben oder die Abscheidung spezieller Metalle in unserem Prozessportfolio. Weiterer Schwerpunkt ist die Abscheidung von Epitaxieschichten zum Beispiel für Solarzellenanwendungen.

Eine vollständige Auflistung aller am IMS verfügbaren Halbleiterprozesse findet sich in unserer Einzelprozessliste: Einzelprozessliste.pdf

Kontakt

Für weitere Informationen steht ihnen Wolfgang Appel zur Verfügung.